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硅通孔结构及其制造方法
本发明公开了一种硅通孔结构的制造方法，包括以下步骤：将硅片的厚度减薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有绝缘层；在硅片的导电区表面和绝缘区表面制作掺杂掩膜，以对导电区和绝缘区分别进行粒子掺杂，绝缘区与导电区掺杂的粒子的极性相反；在粒子掺杂完成后去除掺杂掩膜；在导电区表面覆盖金属电极；在硅片的表面除金属电极之外的区域覆盖绝缘层。本发明的方法制造工艺简单，可避免刻蚀、绝缘处理等工艺对硅片的破坏，并能够提高制造硅通孔结构的成品率。本发明还公开了一种硅通孔结构。
华中科技大学
2021-04-11
一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。
华中科技大学
2021-04-14
低硼硅药用玻璃管
主要生产药用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液体瓶等产品。现拥有14条国际先进的拉管生产线，70余台国际先进的制瓶机，年产各类安瓿/管制瓶32亿支，药用玻管（精品7.0）30000吨。
山东力诺特种玻璃股份有限公司
2021-08-27
脱细胞真皮基质材料生产技术
成果描述：本项目为国家863计划项目的科技成果之一。经过长达10年的研究，已经取得了突破性进展，形成了系列具有自主知识产权的成套生产技术，《脱细胞真皮基质材料的制备方法》获得国家发明专利。 本项目产品以猪皮为原料，通过一系列物理、化学和生化的方法精制而成，优于传统意义上的脱细胞真皮基质材料。 本项目产品具有诸多优点：具有疏松的多孔三维网状结构；物理机械性能良好；具有良好的可控降解性；易于成型加工和临床赋型；抗原性较弱。本项目产品在生物医学材料领域的应用十分广泛。可用于组织工程支架材料，已应用于深度烧(创)伤修复、鼻中隔缺损的重建、鼓膜穿孔的修复、硬脑膜修补、萎缩牙龈的组织填充、膀胱或尿道修补、眼睑重建、巩膜替代等。市场前景分析：1.应用领域：（1）组织工程支架材料；（2）体表创伤修复材料；（3）生物填充材料；（4）整形美容材料；（5）体内组织修补材料。 2.市场需求分析：调查表明，本项目产品具有国内及国外销售的广阔市场前景：（1）国内市场：年需求量30万m2，潜在市场年需求量10-15m2；（2）国外市场：国内市场的需求量仅占国际市场的12％左右，因此，国外市场的年需求量大约为250万m2以上。 可见，本项目具有很大的发展空间和潜力。与同类成果相比的优势分析：按照年产10000平方米项目产品计算，按每平方米10000元计，年创销售收入1亿元，扣除生产成本及销售费用6000万元，则年利税可达4000万元。其中，综合税金1200万元，纯利润2800万元。 项目资金利税率114.29%。 项目资金利润率80%。 新建工厂，建设期按一年计，投资回收期为3.5年（含建设期）。 国际领先。
四川大学
2021-04-11
SCR脱硝尿素催化热解技术
还原剂是SCR烟气脱硝必不可少的重要原料。位于大中城市及其近郊区的电厂（人口稠密区的脱硝设施）因安全性要求较高，均宜选用尿素作为还原剂。通过理论研究、实验室小型实验、中试、工业示范，开发成功SCR脱硝尿素催化热解技术。（1）提出了尿素催化热解反应的合理温度区间；（2）研发出新型尿素热解炉；（3）开发出物料及能量平衡计算软件包。该成果获北京市科技成果二等奖。
东南大学
2021-04-11
SCR脱硝尿素催化热解技术
还原剂是SCR烟气脱硝必不可少的重要原料。位于大中城市及其近郊区的电厂（人口稠密区的脱硝设施）因安全性要求较高，均宜选用尿素作为还原剂。通过理论研究、实验室小型实验、中试、工业示范，开发成功SCR脱硝尿素催化热解技术。（1）提出了尿素催化热解反应的合理温度区间；（2）研发出新型尿素热解炉；（3）开发出物料及能量平衡计算软件包。
东南大学
2021-04-11
