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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
关于“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项2023年度指南直接进入正式申报项目填报正式申报书的通知
根据国家重点研发计划重点专项管理工作的总体部署和相关工作要求，中国21世纪议程管理中心已完成了“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项2023年度项目申报指南预申报形式审查工作，已通过国家科技管理信息系统进行反馈，并依规确定了可直接进入正式申报环节的项目清单，请收到我中心关于正式申报邮件通知的项目及时按要求填报项目正式申报书（含预算申报），其他项目请等待后续通知。
科学技术部
2023-07-20
关于“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项2023年度指南通过首轮评审的项目填报正式申报书的通知
根据国家重点研发计划重点专项管理工作的总体部署和相关工作要求，中国21世纪议程管理中心已完成了“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项2023年度项目申报指南预申报项目首轮评审工作，并通过国家科技管理信息系统反馈了评审结果，依规确定了进入正式申报环节的项目清单，请符合条件的项目及时按要求填报项目正式申报书（含预算申报）。
科学技术部
2023-08-07
大倾角“三软”易燃厚煤层综放面综合防灭火技术研究与应用
该成果主要研究了大倾角 “ 三软 ” 易燃厚煤层综放面自燃规律、基于指标气体的预测预报技术、大倾角 “ 三软 ” 易燃厚煤层综放面综合防灭火技术。并制定宝鸡秦源煤业有限公司火灾事故应急救援预案、火区综合治理技术。项目于 2008 年由陕西省科学技术厅组织的鉴定，鉴定委员会一致同意通过技术鉴定。认为该项目在大倾角 “ 三软 ” 易燃厚煤层综放面防灭火技术研究方面达到国际先进水平。
西安科技大学
2021-04-11
在高温热泉极端环境烷烃代谢的微生物进化与起源
滇藏热泉生态系统中蕴含着丰富的微生物资源，包含大量的系统发育位置未知且功能奇特的神秘、新颖的微生物类群。课题组结合宏基因组学测序技术和生物信息学手段从中重构出14个具有甲烷/烷烃代谢能力的微生物基因组（图1），其系统发育多样性极高且独特，广泛分布于韦斯特古菌门、哪吒古菌门(Nezharchaeota)等TACK超级门中。值得一提的是，该课题组首次于奇古菌门(Thaumarchaeota)中发现其具有产甲烷功能。此前，奇古菌门以其好氧氨氧化能力而为众人所熟知，而课题组首次对其厌氧状态下产甲烷能力的发现表明我们目前对此门认知的局限性，神秘的自然界或将远远超出我们的认知。此外，组学技术的发展或将指引我们对其进化历史进行更全面的认知。课题组对这些未知生命的代谢特征进行了揭示，并发现除却传统的氢营养型产甲烷菌外，还有多种氢依赖的甲基营养性产甲烷菌，他们可吸收热泉生态系统中多种甲基底物以完成甲烷的产生（图2）。通过进化基因组分析，课题组还对古菌祖先的进化起源进行了推测，研究发现对于具有产甲烷能力的微生物类群，其甲烷代谢关键基因mcrABG相对较为保守，并无明显的水平基因转移时间发生；而对于烷烃氧化的微生物类群，水平基因转移对其多样性塑造有着深远影响。基于甲烷代谢基因的保守性，课题组对其祖先序列进行了序列重构，从而来推测祖先序列的最适生长温度，结果表明具有mcrABG标记基因的微生物类群或起源于高温生境（图3）。另外，由于 TACK和ASGARD超级门中，以及广古菌门中大部分支系均具有甲烷/烷烃代谢能力，且相应微生物相比其它同支系微生物有着更为悠久的进化历史，因此，课题组猜测地球早期生命中，古菌的祖先或具有甲烷和烷烃代谢能力。
中山大学
2021-04-13
基于交通大脑的城市广域交通管控一体化关 键技术
提出了多源异构交通大数据分析融合技术、城市广域交
通AI 信号控制技术、城市广域交通AI 协同管理技术和究城
