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硅通孔结构及其制造方法
本发明公开了一种硅通孔结构的制造方法，包括以下步骤：将硅片的厚度减薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有绝缘层；在硅片的导电区表面和绝缘区表面制作掺杂掩膜，以对导电区和绝缘区分别进行粒子掺杂，绝缘区与导电区掺杂的粒子的极性相反；在粒子掺杂完成后去除掺杂掩膜；在导电区表面覆盖金属电极；在硅片的表面除金属电极之外的区域覆盖绝缘层。本发明的方法制造工艺简单，可避免刻蚀、绝缘处理等工艺对硅片的破坏，并能够提高制造硅通孔结构的成品率。本发明还公开了一种硅通孔结构。
华中科技大学
2021-04-11
一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。
华中科技大学
2021-04-14
低硼硅药用玻璃管
主要生产药用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液体瓶等产品。现拥有14条国际先进的拉管生产线，70余台国际先进的制瓶机，年产各类安瓿/管制瓶32亿支，药用玻管（精品7.0）30000吨。
山东力诺特种玻璃股份有限公司
2021-08-27
输入调节组件及包含该组件的螺线管磁场测定实验仪
本实用新型实施例提供了一种输入调节组件及包含该组件的螺线管磁场测定实验仪，输入调节组件包括：调节旋钮、光电编码器、微控制器和显示屏；其中，调节旋钮与所述光电编码器的转轴连接，调节旋钮可带动光电编码器的转轴同步转动；微控制器与光电编码器的输出端连接，用于根据光电编码器产生的脉冲信号，获取调节旋钮的旋转方向、旋转角度及旋转速度信息，并通过微控制器解析和分析后，对相应的输入对象进行调节。通过包含光电编码器的输入调节组件，可实现输入调节的全数字化，使得输入调节既快速又精准。螺线管磁场测定实验仪采用了该输入调节组件，使仪器使用中的故障率大幅度降低，实验操作过程更加方便、简洁，从而达到更好的使用效果。
（注：本项目发布于2018年）
华中农业大学
2021-01-12
擦剂
产品详细介绍
山西世纪星科技发展有限公司
2021-08-23
PiSADN污水高效低成本深度脱氮技术
PiSADN污水高效低成本深度脱氮技术是国内外首次提出的污水高效低成本深度脱氮解决方案
一、项目分类
关键核心技术突破
二、成果简介
到2020年底，全国大部分新建污水处理厂和敏感区域污水处理厂均已经提标到一级A标准。由于我国的城市污水C/N比普遍偏低，难以满足脱氮要求。当前污水处理厂主要采用投加有机碳源的方式强化反硝化脱氮，为此大大增加了成本。为解决此问题，近年来学术界、工业界致力于寻找化学碳源以外的替代性电子供体以实现低成本的污水脱氮，其中，硫自养反硝化技术是重点关注对象。
基于S0的自养反硝化工艺（SADN）是一种新兴的低成本污水脱氮技术。但S0的溶解度低导致它的生物可利用性差，因而限制了SADN的速率而阻碍工艺的推广应用。本技术研究创新发现，揭示了SADN中加入少量有机碳除促进SADN反应速率的机理，并丰富了有机物投加条件下的多种不同硫形态电子供体或有机物电子供体的反硝化路径。此外，进一步研究发现通过在SADN体系自发形成多硫化物（Sn2-），其生物可利用性远高于S0。Sn2-一旦产生，可迅速被硫氧化反硝化菌利用，实现污水中硝氮的快速还原。这一通过多硫化物介导并加速硫自养反硝化的技术，称为PiSADN反应过程（Polysulfide-involved SADN），是国内外首次提出的污水高效低成本深度脱氮解决方案。
目前本技术已经申请了1个国家发明专利，已发表2篇SCI学术论文，其中一篇发表在环境领域顶级期刊Water Research上，因此，本技术具有先进性和独占性。
中山大学
2022-08-15
一种焦炉烟气的脱硝方法
本发明公开了一种焦炉烟气脱硝方法，包括物理吸附、空烟混合、燃烧反应、烟烟混合、蒸发混合、脱硝反应、水气换热和气气换热。待脱硝焦炉烟气采用焦粉吸附焦油等杂质后，一部分与加热后空气混合，和焦炉煤气发生低氮燃烧反应，生成高温烟气，然后与采用水蒸汽雾化的氨水液滴直接接触，形成适合反应的氨气/烟气混合物，然后发生脱硝反应，脱除大部分氮氧化物，烟气通过换热器依次与给水和空气发生热量交换，前者吸热后变成水蒸汽，一部分作为雾化介质，另一部分回到焦化车间，后者加热后与前述焦炉烟气混合，最后净化后的烟气排放至大气。
该方法采用烟气再循环低氮燃烧和氨水直喷技术实现焦炉烟气SCR高效脱硝，具有系统紧凑、高效节能和产品循环利用的优点。
东南大学
2021-04-11
交替极无刷永磁电机及基于该电机的电子助力转向系统
本发明公开了一种交替极无刷永磁电机，用于电子助力转向系 统中，该电机包括：呈中空筒体状的定子铁芯，其内壁开有槽，定子 绕组放置在对应的定子槽内；呈中空筒体状的转子铁芯，同轴套设在 定子筒体的中心通孔中，其外表面开有多个槽，且槽数为电机运行磁 场极数的一半；以及多个磁钢，其分别一一对应放置在转子铁心的各 槽内，且相邻槽的磁钢极性相同，使得转子磁钢只存在单一极性，形 成凸极结构，从而能够实现降低永磁用量的同时保持电机的输出转矩。 本发明还公开了相应的电子助力转向系统。本发明的装置对永磁电机 的转子结构进
华中科技大学
2021-04-14
一种高真空压铸用冲头及用于该冲头的润滑装置
本发明公开了一种高真空压铸用冲头，包括：冲头本体，其一 端开有一定深度的轴向中心孔以作为冷却腔体；具有轴向中心通孔的 射杆，其与冲头本体同轴相对布置，相对的另一端与驱动部件连接； 以及具有轴向中心通孔的冲头射杆螺纹连接件，其置于冲头本体和射 杆之间，两端头分别与两者端部固定连接，一用于提供冷却水的冷却 水管穿过射杆和冲头射杆螺纹连接件的中心通孔后与螺纹水槽件的中 心通孔连通。本发明还公开了用于上述冲头的润滑装置。本发
华中科技大学
2021-04-14
配流冷却机构及具有该配流冷却机构的斜盘压缩机
本发明公开了一种配流冷却机构，包括依次相连接的进气阀片、阀板、出气阀片、导流片及冷媒片。所述进气阀片开设有第一通槽、第二通槽、第三通槽及第四通槽，所述第一通槽、所述第三通槽、所述第二通槽及所述第四通槽绕所述进气阀片的中心轴均匀排布；所述第一通槽、所述第二通槽、所述第三通槽及所述第四通槽内分别设置有一级进气舌簧片、二级进气舌簧片、三级进气舌簧片及四级进气舌簧片，所述一级进气舌簧片、所述二级进气舌簧片、所述三级进气舌簧片及所述四级进气舌簧片分别通过弹性变形或者恢复弹性变形，以控制进入斜盘压缩机的缸体的气体的流路，进而实现所述斜盘压缩机的四级压缩。本发明还涉及具有所述配流冷却机构的斜盘压缩机。
华中科技大学
2021-04-14