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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。
华中科技大学
2021-04-14
硅通孔结构及其制造方法
本发明公开了一种硅通孔结构的制造方法，包括以下步骤：将硅片的厚度减薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有绝缘层；在硅片的导电区表面和绝缘区表面制作掺杂掩膜，以对导电区和绝缘区分别进行粒子掺杂，绝缘区与导电区掺杂的粒子的极性相反；在粒子掺杂完成后去除掺杂掩膜；在导电区表面覆盖金属电极；在硅片的表面除金属电极之外的区域覆盖绝缘层。本发明的方法制造工艺简单，可避免刻蚀、绝缘处理等工艺对硅片的破坏，并能够提高制造硅通孔结构的成品率。本发明还公开了一种硅通孔结构。
华中科技大学
2021-04-11
改性有机硅柔软剂
本产品为一种改性有机硅柔软剂，主要用于织物的后整理，给予织物柔软、滑爽等手感。
氨基硅油作为一种织物柔软剂，不仅对棉、毛、麻等天然纤维有较好的柔软手感，对合成纤维也有较好的柔软效果。但经氨基硅油整理后的织物也存在亲水性差、经光线照射后容易黄变的缺点，从而不能用于对浅色织物的后整理。本产品对氨基硅油直接进行醇基化改性，产品既保留了部分未改性的氨基硅油，又引入了羟基亲水基团。经过本产品处理过的织物，既有经过氨基硅油处理后的手感特点又可改善织物的染色性、耐热性和耐水性。同时氨基硅油中容易氧化黄变的氨基被部分亲水基团醇基取代，增加了织物的亲水透气性，降低了处理后织物的黄变。
华东理工大学
2021-04-13
低硼硅药用玻璃管
主要生产药用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液体瓶等产品。现拥有14条国际先进的拉管生产线，70余台国际先进的制瓶机，年产各类安瓿/管制瓶32亿支，药用玻管（精品7.0）30000吨。
山东力诺特种玻璃股份有限公司
2021-08-27
高白度抗静电纳米粉体
研发团队针对高性能、抗静电热控涂层材料开展自主科研攻关，研发出具有自主知识产权的白色氧化锌导电粉体，与相关企业合作建立了100Kg级导电粉体中试生产线，完成了粉体批次稳定性验证，突破了批量制备导电粉体稳定性差的瓶颈，形成了一套高性能白色氧化物导电粉体的标准生产工艺。产品技术指标经权威检测机构检验达到或超过进口产品水平，并已通过国家航天领域应用验证。同时，产品原料及生产成本远低于进口产品，有望在我国民用市场普及。产品可应用于汽车、电子、纺织、橡胶和化工等领域的防静电、节能、电磁屏蔽等，如轮胎橡胶添加剂、红外反射涂层、防静电涂层等，市场前景广阔。
意向开展成果转化的前提条件：中试放大及产业化工艺开发资金支持
东北师范大学
2025-05-16
纳米铝塑板
产品名称：纳米氟碳涂层铝塑板
表面涂层：
铝合金：AA1100series，AA3003series
铝厚：0.3mm,0.40mm,0.45mm,0.50mm
铝厚度：4mm,5mm,6mm
宽度：1220mm,1250mm,1500mm
长度：最长至6000mm,特殊宽度可定制
背涂：
品牌：ALUSHINE
产地：山东临沂
临沂金湖彩涂铝业有限公司
2021-09-02
罩式节能荧光灯制备技术
目前节能灯产品主要为整体式节能灯，产品由灯座和灯管两部分组成一个整体，灯管形状有U型、螺旋型等，灯管均裸露，在产品的外观方面缺乏美观和变化，降低了装饰效果，由于缺乏保护，灯管很容易损坏，同时由于在节能灯管内部有汞的存在，在灯管破裂后容易造成汞污染。本项目开发的罩式节能灯，节能灯罩采用聚苯乙烯材料，灯罩内涂粉为三基色荧光粉或者卤酸盐荧光粉，在改善安全性、装饰性和发光均匀度的同时提高灯的发光效率。同时由于灯罩的存在，使灯管得到了保护，避免了灯管的损坏，即使灯管由于各种原因破裂损坏，由于灯罩的密封性也可以汞污染得到控制，防止灯管破裂造成污染。技术指标：13W；节能灯开关试验寿命8000次（开45秒，关15秒），光效≥60Lm/W
南京工业大学
2021-04-13
长寿命高效无极荧光灯
已有样品/n长寿命高效无极荧光灯是一种基于高频感应放电（无极放电）的新型照明光源。该灯主要特点：不含灯丝，其寿命可高达几万小时（理论寿命8万小时），高效节能（比白炽灯节能5-8倍）、显色性好（接近自然光）、照明时间累计可达数万小时等优点，已列入我国十五重点开发计划。武汉物理与数学研究所属公司研究的无极荧光灯主体产品分别是100W、120W、150W和180W。外感型低频大功率无极灯和50W内感式高频无极灯，产品具有完全自主知识产权
中国科学院大学
2021-01-12
高性能自发荧光断层成像重建方法
北京工业大学
2021-04-14
金属卤化物荧光压力调制
低维金属卤化物中的自陷态激子（self-trapped exciton, STE）荧光现象受到不同领域科学家广泛关注。STE荧光具有独特的光学特性，如较广的光谱范围和较大的斯托克斯位移等，为进一步开发高效的单荧光粉白光器件提供了基础。金属卤化物中的STE荧光依赖于其结构中金属配位多面体的构型。通过控制多面体结构扭曲程度，可以调控金属卤化物
南方科技大学
2021-04-14