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在钛金属表面制备高质量镍基合金涂层的激光熔覆方法
一种在钛金属表面制备高质量镍基合金涂层的激光熔覆方法,其特征是它由混合粉压实片预制和激光熔覆处理二个步骤组成。所述的混合粉压实片预制是指将镍基自熔性合金粉末、氧化镧粉末先用球磨机混合均匀,然后烘干,最后在压力机上压制成片。所述的激光熔覆处理是指将压制片放置在经清洁处理的钛合金表面,然后进行激光熔覆加工。本发明通过添加氧化镧(La2O3),提高了镍基涂层粉末对激光热的吸收性能,提高了涂层与基体的界面融合性能。产品性能、指标本发明熔覆工艺性能优良,涂层组织致密,界面结合好,
江苏大学 2021-04-14
在钛金属表面制备高质量镍基合金涂层的激光熔覆方法
项目简介 一种在钛金属表面制备高质量镍基合金涂层的激光熔覆方法,其特征是它由混合粉 压实片预制和激光熔覆处理二个步骤组成。所述的混合粉压实片预制是指将镍基自熔性 合金粉末、氧化镧粉末先用球磨机混合均匀,然后烘干,最后在压力机上压制成片。所 述的激光熔覆处理是指将压制片放置在经清洁处理的钛合金表面,然后进行激光熔覆加 工。本发明通过添加氧化镧(La2O3),提高了镍基涂层粉末对激光热的吸收性能,提高 了涂层与基体的界面融合性能。 产品性能、指标 本发明熔覆工艺
江苏大学 2021-04-14
罩式节能荧光灯制备技术
目前节能灯产品主要为整体式节能灯,产品由灯座和灯管两部分组成一个整体,灯管形状有U型、螺旋型等,灯管均裸露,在产品的外观方面缺乏美观和变化,降低了装饰效果,由于缺乏保护,灯管很容易损坏,同时由于在节能灯管内部有汞的存在,在灯管破裂后容易造成汞污染。本项目开发的罩式节能灯,节能灯罩采用聚苯乙烯材料,灯罩内涂粉为三基色荧光粉或者卤酸盐荧光粉,在改善安全性、装饰性和发光均匀度的同时提高灯的发光效率。同时由于灯罩的存在,使灯管得到了保护,避免了灯管的损坏,即使灯管由于各种原因破裂损坏,由于灯罩的密封性也可以汞污染得到控制,防止灯管破裂造成污染。技术指标:13W;节能灯开关试验寿命8000次(开45秒,关15秒),光效≥60Lm/W
南京工业大学 2021-04-13
长寿命高效无极荧光灯
已有样品/n长寿命高效无极荧光灯是一种基于高频感应放电(无极放电)的新型照明光源。该灯主要特点:不含灯丝,其寿命可高达几万小时(理论寿命8万小时),高效节能(比白炽灯节能5-8倍)、显色性好(接近自然光)、照明时间累计可达数万小时等优点,已列入我国十五重点开发计划。武汉物理与数学研究所属公司研究的无极荧光灯主体产品分别是100W、120W、150W和180W。外感型低频大功率无极灯和50W内感式高频无极灯,产品具有完全自主知识产权
中国科学院大学 2021-01-12
高性能自发荧光断层成像重建方法
北京工业大学 2021-04-14
金属卤化物荧光压力调制
低维金属卤化物中的自陷态激子(self-trapped exciton, STE)荧光现象受到不同领域科学家广泛关注。STE荧光具有独特的光学特性,如较广的光谱范围和较大的斯托克斯位移等,为进一步开发高效的单荧光粉白光器件提供了基础。金属卤化物中的STE荧光依赖于其结构中金属配位多面体的构型。通过控制多面体结构扭曲程度,可以调控金属卤化物
南方科技大学 2021-04-14
一种荧光成像装置及方法
本发明公开了一种荧光成像装置及方法。所述装置包括连续进样装置、样品管道、切片激光器和高速荧光采集端;连续进样装置与样品管道连接,样品管道依次包括扫描管道和偏转管道,扫描管道和偏转管道夹角在 60°至 120°之间,扫描管道管壁为光学平整面;切片激光器产生的光切片投射在扫描管道上;连续荧光成像装置垂直于切片光设置。所述方法包括以下步骤:(1)将荧光标记的样品分散于离散相中,由连续相驱动形成样品序列 24; (2)每个样品经过激光切片器产生的光切片,激发荧光,连续荧光成像装置采集多张切面荧光图。
华中科技大学 2021-04-14
水溶性丙烯酸酯特种胶黏剂
本成果以水溶性丙烯酸酯树脂为基体制备特种胶黏剂,胶黏剂可与水任意比例混合,VOC含量低,无刺激性气味。胶黏剂在基材表面干燥后,室温状态下为无色透明薄膜,在一定温度下软化并具有一定粘结性,继续升温并保持一段时间后可以形成热固性树脂,具有较高的粘结强度。本成果已经通过中试试验,产品质量稳定,具有进行大规模生产的前景和能力。
哈尔滨理工大学 2021-05-04
248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。  利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:  在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
辽宁大学 2021-04-10
248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。   利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:   在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
北京师范大学 2021-05-09
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