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谐振式压力传感器
一、项目简介
MEMS压力传感器是基于MEMS工艺，把被测压力作用下膜的形变通过一定的规律转换成电信号的一种测压装置，众多MEMS压力传感器中，直接输出频率量的谐振式MEMS压力传感器具有最高的测量精度。高精度谐振式MEMS压力传感器在航天航空领域具有极大的用途。在飞机上，为了获得飞行的高度、速度等大气数据，通常需要测量压力。同时其在卫星和火箭发动控制系统、大气和宇宙数据检测系统中也是迫切需要的传感器，在国内外都有相当大的市场，在我国军事领域，谐振式MEMS压力传感器因其性能优越亦逐步应用到航天、航空、装甲车、舰艇等各兵种装备中。
二、技术成熟度
谐振式MEMS压力传感器工作于闭环激励状态来维持谐振，谐振器是其核心部件，传感器整体精度的高低在很大程度上由谐振器的机械品质决定，受电路参数变化影响较小。其次，技术体系成熟的MEMS技术包括硅基表面加工技术与体硅加工技术使得核心元件的加工生产变的有序可控。本课题组开发的MEMS谐振式压力传感器精度已经达到0.02%FS，各项工艺技术成熟可靠。
三、投产条件和预期经济效益
MEMS传感器核心的投产需要超净实验室(100级，1000级和10000级)和先进齐全的硅微加工设备，包括从制版、光刻、扩散、镀膜、刻蚀到抛光、键合等各种工艺设备。还需配备各种薄膜质量检测设备，可以完成从薄膜制备到测试分析的一系列研究，同时需要具有SEM、TEM、XRD等大型设备，为MEMS相关项目研究的顺利开展提供充分的设备保障。在经济效应方面，其市场规模在2009年就达到了59.1亿元，其中，压力传感器占据市场份额的25%，目前国内同类传感器进口收到限制，较低端的传感器每只约2.0万元人民币，按照各行业每年平均所需，年产5000只压力传感器，可获年产值约1亿元人民币。
厦门大学
2021-01-12
一种基于互补裂口谐振环的宽带低剖面微带贴片天线
微带贴片天线是一种极有吸引力的天线类型，它具有成本低、重量轻、共形特征以及易于大规模生产的突出优点。然而，在应用中微带贴片天线最主要的障碍是极为有限的工作带宽。典型的微带贴片天线的阻抗带宽只有百分之几量级。因此，许多研究工作都集中于如何扩展微带贴片天线的频率带宽的技术上。比如目前较为流行的分层贴片技术、孔径耦合技术、E型贴片技术等。但是为了获得超过百分之二十的分数阻抗带宽，以上技术均需要较厚的介质基板或者空气层，从而增加了天线的剖面高度，严重影响了天线的共形与集成。目前国际上利用特异材料结构实现微
重庆大学
2021-04-14
新型谐振MEMS微惯性传感器
研发生产的半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微惯性传感器，达到惯性级，在微小卫星、微航天器等场合极具应用潜力。与传统的微陀螺相比，该陀螺无运动部件，抗冲击性更好；同时该陀螺可以采用角速度检测和角速度积分检测两种工作模式，极大的提升了其应用场合与范围。
上海交通大学
2021-04-10
谐振变换器的闭环启动方法
本发明公开了谐振变换器的闭环启动方法；谐振变换器包括依 次串联连接的桥式电路、谐振电路、变压器、整流电路、滤波电路； 以及输入检测电路、驱动电路、峰值检测电路、输出检测电路和数字 处理器。输入检测电路连接于谐振变换装置输入端，检测输入电压并 送入数字处理器；驱动电路连接于数字处理器，将 PWM 信号转为驱 动电平以驱动桥式电路；峰值检测电路连接于谐振电路，检测谐振电 流峰值并送入数字处理器；输出检测电路检测输出电压和输出电流， 并送入数字处理器。本发明通过峰值检测电路检测谐振电流峰值，实 现容易；在
华中科技大学
2021-04-14
新型谐振MEMS微惯性传感器
