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高精度三轴加速度计产品工艺研发
已有样品/n针对产业界对MEMS 代工的迫切需求,微电子所科研人员以高精度三轴加速度计开发为牵引展开攻关,致力于在现有8 英寸硅工艺线上实现与CMOS 工艺兼容的通用MEMS 加工平台技术,成功开发出大深宽比MEMS 结构刻蚀、MEMS 与ASIC 晶圆堆叠、TSV 电学连接及晶圆级盖帽键合封装等关键工艺技术的量产,最终实现了TSV的ASIC 晶圆、MEMS 结构晶圆及盖帽晶圆的三层键合工艺,并顺利交付首款三轴加速度计产品。
中国科学院大学 2021-01-12
面扫描三维测量系统精度的实时调整方法
本发明公开了一种面扫描三维测量系统精度的实时调整方法。 首先通过判断相机内外部参数是否符合当前工作状态要求来确定面扫 描三维测量系统的精度是否符合要求,如果相机内外部参数符合当前 工作状态要求则继续测量,否则利用 Levenberg-Marquardt 算法对相机 内外部参数进行优化,使目标函数的平均值最小,此时认为相机内外 部参数是最优的;接着判断目标函数的平均值是否小于误差阈值,是 则用优化后的相机内外部参数继续测量,否则提示用户重新进行标定。 本方法能实时、在线地进行精度自检测和相机参数自动优化,在不重 复标定的情况下,能够使得相机的重投影误差平均值保持在 0.0028 像 素左右达 20 天以上。
华中科技大学 2021-04-13
复杂结构件数控加工精度与稳定性控制
随着航天发动机性能和技术指标的不断提升,涌现出叶轮、机匣、舱段、壁板等大量服役于高温、高应力恶劣工况的高性能复杂结构件,此类零件结构整体成形、型腔封闭狭小、型面精度苛刻、薄壁易于变形、材料难于切削、极低损伤要求,迫切需要解决高速切削机理、刀具设计制造、刀具路径规划、加工颤振抑制等制约高速切削加工效率、精度、稳定性的瓶颈问题。 项目在“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项、国家自然科学基金的支持下,系统掌握了航天特种难加工材料高速切削工艺规律,提出了五轴铣削刀具“结构-参数-动态特性”一体化设计与无瞬心包络刃磨方法,提出了多轴铣削刀具路径高阶切触规划和精度控制方法,提出了多轴铣削加工过程稳定性预测与颤振在线抑制方法,掌握了多轴加工的装备工艺交互行为及其动态演变规律,揭示再生效应和过程阻尼对加工稳定性的影响,通过刀具结构模态耦合调整工艺系统阻尼,实现颤振在线抑制,显著扩大了极限稳定区域。 形成了完整和自主可控的多轴加工稳定性控制技术体系,应用于“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项五轴加工中心、车铣复合加工中心和数控系统换脑工程,显著提升了国产高档装备和精密刀具对于航天复杂结构件精密制造的适用性和可靠性,获北京市科技奖二等奖1项、中国专利奖优秀奖1项。
北京理工大学 2023-05-10
复杂结构件数控加工精度与稳定性控制
随着航天发动机性能和技术指标的不断提升,涌现出叶轮、机匣、舱段、壁板等大量服役于高温、高应力恶劣工况的高性能复杂结构件,此类零件结构整体成形、型腔封闭狭小、型面精度苛刻、薄壁易于变形、材料难于切削、极低损伤要求,迫切需要解决高速切削机理、刀具设计制造、刀具路径规划、加工颤振抑制等制约高速切削加工效率、精度、稳定性的瓶颈问题。 项目在“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项、国家自然科学基金的支持下,系统掌握了航天特种难加工材料高速切削工艺规律,提出了五轴铣削刀具“结构-参数-动态特性”一体化设计与无瞬心包络刃磨方法,提出了多轴铣削刀具路径高阶切触规划和精度控制方法,提出了多轴铣削加工过程稳定性预测与颤振在线抑制方法,掌握了多轴加工的装备工艺交互行为及其动态演变规律,揭示再生效应和过程阻尼对加工稳定性的影响,通过刀具结构模态耦合调整工艺系统阻尼,实现颤振在线抑制,显著扩大了极限稳定区域。 形成了完整和自主可控的多轴加工稳定性控制技术体系,应用于“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项五轴加工中心、车铣复合加工中心和数控系统换脑工程,显著提升了国产高档装备和精密刀具对于航天复杂结构件精密制造的适用性和可靠性,获北京市科技奖二等奖1项、中国专利奖优秀奖1项。
北京理工大学 2022-05-30
一种高效高精度复合増材制造方法及装置