市广域交通运行及管控评价技术。通过对关键技术突破及现
有技术集成应用，形成能够解决我国城市广域交通管控突出
问题的成套技术及解决方案。
浙江工业大学
2021-05-06
地下金属矿生产安全协同管控关键技术及产业化应用
针对地下金属矿作业场所分散、作业过程离散、作业环境恶劣、井下作业人员和装备移动频繁等问题，成果以信息化改造传统矿业理念，从融合业务流和数据流角度，对矿山生产安全协同管控的相关理论、技术、装置和系统等进行研究和开发。
提出并构建了矿山生产安全信息集成管理与融合应用系统框架体系，创立了面向成本、价格、效率等多维视角的地下金属矿生产安全协同管控新模式，研发了基于大数据的地下金属矿生产协同管控平台，实现了对地下金属矿生产安全全过程的精细化协同管控；研究了适应于地下金属矿泛在信息传输网络的快速构建技术，提出了基于等距扫描的井下空间激光探测方法，研制了基于超宽带技术（UWB）的井下作业人员及设备精确定位装置，研发了地下金属矿作业空间环境智能感知系统，解决了地下金属矿生产安全协同管控技术难题，在地下金属矿高效、安全与智能化开采方面取得的成果达到了国际领先水平。
中南大学
2023-07-18
一次性防飞溅隔离巾
“一次性防飞溅隔离巾”由上海交通大学医学院附属第九人民医院发明，该隔离巾由防护材料和透明材料等组合而成，预设有两对袖套式操作口，既能保证良好的视野，又提供了一定的操作自由度，方便医护人员实施临床治疗，可显著降低手术和操作过程中的感染暴露风险，以满足医护人员的安全防护要求。在临床资源有限的情况下，比如目前与新冠肺炎的战斗中，可以有效地为医护人员提供额外的安全防护，提高手术和操作的可行性，大大减少院感风险。一次性防飞溅隔离巾样品医务人员研究改进一次性防飞溅隔离巾 上海交通大学医学院附属第九人民医院组织耳鼻咽喉头颈外科王珮华主任医师、汪照炎主任医师和急诊科徐兵主任医师等相关学科的专家对该项目进行专业分析和可行性评估，并进行细节改进，立项“手术防飞溅隔离操作系列装置”创新项目。九院成果转化办公室成立应急小组，分别从原型设计、专利布局、专利申请、产品合规、产业对接等方面制定系统推进方案，各项细节同步实施。2月21日该系列装置完成四项发明和实用新型专利的申请，技术市场迅速形成推文，并于当天将九院抗疫发明的企业对接需求发布出去。在临床医疗救治中，有部分操作会有血液、痰液导致的气溶胶污染，容易导致医护人员发生暴露性感染风险，比如气管切开、肺结核患者的胸部手术、呼吸管口换管、吸痰等。即使有帽子、口罩、防护镜等个人安全防护配备，也很难防止气溶胶短时间在局部气流中的传播。在2003年的SARS和本次新冠肺炎的诊治过程中，有很多医护人员的感染就是因为直接面对飞溅液体和气溶胶。该系列装置适用于基层医院或紧急场景、生物安全防护条件不足的情况下医务人员实施紧急操作。
上海交通大学
2021-04-10
带有防咬手结构的水貂饲养装置
本实用新型公开一种带有防咬手结构的水貂饲养装置，包括网格状的外壳，外壳围成饲养水貂的空间，外壳上安装门结构，所述门结构包括门框和门体，门体安装在门框上，门框的周边形成防咬面，门体和门框之间的控制门体开合的连接部安装在防咬面上，在外壳上设置一独立的门框，该门框带有防咬面，门体的开合的连接部安装在防咬面上，因为防咬面可以阻挡水貂的嘴部伸出，人手操控的连接部又安装在防咬面上，水貂的嘴部无法接触人手，所以避免了打开或关闭门体时，人手遭受水貂突然袭击的风险。
青岛农业大学
2021-04-11
大型桥梁复合材料防船撞系统
南京工业大学复合材料结构研究所围绕桥梁、隧道、高速公路等交通基础设施减缓车辆、船舶撞击灾害的迫切需求，基于纤维增强复合材料耐腐蚀、轻质高强、缓冲性能优异等特点，在国内外首次提出了大型桥梁复合材料防船撞系统的设计理念，申请了2项国际PCT专利，获8项发明专利授权。建成了润扬长江大桥等4项防船撞工程，正开展港珠澳大桥等100余项防撞设计。研究所正开展隧道防车撞复合材料路缘、高速公路防车撞护栏、立交桥桥墩防车撞系统、航道船闸防船撞系统等研制工作，已申请4项国家发明专利，有效促进了复合材料防撞系统的系列化与专业化。 目前该项目可进行批量生产。
南京工业大学
2021-04-13