本发明公开了一种超薄芯片的制备方法，具体为：首先在硅晶圆表面光刻形成掩膜以暴露出需要减薄的区域，再采用刻蚀工艺对硅晶圆进行局部减薄，对减薄后的区域进行芯片后续工艺处理得到芯片，最后将芯片与硅晶圆分离。本发明只是部分减薄了硅片，所以硅晶圆的机械强度仍然可以支持硅片进行后续的加工工艺，相对于传统的利用支撑基底来减薄芯片的方法，简化了工艺流程，降低了工艺成本。另外由于不需要用机械研磨工艺来进行减薄，所以不会因为机械研磨对硅晶圆造成的轻微震动而使厚度不能减得过小，通过本发明可以使芯片减薄到比机械研磨方法更薄的程度。

成果与项目的背景及主要用途： RFID是射频识别技术的英文(Radio FrequencyIdentification)的缩写，射频识别技术是 20 世纪 90 年代开始兴起的一种自动识别技术，射频识别技术是一项利用射频信号通过空间耦合(交变磁场或电磁场)实现无接触信息传递并通过所传递的信息达到识别目的的技术。RFID 系统通过射频信号自动识别目标对象并获取相关数据，识别工作无须人工干预。作为条形码的无线版本，RFID 技术具有条形码所不具备的防水、防磁、耐高温、使用寿命长、读取距离大、标签上数据可以加密、存储数据容量更大、存储信息更改自如等优点，已经被世界公认为本世纪十大重要技术之一，在生产、零售、物流、交通等各个行业等各个行业有着广阔的应用前景。 本项目主要研发了基于 ISO18000-6B 协议的无源电子标签芯片，其可用于物流，货品识别，高速公路收费等诸多领域，是目前国内外射频电路研究领域的热点。 技术原理与工艺流程简介：UHF 频段的无源电子标签工作原理如下：通过标签上外置的偶极子天线接收读卡器发送的载波信号，并将其转换为直流信号，为整个芯片供电；同时片上的解调模块解调出经调制的载波信号所携带的数据信息，并传递给片上的基带部分加以处理；基带部分连同 EEPROM 部分一起完成数据的读写和控制功能，再由调制模块以反向发射的形式将上行信号返回给读卡器完成一次通信。 本设计的工艺流程是基于 Chartered 0.35um EEPROM 数字工艺，从芯片设计、仿真、版图验证。最终通过代工厂完成芯片制作。技术水平及专利与获奖情况：根据测试结构表明，各项指标都达到了商用需求，在国内属领先水平。该项成果已获得国家知识产权局颁发的集成电路布图登记证书。BS.06500285.7 应用前景分析及效益预测：目前国内的 UHF 频段的 RFID 产品正处于高速成长期，需求量快速增长，但大多数核心技术需要依赖进口。如果本项目能够实现技术转产，可以预计的前景和经济效益是相当可观的。有了自主知识产权的 UHF频段电子标签，在很多领域都可以加以移植，取代进口产品不但可以大大节省开支，同时也可以实现产品的自我定制及更新，最大程度的方便了国内用户的应用。 应用领域：货品跟踪和识别（代替条形码）、高速移动物体的识别、防伪认证以及电子支付等领域都会有广泛的应用。 技术转化条件（包括：原料、设备、厂房面积的要求及投资规模）：四十平方米以上的办公用房，电脑、工作站若干，相应软件。也可以和 RFID天线制造单位，卡片封装单位共同合作，将成果转产。 合作方式及条件：面谈。