SCR脱硝尿素催化热解技术
还原剂是SCR烟气脱硝必不可少的重要原料。位于大中城市及其近郊区的电厂（人口稠密区的脱硝设施）因安全性要求较高，均宜选用尿素作为还原剂。通过理论研究、实验室小型实验、中试、工业示范，开发成功SCR脱硝尿素催化热解技术。 （1）提出了尿素催化热解反应的合理温度区间； （2）研发出新型尿素热解炉； （3）开发出物料及能量平衡计算软件包。
东南大学
2021-04-13
生物膜内自养脱氮工艺
CANON 工艺（Completelyautotrophicammoni-umremovalovernitrite）即生物 膜内自养脱氮工艺， 是一种新型生物脱氮工艺，该工艺是指在单个反应器或者 生物膜内通过控制溶解氧实现亚硝化和厌氧氨氧化，从而达到脱氮的目的。在 微氧条件下，亚硝酸菌将氨氮部分氧化成亚硝酸，消耗氧化创造 ANAMMOX 过程所需的厌氧环境；产生的亚硝酸与部分剩余的氨氮发生 ANAMMOX 反应 116 生成氮气。 在限氧条件下能够建立好氧和厌氧氨氧化菌的共生系统，而这一系统的存 在才导致 CANON 过程的发生。该工艺依赖于两种自养微生物菌群在缺氧条件 下稳定的相互作用关系，这两种自养微生物菌群分别为 Nitrosomonas 属好氧菌 和 Plancto2 mycete 目的厌氧氨氧化菌。这些自养菌将 NO2- 作为中间产物，将 NH4+直接转化成 N2。将这一工艺运用到实际污水处理过程中，可以在单一自 养反应器中实现 NH4+ 的完全去除。这两种自养微生物菌群在反应器中相互作 用，同时发生两种反应。在限氧条件下，NH4+被好氧亚硝化菌(如 Nitro2 somonas 和 Nitrososira)氧化成 NO2- 。随后，Plancto2mycete 目厌氧氨氧化菌将 产生的 NH4+ 和 NO2-以及痕量的 NO3-转化为 N2。NO2-也可作为微生物合成 时的电子供体，CO2 为电子受体，在这一过程中 NO2-被 CO2 氧化生成 NO3-。 在限氧条件下好氧和厌氧氨氧化菌的相互作用将使得 NH4+完全转化为 N2，同 时也有少量 NO3-产生。 在限氧条件下由于氧的穿透能力有限,因此自然形成了活性污泥的好氧区和 厌氧区,好氧区位于活性污泥的表层,主要以氨氧化菌和异养氧化菌为主;厌氧区 则位于活性污泥的里层,主要以 ANAMMOX 菌为主,可将氨氮及表层反应的产物 NO2-同时转化为 N2 和少量的 NO3-。 在实验室研究成果的基础上，成功应用于尿液提取液废水的污水处理工程， 通过改进设计及相关参数控制，一级生化氨氮浓度由初始浓度 5000 mg/L 左右， 降至 50 mg/L，处理量为 30 t/d，二级生化达到氨氮一级 A 排放标准。
山东大学
2021-04-13
烟气高压脱硫脱硝技术研究
烟气高压脱硫脱硝技术研究:获得烟气高压脱硫、脱硝一体化关键技术， 最优条件下脱硫脱硝效率分别可达到 100%和 93%。自主研发了可以同时测量 5 种溶液成分 CO2、HCO3-、HSO3-、SO2 和 SO32- 的 滴定装置(Self-build Auto Titrator)，解决了1溶液测量中难以获得溶液中 溶解 CO2 和 SO2;2滴定方法难以区分 HCO3-和 SO32-的关键测量问题。该溶液 分析装置可用于脱硫塔中 SO2、CO2 相关反应机制的研究，也可用于 Callide 电 厂脱
上海理工大学
2021-01-12
一种煤的脱碱方法
本发明公开了一种煤的脱碱方法，包括以下步骤：(1)将待脱碱 的原煤进行破碎，得到煤粉；(2)将步骤(1)中得到的煤粉与洗脱液进行 混合，得到煤水混合液，所述洗脱液为水溶性有机溶剂的水溶液，其 中水溶性有机溶剂的体积分数在 5％至 20％之间；(3)向步骤(2)中得到 的煤水混合液通入含二氧化碳的气体，在 20～60℃下搅拌浸洗 3～24 小时，使得二氧化碳过量；(4)将经步骤(3)处理的煤水混合液进行固液 分离，得到的固形物干燥后即为脱碱煤。本方法脱碱效果好，反应条 件温和，工艺简单，成本低廉。
华中科技大学
2021-04-13