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一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置
本发明公开了一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置。用于制作原子层沉积膜的喷头,包括进气管路、进气口和出气口;所述进气口内部为空腔;所述出气口内部形成空腔,分为上半部分和下半部分,其上半部分与下半部分之间设有漏斗形结构;进气管路与进气口固定连接,进气口与出气口可拆卸密闭连接。用于制作原子层沉积膜的装置,包括所述喷头、腔体支撑架、基片承载台和运动平台,腔体支撑架中间形成长条状镂空,可顺序设置多个可拆卸喷头,基片承载台设置在墙体支撑架下方,运动平台带动基片承载台。本发明能适应不同的原子层沉积反应,通
华中科技大学 2021-04-14
智能五轴联动数控AB点胶机的胶量跟随控制装置及方法
传统的双组份点胶系统的点胶部分自成一体,在点胶头加减速运动过程(特别是不规则图形点胶)中,点胶速度并不能自动跟随加减速,造成点胶头低速(曲线启始或曲线拐弯)时点胶过多,而在高速时点胶又不够的不均匀问题。本发明是在三轴运动控制平台基础上添加A和B两轴由步进电机或伺服电机带动的点胶泵构成五轴联动的插补数控系统,充分考虑机床的运动、A、B料的点胶泵的运动及外界温度的相互影响,满足从任意当前速度和加速度过渡到可随时调节的任意目标速度的S型的加减速,能使点胶运动具有较高平稳性,实现AB胶点机的
河海大学 2021-04-14
一种多角度动态光散射粒径分布测量装置及方法
本发明公开了一种多角度动态光散射粒径分布测量装置及方法, 该装置包括激光器、比色皿、旋转位移台、接收模块、光子计数器和 计算处理模块,比色皿用于容纳待测量的纳米颗粒悬浮液;旋转位移 台具有外圆盘和内圆盘;接收模块位于外圆盘上,并随外圆盘绕旋转 轴旋转,用于从不同角度接收经待测量的纳米颗粒悬浮液散射的散射 光;光子计数器用于记录该接收模块从不同角度接收的散射光光强随 时间变化的信息;计算处理模块用于根据接收到的散射光、
华中科技大学 2021-04-14
双光学放大倍率图像采集装置及图像采集控制处理系统
通过采用两个不同光学放大倍率图像采集系统,进行巧妙的光路切换,实现了针对检测对象变换图像分辨率的要求,有效解决了高密度PCB检测速度和微小元件检测准确度的矛盾,破解了长期困扰自动光学检测技术领域共性技术难题;应用企业已累计生产销售682台套,用户已达到300多家,部分产品出口到了欧盟、东南亚等国家和地区,打破了相关高端设备一直被国外设备垄断的局面,有效促进了行业的技术进步。
华南理工大学 2021-04-14
对具有导磁材料保护层的构件腐蚀检测方法及装置
本发明提供了一种对具有导磁材料保护层的构件腐蚀检测方法,具体为:将导磁保护层磁化到饱和或深度饱和,在被测构件表面选取参考区域和待测区域,在两区域的保护层上设置脉冲涡流传感器,向脉冲涡流传感器激励线圈中施加方波激励,测取方波下降至低电平后传感器检测线圈内感应电压的衰减曲线,比较两区域的感应电压衰减曲线差异,即可判别待测区域相对参考区域的腐蚀情况。本发明还提供了实现上述方法的装置,包括依次连接的脉冲涡流传感器、方波信号激励电路、信号处理电路、A/D 转换电路和计算机,脉冲涡流传感器带有磁化单元。本发明提
华中科技大学 2021-04-14
一种水体表观光谱二向性自动测量装置及方法
本发明公开了一种水体表观光谱二向性自动测量装置及方法,装置包括总控系统、观测几何自动调 整系统、全球定位系统、多角度光学测量系统;总控系统分别通过电缆与观测几何自动调整系统、全球 定位系统、多角度光学测量系统连接,多角度光学测量系统安装在观测几何自动调整系统上;方法包括 安装部署、位置信息输入、实时时间信息输入、太阳方位角计算、观测几何自动调整、多角度光谱采集; 本发明能轻松实现若干个观测方位上的水体表观光谱的自动测量,严格调整观测角度,并行采
武汉大学 2021-04-14
一种网络化的多轴电机同步控制装置及方法
本发明公开了一种网络化的多轴电机同步控制装置及方法,其装置包括脉冲采集模块、控制器模块、同步串行差分总线、多轴模块、伺服电机驱动模块和人机交互模块;通过包括脉冲采集模块采集主令电机输出的脉冲信号经过光电隔离处理后发送到控制器模块,控制器·746·模块对接收到的脉冲信号进行周期性的采样计数,将脉冲数通过同步串行差分总线发送给多轴模块,多轴模块根据当前的数据帧以及从动电机的反馈脉冲信号生成 PWM 控制信号
华中科技大学 2021-04-14
一种制备太阳能电池栅电极的装置及方法
本发明提供了一种制备太阳能电池栅电极的装置及方法,装置包括银浆供给装置,喷嘴高度调节模块,喷嘴,可程控的高压发生器,吸附平台,运动平台和控制单元;方法包括将太阳能基板设置于吸附平台上,制备第一栅电极和制备第二栅电极,第二栅电极的宽度大于第一栅电极的宽度;本发明利用电纺丝直写工艺打印太阳能电极;利用电场将喷嘴中的银浆拉成直径比喷嘴直径小的丝。通过控制不同的电压,喷嘴高度,和基板进给速度可控制打印出的栅线宽度和高度。电压影响一定高度下泰勒锥的稳定性。高度主要通过影响栅线在空中的固化程度来影响打印栅线的高
华中科技大学 2021-04-14
一种含烃类气体中汞的连续测量方法及装置
本发明提供一种含烃类气体汞的测量方法,具体为:将待测量的含烃类气体通过处于加热环境下的金属载氧体,对汞测量存在干扰的烃类物质通过与金属载氧体发生氧化反应转换为二氧化碳和水,去除反应后气体中的水蒸气,采用测汞仪对汞进行测量。本发明还提供了实现上述方法的测量装置,结构为:第一质量流量计依次管道连接第一阀门、用于放置金属载氧体的第一反应器、去湿装置和测汞仪,第一反应器置于电加热炉内,电加热炉连接控温仪,去湿装置连接制
华中科技大学 2021-04-14
一种机器人力控示教模仿学习的装置及方法
本发明属于机器人智能控制相关技术领域,其公开了一种机器 人力控示教模仿学习的装置,其包括六自由度并联示教机器人、第一 六维力传感器、第二六维力传感器、六自由度操作机器人及力位采样 控制系统,所述第一六维力传感器设置在所述六自由度并联示教机器 人的末端执行器上,其用于感测所述六自由度并联示教机器人受到的·109·驱动力;所述第二六维力传感器设置在所述六自由度操作机器人的末 端执行器上,其用于感测所述六自由度操作机器人末端的接触力;所 述力位采样控制系统分别电性连接于所述六自
华中科技大学 2021-04-14
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