本发明公开了一种高效高精度复合增材制造方法及装置,采用 激光束与电子束复合实现。在高能束与金属粉末作用的过程中,激光 束扫描熔化表面轮廓的金属粉末,保证零件表面具有较好的表面质量; 电子束高速熔化内部粉末成形零件内腔,以达到最快的成形效率。装 置包括下部包括铺粉辊、工作台、送粉缸和工作缸;上部包括电子束 发生装置、激光束发生装置、底板、二根导轨、二根横梁、同步带轮 和伺服电机。电子束发生装置、激光束发生装置分别作为一
华中科技大学 2021-04-14
一种高精度的刀具偏离量在线测量方法
本发明公开了一种高精度的刀具偏离量在线测量装置,包括固 定安装于机床的主轴头上的装夹机构,所述装夹机构上安装有激光位 移测量装置,所述激光位移测量装置上连接有用于接收和处理其发出的信号的数据采集处理装置,所述激光位移测量装置包括两个以上的 激光测量头,激光测量头均安装在装夹机构上,每个激光测量头上均 设有激光发射器和激光接收器。采用激光位移测量装置测量切削过程 中刀具偏离量,信号采集频率高,测量精度高;采用至少两个激光测 量头,可以同时测刀具的 X 轴方向和 Y 轴方向上的偏离量,并通过建 立几何关系方程进行误差补偿,外部干扰影响小,测量精度高。
华中科技大学 2021-04-11
创想三维扫描仪CR-T高精度
深圳市创想三维科技股份有限公司 2021-08-23
极光尔沃A9,工业级大尺寸高精度,厂家保障
深圳市极光尔沃科技股份有限公司 2021-08-23
成都世纪方舟DDS-609 高精度模块电导率仪
大屏幕高分辨率彩色显示器,具有背光调节功能、使用数字/字母、符号按键操作 8档量程自动变频、自动转换,一键标定,自动校准电极常数 多参数测量,电导率、电阻率、TDS、盐度、电导灰分、温度 参比温度、温度系数、TDS系数、电导池常数可调 具有电极、方法、样品管理、操作人员及权限管理功能 电极管理功能:电极ID管理、记录电极常数、校准信息 用户管理功能:用户ID和密码管理,支持1000个用户登陆密码  方法管理功能:支持操作人员对不同测量需求建立单独的方法 校准管理功能:内置10种电导率标准溶液,1种自定义溶液,有欧美和中国标准溶液可选择  安全管理功能:断电保护功能,支持用户权限管理  界面管理功能:记录关机前测量模式,再次开机则自动进入关机前的模式测量界面 测量模式:不补偿、线性补偿、非线性测量 读数方式:实时测量、自动测量、定时测量 非线性温度补偿测量实验室纯水模式,特别适合电厂、微电子和制药等行业的使用,实验室I、II、III级用水模式、制药用纯水模式、制药用注射用水模式、电子级EW-I EW-II  EW-III 用水模式,均带报警提示功能 具有强大的数据管理功能,时钟和日期双显示,符合GLP标准,可追溯完整的信息 数据查阅:按样品名称查阅存贮数据 数据统计:仪器内置软件协议,将存储的数据直接传输电脑的office Excel、office Word或记事本等软件文本中,方便用户对测量数据进行归档统计、分析、比较等操作 支持测量方法的查阅、创建、拷贝、编辑、删除,1000套测量方法,3种数据输出报告格式:简单格式、普通格式、GLP格式
成都世纪方舟科技有限公司 2021-12-09
YXPVG高精度宽范围可编程直流电源
YXPVG高精度宽范围可编程直流电源是研旭电气最新研制全数字可编程直流电源供应器,采用基于数字信号处理的全数字控制技术以及高效的软开关技术以及主动功率因数校正技术,具有整机效率高、体积小、重量轻的特点,可提供精准的测试数据以及纯净可靠的供电以及与其他设备组建测试系统。本产品具有友好简洁的操作界面,用户操作方便快捷,极大的为您的测试节省了时间及人力成本,是您测试的理想帮手。 产品特点: 标准3U功率可达15KW,单机使用或上仪器都适用; 具备主动PFC功能,功率因数0.99; 最大工作功率≥95.8%,满载工作效率可达≥95.2%; 定电压(CV)/定电流(CC)自动切换,反应快速; 采用分辨率为240x128的LCD显示屏; 全数位设计,输出电压、电流及功率测量显示功能; 可并联多台电源工作,功率可扩展至150KW; 支持限流,均流功能; 支持输入过/欠压保护、输入过流保护; 支持输出过压,过流短路保护功能、以及过温度保护功能; 提供输出电压缓升,并可设定缓升时间,电压缓降,并可设定缓降时间; 10组设定数据记忆; RS-485通信; 直流输出ON/OFF开关。 应用领域: 移动通信;马达老化测试;汽车电子,高铁等领域电气测试;科技研发;LED照明测试;工业控制及自动化;半导体低功耗测试;汽车充电桩;通讯广播电视;太阳能光伏领域;医疗设备;邮电通信及基站;动车组电容,电池组充电测试;真空镀膜设备。
南京研旭电气科技有限公司 2022-07-22
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