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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
适用于具有功能梯度及拉胀属性的超材料的拓扑优化方法
本发明属于超材料设计相关技术领域，其公开了一种适用于具 有功能梯度及拉胀属性的超材料的拓扑优化方法，其包括以下步骤: (1)采用加权法建立每层的、同时考虑微观结构拉胀属性及宏观结构刚 度属性的多目标优化模型;(2)控制所述超材料结构整体在一个方向上 的拉胀属性及刚度属性呈梯度形式分布;(3)计算每层设计域上的微观 位移、宏观位移、以及每层微结构的等效弹性属性;(4)基于计算获得 的敏度，采用优化准则法更新设计变量，进而判断所述目标函数是否 收敛。上述拓扑优化方法采用加权法建立同时考虑微观结
华中科技大学
2021-04-14
视频测距的海洋平台起重机升沉补偿控制系统试验台
本发明公开了一种视频测距的海洋平台起重机升沉补偿控制系统试验台。包括液压油源，液压控制阀，控制手柄，液压绞车，直接泵控式电液升沉补偿装置、控制计算机，工业摄像机，机架，模拟负载，六自由度平台，配电控制柜和张力传感器。本发明它可方便的进行利用视频测距的海洋平台起重机升沉补偿运动控制系统的测试、常规海洋平台起重机操作过程的模拟与测试，通过对钢丝绳张力的检测，可判别利用机器视觉的海洋平台起重机升沉补偿运动控制系统的控制性能优劣，并与常规海洋平台起重机进行对比，进行利用机器视觉的海洋平台起重机升沉补偿运动控制系统的控制策略研究，该试验台结构紧凑，使用方便，具有广泛的实用性。
浙江大学
2021-04-11
自动变速器控制系统及其实验台的开发与研制
1.TCU 的开发制作 开发设计与制作了自动变速器电子控制单元(TCU)的软硬件系统，包括设计与制作 了其外围电路。 2.半实物仿真实验台的开发制作 实验台主要用于 TCU 软硬件的设计与调试及换档规律的评价等，它包括仿真试验台 软件设计和硬件制作两部分。在试验过程中可将 TCU 接入仿真环路系统中，通过友好的 交互界面，用户只要进行简单的输入参数设置，即可进行实时的自动变速器仿真试验， 包括一些极端行驶工况。 3.自主开发 TCU 的实车试验 自主开发的 TCU 在半实物仿真实验台上调试结束后，进一步进行实车试验。下图为 用自主开发的 TCU 装在 SANTANA2000 上，由国家机动车监督检测中心（上海）在国际赛 车场进行严格的动力性与经济性的测试，达到或接近国际先进水平。
同济大学
2021-04-13
电脑控制、封闭式快速装夹涡轮增压器性能试验台
Ø 成果简介：能按照国家有关技术标准（JB/T9752.2—1999（NJ408—86）涡轮增压器试验方法）要求，进行增压器的冷吹、热吹、自循环出厂试验、增压器总效率试验，压气机特性试验、增压器超速超温试验、增压器可靠性试验等。试验台采用最新研制的高性能电子测控系统，各测量参数由传感器进行采集，电子计算机控制记录、分析、处理数据，数字式仪表显示。增压器的装夹采用快速气动安装装置，大大节约了装卸增压器的时间。试验台为全封闭式结构、操作简便、使用安全，外形美观。 此项技术的相关成果
北京理工大学
2021-01-12
系列车用涡轮增压器测试试验台及关键技术
Ø 成果简介：增压器试验在新产品的开发和产品质量的控制方面发挥着非常重要的作用。国际知名的增压器生产企业都会根据自己的生产情况配有较完善的增压器测试设备，先进的测试系统和现代化试验台的结合为甚至最小的发展步骤都提供了可靠的检验，保证了产品的高质量。对国内增压器制造企业来说，对生产设备的重视程度要远远超过了对试验测试的重视程度，这也使得国产增压器在应用过程中增压器本身的故障以及由增压器故障诱发的发动机故障时常发生，严重影响了国内产品在国内外市场上的竞争能力。Ø&nb
