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248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。   利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:   在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
北京师范大学 2021-05-09
电子束辐射处理技术改性车用胶条
已有样品/n以辐射加工技术为代表的非动力核技术应用对传统的加工方式产生了颠覆性创新,比如航天航空特种电线、污水处理、材料改性等,产生了很好的经济效益和社会效益。汽车雨刮胶条主要成分是天然橡胶或合成橡胶,实验研究表明电子束辐射能改变橡胶传统的硫化方式,有效提升交联度,通过辐射处理的胶条具有更好的耐候性、耐磨性、拔水性。比如,经过辐照处理后,胶条刮擦循环稳定性可达50 万次,抗拉强度(100%)从4.92MPa 增加到8
华中科技大学 2021-01-12
新型高档造纸中性施胶剂AKD清洁工艺
AKD中性施胶剂是现代造纸工业中应用最为广泛的一类施胶剂。传统的AKD 合成方法需加入苯类有机溶剂,残留于产品AKD中,损害人体健康,影响AKD产品的下游应用不能用于食品包装用纸领域。本技术通过采用新型绿色高效工艺合成AKD。解决了目前AKD生产中的问题。得到的AKD可用于高端造纸领域。
华东理工大学 2021-04-13
新型光催化剂、长余辉粉及其复合材料的开发制备
开发了一系列高活性的光催化材料:TiO2 纳米管负载Au, 石墨烯/暴露{001}面的TiO2 纳米复合光催化材料, 石墨烯/棒状TiO2纳米复合光催化材料, Ag3PO4/还原的氧化石墨烯片(RGOs)纳米复合材料,用于可见光催化的(Mo,C)/(B,N)共掺杂锐钛矿相TiO2纳米颗粒光催化材料,微量磷酸银敏化二氧化钛光催化剂,B、N掺杂石墨烯/ TiO
兰州大学 2021-04-14
新型环保粉体材料的研制开发及其在水处理中的应用技术研究
本项目所研制和应用的净水材料SPM是在消化吸收进口净水材料基础上,利用国产原料研制成功和应用的一种合金材料,经初步试验与核算SPM的性能达到引进产品的主要水质指标,但其售价仅为进口产品的50%~60%,因此由上海市科委立项,由上海芬迪超硬材料科技有限公司与华东理工大学资源与环境工程学院实行产学研结合,承担该项目并于2008年通过市科委组织的专家验收,并申请了国家发明专利。该项技术的先进性和技术特点: 1)去除自来水中的余氯效果良好,去除效率可高达90%以上; 2)去除水中有害金属离子如Pb、Hg、Cr、Cd等;3)抑制水中细菌和藻类繁殖,杀菌率也>?0%; 4)与活性炭和分离膜联用,可对活性炭和分离膜起到一定保护作用而延长其使用寿命,降低成本。在实验工厂实行批量生产,并应用于集团用、家用和全屋型饮用水净水机(器),以及居民社区分质供水的饮用水站。
华东理工大学 2021-04-11
3-氯-1,2-丙二醇的高效液相色谱-荧光检测方法
其他成果/n一种3-MCPD的高效液相色谱-荧光检测方法,该方法包括如下步骤:1)将3-MCPD水溶液经高碘酸盐溶液处理使其中的3-MCPD裂解成氯乙醛;2)去除过量高碘酸盐,消除副反应;3)荧光衍生化反应:将氯乙醛与荧光衍生化试剂反应生成具有荧光效应的目标物质;4)HPLC-FLD测定:对目标物质进行分离,并根据其色谱峰面积对3-MCPD进行定量;所述荧光衍生化试剂为邻氨基N杂二元环状化合物。本发明通过将一类方便易得、选择性好、荧光效率高、疏水性较强的新型荧光衍生化试剂用于高效液相色谱-荧光检测3
武汉轻工大学 2021-01-12
一种七甲川吲哚菁类有机染料作为线粒体荧光探针的应用
本发明公开了一种七甲川吲哚菁类有机染料作为线粒体荧光探针的应用,所述七甲川吲哚菁类有机染料的结构式如下:该荧光探针具有优异的线粒体靶向能力,并在结合线粒体后发出反射波长为610nm左右的红色荧光。同时,该探针还具有荧光量子产率高、成像时间长、信噪比高和细胞毒性低等优点,可作为一种新型的线粒体成像试剂。