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电输运性质测量系统TESTIK-9 产品概述： 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”，就能看到我们的企业店铺，联系更加方便快速！ TESTIK-9系列电输运性质测试系统是集霍尔效应、磁阻、变温电阻、I-V特性等测试于一体的全自动化测试系统。系统考虑了集成一体性、屏蔽防干扰能力和操作人性化等用户经常忽略的问题，选取了美国Keithley的电测量仪表，磁场根据用户需要采用电磁铁或无液氦超导磁体，配备灵巧的测量样品杆和快速插拔样品卡，加上全自动化的专用测试软件，能让用户快速方便地进行电输运测试，并获得准确可靠的数据。此外，TESTIK-9系列还有多种高低温温度环境选件。TESTIK-9系列电输运性质测试系统是广大科研工作者对材料进行电输运性质研究的理想选择。 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”，就能看到我们的企业店铺，联系更加方便快速！ 产品特点： 可以进行霍尔效应、R-H特性、R-T特性和I-V特性的测量，可得出参数：方块电阻、电阻率、霍尔系数、霍尔迁移率、载流子浓度和导电类型，可绘制以上参数随温度或磁场的变化曲线，以及I-V特性——不同磁场和不同温度下的I-V特性曲线，R-H特性——固定温度，电阻随着磁场变化的特性曲线，R-T特性——固定磁场，电阻随着温度变化的特性曲线。 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”，就能看到我们的企业店铺，联系更加方便快速！ 产品功能： 1·电阻率、霍尔系数及霍尔迁移率测试遵从美国材料与试验协会ASTM-F76标准 2·电阻测量范围宽：100nΩ（低电阻选件）～ 100GΩ（高阻系统）； 3·使用插入式样品卡，样品安装方便，同时提供四探针卡，免去制作电极的麻烦 4·标准系统一次可以同时测量2个样品，增加选件可同时测量4个样品； 5·测量和计算过程由软件自动执行，3分钟即可得到一个霍尔效应数据； 6·提供长时间高稳定性的磁场，24小时稳定性<±0.5G，并且磁场能够平滑过零 7·电磁铁电源内置高斯计，磁场从0到1kG只需20S即可控制在0.1G以内； 8·选择温度选件，可以进行不同温度下的霍尔效应和电阻的测量。 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”，就能看到我们的企业店铺，联系更加方便快速！ 产品参数： 型号 TESTIK-9A TESTIK-9B TESTIK-9C 物理学参数 迁移率 1 ~ 1 × 106 cm2/vs 载流子浓度 6 × 1012 ~ 6 × 1023 cm-3 霍尔系数 ±1 × 10-5 ~±1 × 106 cm3/C 电阻率 5 × 10-9 ~ 5 × 102 Ω·cm 电学参数 电阻 0.1mΩ ~ 10MΩ 低电阻选件 100nΩ ~ 10MΩ 电流源 ±50pA~±1A(±1.05A@±21V, ±105mA@±210V) 电压源 ±5μV~±200V(±21V@±1.05A, ±210V@±105mA) 电流测量 ±10pA~±1.05A（10pA为分辨率极小值） 电压测量 ±1nV~±100V（1nV为分辨率极小值） 磁场环境 室温磁场 1T@10mm间距 2.4T@10mm间距 2.6T@10mm间距 变温磁场 0.44T@液氮恒温器 0.26T@闭循环恒温器 1.7T@液氮恒温器 1.1T@闭循环恒温器 2.0T@液氮恒温器 1.5T@闭循环恒温器 温度（选件） 单点液氮盒 77K 液氮恒温器 80K~325K（标准型），80~500K（高温型） 闭循环恒温器 4K~325K（4K型），10K~325K（10K型） 高温炉 325K~1000K 其他 样品尺寸极大值 10mm*10mm*3mm 30mm*30mm*3mm 50mm*50mm*3mm 样品数量 1个 占地面积 2m*1.5m 5m*2m 5m*2m 选项附件： 1·材料在不同温度下的电输运性质正在被广泛研究。锦正茂提供四种温度环境。 2·液氮盒：样品可以直接泡在液氮里（77K）进行电输运测试。 3·液氮恒温器：如果需要详细研究材料的变温性质（80K~500K），可以选择液氮恒温器。液氮恒温器15分钟即可降至80K，结构轻巧，使用方便，同时有高温型可选择。 4·闭循环恒温器：如果需要详细研究材料的变温性质（2.8K~325K），可以选择闭循环恒温器。采用日本住友公司的压缩机和冷头，温度下等低达2.8K，不同的样品台和真空罩适用于不同的测试环境，如电学、光学或两者兼顾。 5·高温炉：锦正茂还自主研发用于电输运系统里的高温炉（325K~1000K），辐射加热受热均匀，内有四根可单独调整的探针，接触牢靠。通常用于高温霍尔效应的研究。 6·在电输运测量中，有些材料在不同波长的光下能得出不同的参数。这就需要在磁场或低温环境下引入光。 7·含光路的极柱和极头：在电磁铁的极头上开一个孔作为光路，使样品垂直于磁场时，光也能垂直照射在样品上。 8·遮光盒：室温下，如果样品对自然光敏感，建议选择遮光盒选件。低温下，恒温器的真空罩本身拥有遮光的作用。 9·旋转：室温下，标配的样品杆可以手动旋转。如果要准确测试磁阻材料的各向异性，可选择电动旋转样品杆。低温下，可以使温度选件固定，旋转电磁铁，实现旋转磁场的环境。 10·真空泵：恒温器一般需要在真空环境下获得高低温，真空泵是必须的。锦正茂提供干泵、机械泵和分子泵组等一系列产品，满足电输运系统里各种低温选件的需求。 11·循环水冷机组：用于磁场平台和低温平台的设备冷却。 电输运性质测量系统是一种用于物理学、化学、材料科学领域的物理性能测试仪器， 可以进行霍尔效应、I-V特性（电阻率）及磁电阻（MR）的测量； 可得出参数：霍尔效应――方块电阻、电阻率、霍尔系数、导电类型、霍尔迁移率、载流子浓度；I-V特性的MR的特性曲线包括：不同磁场下的I-V特性曲线；不同温度下的I-V特性曲线；不同磁场下的变温I-V特性曲线；不同温度下的变磁场I-V特性曲线；电阻随温度、磁场变化的特性曲线；P-B曲线。