北京理工大学
2021-01-12
电脑控制、封闭式快速装夹涡轮增压器性能试验台
能按照国家有关技术标准（JB/T9752.2—1999（NJ408—86）涡轮增压器试验方法）要求，进行增压器的冷吹、热吹、自循环出厂试验、增压器总效率试验，压气机特性试验、增压器超速超温试验、增压器可靠性试验等。 试验台采用最新研制的高性能电子测控系统，各测量参数由传感器进行采集，电子计算机控制记录、分析、处理数据，数字式仪表显示。增压器的装夹采用快速气动安装装置，大大节约了装卸增压器的时间。 试验台为全封闭式结构、操作简便、使用安全，外形美观。 此项技术的相关成果有:涡轮增压器性能实验台，可移动式涡轮增压器自循环试验台。
北京理工大学
2021-04-13
一种用于光学测量仪器样品台校准的系统及其方法
本发明公开了一种用于光学测量仪器样品台校准的系统及方法。在椭偏仪直通式的情况下进行光路系统的对准，包括前光路和后光路的对准；在椭偏仪斜入射式粗调样品台上的旋钮，使得检偏臂光学接收器孔能够接受到一部分光束；微调样品台上的旋钮，使表示光束的十字光标出现在中心位置；以 l 为步长令系统前部和系统后部在 Z 轴方向上进行扫描，并记录在每个高度位置时探测器接受到的总光强，绘制出一条光强曲线，系统自动选取光强值最大点处为样品台最优相对高度位置。系统主要包括光源，起偏臂，前置四象限探测器，检偏臂，分光镜，内置四象
华中科技大学
2021-04-14
一种低刚度的磁悬浮重力补偿器及微动台结构
本发明属于重力补偿结构相关技术领域，其公开了一种低刚度 的磁悬浮重力补偿器，其包括动子结构及定子结构，动子结构包括外 永磁阵列环、内永磁阵列环及动子支撑框架，外永磁阵列环及内永磁 阵列环分别设置在动子支撑架的环形槽相对的两个侧壁上，内永磁阵 列环的厚度大于外永磁阵列环的厚度;定子结构包括收容于环形槽内 的线圈支架及嵌设在线圈支架上的定子永磁环，所述定子永磁环的高 度大于厚度，定子永磁环与内永磁阵列环的间距小于定子永磁环与外 永磁阵列环的间距。本发明还提供了具有上述的磁悬浮重力补偿器的 微动台结构。本
华中科技大学
2021-04-14
DS-RM-AE 加工中心（数控铣床）装调维修实验实训台
该实训装置为数控机床真实的电控系统，透明化展示，可进行电气配置、安装、接线、参数设置、PLC（PMC）编程、调试、性能优化、故障诊断等实训项目。 实验培训内容 1) 数控系统功能、结构、安装、参数设置、调试 2) 数控机床报警识别、故障诊断及维修 3) 数控系统数据备份、与计算机的通讯 4) 交流伺服电机驱动接线、调试及动态特性 5) 主轴电机的接线、参数设置和调试 6) 霍尔元件、接近开关等传感器的原理和应用 7) 半闭环控制的实验和调试 8) PLC指令、编程及逻辑控制 9) 输入输出接口的定义、设置及调试 10)数控机床电气柜控制电路的原理及应用 11)低压电气元件的原理、性能及接线 12)丝杠螺距、传动比等参数设置 13)反向间隙补偿实验 14)丝杠螺距误差补偿实验 15)数控机床的编程、插补运动的实验 16) 车削中心C轴功能的调试、编程（四合一） 产品特点 1) 铝合金结构 2) 工业现场真实电控系统的透明展示 3) PLC控制面板 4) 刻度盘显示伺服电机转动 5) 电机区透明防护罩 6) 强力对流风机 7) 滚轮式可移动 8) 配置完整的实训指导书、系统说明书、调试手册、PLC程序，调试开发软件包、数据光盘等.
南京德西数控新技术有限公司
2021-12-08