东南大学 2021-04-14
单种铁矿粉综合性能评价模型
成果简介铁矿石品位下降及铁矿石质量劣化的现状下, 合理选择性价比高的铁矿粉对钢铁企业配矿和生产具有重要意义和经济价值。 单种铁矿粉综合性能评价模型根据铁矿粉化学成分及其物理性能、 冶金性能、 烧结基础特性和单烧性能, 结合钢铁厂的实际炼铁参数和铁矿粉市场行情, 分简单型和科学型对铁矿粉的综合性能作出科学合理的计算, 对当前条件下的铁矿粉采购价格作出预测, 为钢铁企业合理高效采购铁矿石、 降低炼铁成本, 提高生产效率, 加强原燃料管理提供量身定做的模型软件。 既可以为采购部采购铁矿石提供价格底线参考, 也可以为烧结厂优化配矿提供基础数据。成熟程度和所需建设条件采用 VC 程序设计语言开发的模型软件, 系统稳定、 成熟, 分单机版和网络版(网络版的参数可以网络共享)。 只需在计算机上安装模型软件, 不需要任何其他条件。技术指标根据铁矿石的种类与用途, 按直接入炉矿(生块矿、 球团矿) 和铁矿粉(精矿粉、 富矿粉) 四类分别进行评价。评价模型分为简单型和科学型, 简单型从化学成分进行计算与评价; 科学型在简单型基础上从化学成分、 物理性能和冶金性能、 矿石基础特性、 单烧性能进行全面的计算与评价。设置基准矿, 即以同期市场和企业生产条件下某种已知价格和性能的矿粉为基准矿, 待评价矿的性能与之对比, 从而预测相应的价格。 预测的价格与铁矿粉实际性能吻合度 90%以上。市场分析和应用前景该模型可用于钢铁企业采购部门、 烧结厂、 炼铁厂等多个部门使用, 联合使用可以选用网络版。 全国近 300 家钢铁企业都是潜在的客户, 铁矿粉贸易商也可以购买, 为合理定价提供技术依据。社会经济效益分析以产能 1000 万吨的钢铁厂为例计算, 需要采购铁矿粉 2000 万吨, 采用该模型, 为其中的 30%矿粉提供采购底价指导, 每吨节约保守以 5 元计算, 一年可以降低采购成本 3000 万元, 因此具有非常可观的经济效益。合作方式合作开发、 受托开发联系方式冶金学院 龙红明 0555-2311571 13956233905 yaflhm@126.com
安徽工业大学 2021-04-11
单种铁矿粉综合性能评价模型
铁矿石品位下降及铁矿石质量劣化的现状下,合理选择性价比高的铁矿粉对钢铁企业配矿和生产具有重要意义和经济价值。单种铁矿粉综合性能评价模型根据铁矿粉化学成分及其物理性能、冶金性能、烧结基础特性和单烧性能,结合钢铁厂的实际炼铁参数和铁矿粉市场行情,分简单型和科学型对铁矿粉的综合性能作出科学合理的计算,对当前条件下的铁矿粉采购价格作出预测,为钢铁企业合理高效采购铁矿石、降低炼铁成本,提高生产效率,加强原燃料管理提供量身定做的模型软件。既可以为采购部采购铁矿石提供价格底线参考,也可以为烧结厂优化配矿提供基础数据。
安徽工业大学 2021-04-30
老铁止痢可溶性粉制备
仔猪湿热泻痢是因外感湿热毒邪胃肠,长期的湿热壅滞严重影响仔猪的生长发育。 老铁止痢可溶性粉经处方筛选试验而得,其临床效果确实,主要用于大肠杆菌感染引起 的仔猪湿热泻痢的防治,在发病期间有良好的防治效果,可达到标本兼治,清热解毒, 燥湿止痢的效果。实验性临床试验和扩大临床试验研究结果也表明,老铁止痢可溶性粉 对大肠杆菌感染引起的仔猪湿热泻痢的治疗效果较好。 该制剂生产工艺稳定可行,操作简单,质量可控,确保该制剂临床应用时有效成分 的剂量稳定。方中的十大功劳、铁苋菜等均为传统中药,临床中至今未发现严重的毒副 作用,已有的药理学研究以及本课题的研究结果均证实了由这些药物制成的制剂,没有 急性毒性和亚慢性毒性作用。 老铁止痢可溶性粉按照科学的处方组成和工艺制备,保证了方中各药的有效成分, 同时该制剂便于饲养场投药。由于经过体外提取,药物的有效成分可在动物的消化道内 直接被吸收,大大提高了药物的生物利用度,既节约了中药资源,又可适当提高药效。 在使用时采用混水灌服,使用方便的特性有利于该药的推广应用。
青岛农业大学 2021-04-11
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