实验用磁场强度测试仪 产品概述： 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”，就能看到我们的企业店铺，联系更加方便快速！ 锦正茂磁场强度测试仪可测量磁性材料的基本磁性能(如磁化曲线，磁滞回线，退磁曲线，升温曲线、升/降温曲线、降温曲线、温度随时间的变化等)，得到相应的各种磁学参数(如饱和磁化强度，剩余磁化强度，矫顽力，磁能积，居里温度，磁导率(包括初始磁导率)等，可测量粉末、颗粒、片状、块状等磁性材料。 锦正茂磁场强度测试仪可原位测量磁性材料从液氮温区至室温或室温至500℃温区的磁性能随温度的变化曲线。 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”，就能看到我们的企业店铺，联系更加方便快速！ 技术指标： 1、测量磁矩范围(磁极间距30mm时)：1*10-3emu—300emu(灵敏度：5×10-5emu) 2、相对精度(量程30emu时)：优于±1% 3、重复性(量程30emu时)：优于±1% 4、稳定性(量程30emu时)：连续4小时工作优于1% 5、温度范围：室温到500摄氏度以及室温到液氮温区 6、磁场强度：0—±3.8T之间 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”，就能看到我们的企业店铺，联系更加方便快速！ 电磁铁直流稳流电源： ※ 双极性恒流输出 ① 电源输出电流可在正负额定极大电流之间连续变化 ② 电流可以平滑过零点，非开关换向 ③ 输出电流、电压四象限工作（适合感性负载） ④ 电流变化速率可设置范围为 0.0007～0.3 F.S./s(F.S.为额定极大输出电流） ※ 电流稳定度高，纹波低 ①电流稳定度：优于±25ppm/h（标准型）；优 于±5ppm/h（高稳型） ② 电流准确度：±（0.01%设定值+1mA） ③ 电流分辨率：20 bit，例 15A 电源，电流分辨率为 0.03mA ④ 源效应：≤ 2.0×10-5 F.S.（在供电电压变化 10%时，输出电流变化量） ⑤ 负载效应：≤ 2.0×10-5 F.S.（在负载变化 10%时，输出电流变化量） ⑥ 电流纹波（RMS）：小于 1mA 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”，就能看到我们的企业店铺，联系更加方便快速！ ※ 两种输出模式 ① 电流模式：直接设定磁铁或者线圈中的电流 ② 磁场模式：直接设定磁铁或者线圈中的磁场大小 注意：磁场模式需配合本公司的高精度高斯计和探头 ※ 两种操作方式 ① 本地控制采用高清触摸屏显示和操作 ② 远程可通过 RS232 接口由计算机控制，RS485、LAN 可选 ※ 多种保护功能 ①输入电源掉电保护（输入电源掉电时，内部保护吸收感性负载反灌能量） ②过流保护（自动降流，不可控过流则关断电源输出并报警） ③过热保护（模块过热，关断电源输出并报警） ④水流保护（检测冷却水，一旦水流太小或断水，关断电源输出并报警。适用水冷电源） ⑤结露保护（检测散热管上是否有冷凝水，一旦结露，关断电源输出并报警。适用水冷电源） ⑥外部连锁保护（常开或常闭输入） 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”，就能看到我们的企业店铺，联系更加方便快速！

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可对各类型换热器（油冷、水冷、风冷）进行传热性能试验、耐久试验、脉冲试验、振动试验等测试，能有效保证制造产品的质量，并为换热器产品的性能优化积累基础数据。其中，热冲击性能试验台，能模拟换热器使用工况，在短期内预测出热交换器的实际使用寿命，从而为产品的寿命设计提供依据。我们研究团队从 80 年代起，就开始为该行业服务，积累了几十年的经验，先后为国内多家企业和科研单位设计制造了各种换热器性能测试装置数十套。在该方面获取多项专利，并参与了《内燃机 机油冷却器 传热性能试验方法》《内燃机 换热器 风洞试验装

产品详细介绍量程：10mL～9999mL；分度值：1mL；精度：±2.5%；工作电压：AC220V±10%；工作环境：温度0～40℃  　湿度≤90%RH

产品详细介绍量程：10mL～9999 mL；分度值：1mL；精度：±1%F.S；工作电压：AC220V±10%；工作环境：温度0～40℃  　湿度≤90%RH；