针对我国在军事、工业等领域对高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微惯性传感器日益迫切的需求，上海交通大学自2001年起就开展基于MEMS技术的微惯性传感器的研究，已成功研制十余款传感器样机，在研的半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等预期体积小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望达到惯性级，在微小卫星、微航天器等场合极具应用潜力。与传统的微陀螺相比，该陀螺无运动部件，抗冲击性更好；同时该陀螺可以采用角速度检测和角速度积分检测两种工作模式，极大的提升了其应用场合与范围，特别适合在高G环境下进行空间位置测量、导航与姿态控制等。此外，其在消费电子市场以及汽车市场也拥有这巨大的应用空间，如手机、游戏机等手持电子设备的姿态控制系统，照相机、摄像机的稳定电子平台，汽车的防翻车预警系统等。。相关研究内容作为重要组成部分曾获省部级及以上奖励多次，授权发明专利几十余项，微陀螺方面的专利国内第一，国际第二，发表SCI/EI等论文几十篇。
上海交通大学
2021-04-13
硅微谐振式压力传感器
本硅微谐振式压力传感器采用自主设计的膜片——谐振梁式复合敏感结构、自主探索的工艺流程和自主研发的信号处理技术，具有优良的稳定性和灵敏度，且敏感结构比国外同类产品简单，适合国内工艺水平现状。 该传感器用于大气压力测量或液体压力测量，在气象、航空、石油、化工、电力等领域应用前景广阔。目前，该技术已达到小批量样机生产的实用要求。
北京航空航天大学
2021-04-13
单层多频多辐射器天线
单层多频多辐射器天线涉及一种平面天线，该天线包括介质基板（１）、介质基板（１）上的金属地（２）、辐射槽缝（３）、上辐射贴片（４）、下辐射贴片（５）和微带馈线（６）；介质基板（１）的一面是金属地（２）和辐射槽缝（３），另一面是上辐射贴片（４）、下辐射贴片（５）和微带馈线（６）的导带（１１）；金属化过孔阵列把金属地（２）与辐射贴片相连；微带馈线（６）一端是天线端口（１０），微带馈线（４）另一端开路并跨过辐射槽缝（３）并伸展一段长度。该天线是多频带多辐射器工作，各个频带独立可调，辐射特性也可调，天线尺寸和
东南大学
2021-04-14
单层多频双辐射器天线
单层多频双辐射器天线涉及一种平面天线，该天线包括介质基板（１）、介质基板（１）上的金属地（２）、辐射槽缝（３）、辐射贴片（４）和微带馈线（５）；介质基板（１）的一面是金属地（２）和辐射槽缝（３），另一面是辐射贴片（４）和微带馈线（５）的导带（６）；金属化过孔阵列（７）把金属地（２）与辐射贴片（４）相连；微带馈线（５）一端是天线端口（９），微带馈线（５）另一端开路并跨过辐射槽缝（３）并伸展一段长度。该天线是多频带双辐射器工作，各个频带独立可调，天线尺寸和交叉极化小。
东南大学
2021-04-14
格栅单板多频双辐射器天线
格栅单板多频双辐射器天线涉及一种平面天线，该天线包括介质基板（１）、介质基板（１）上的金属地（２）、辐射槽缝（３）、辐射贴片（４）和微带馈线（５）；介质基板（１）的一面是金属地（２）、格栅（２１）和辐射槽缝（３），另一面是辐射贴片（４）和微带馈线（５）的导带（６）；金属化过孔阵列（７）把金属地（２）与辐射贴片（４）相连；微带馈线（５）一端是天线端口（９），微带馈线（５）另一端开路并跨过辐射槽缝（３）并伸展一段长度。该天线是多频带双辐射器工作，各个频带独立可调，天线尺寸和交叉极化小。
东南大学
2021-04-14
格栅单板多频多辐射器天线
格栅单板多频多辐射器天线涉及一种平面天线，该天线包括介质基板（１）、介质基板（１）上的金属地（２）、辐射槽缝（３）、上辐射贴片（４）、下辐射贴片（５）和微带馈线（６）；介质基板（１）的一面是金属地（２）、格栅（２１）和辐射槽缝（３），另一面是上辐射贴片（４）、下辐射贴片（５）和微带馈线（６）的导带（１１）；金属化过孔阵列把金属地（２）与辐射贴片相连；微带馈线（６）一端是天线端口（１０），微带馈线（４）另一端开路并跨过辐射槽缝（３）并伸展一段长度。该天线是多频带多辐射器工作，各个频带独立可调，辐射特性
东南大学
2021-04-14