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超
稳定微环境控制系统
以投影光刻机、超精密光学系统、超稳定运动工件台以及激光干涉测量仪等为代表的超精密设备对其加工环境要求及其苛刻,对环境中的温度、压力、湿度、洁净度都必须加以超稳定的超稳定控制。 一、项目分类 关键核心技术突破 二、成果简介 以投影光刻机、超精密光学系统、超稳定运动工件台以及激光干涉测量仪等为代表的超精密设备对其加工环境要求及其苛刻,对环境中的温度、压力、湿度、洁净度都必须加以超稳定的超稳定控制。以光刻机为例:在光刻机工件台实际工作过程中,温度的空间不均匀性或者随时间漂移性都会严重影响光刻机的定位精度和套刻精度。具体表现有:工件台关键部件会由于空间温度的漂移而产生形变进而导致运动误差,而以激光干涉仪为代表的超稳定测量仪器的波长会受温度、压力影响,波长的漂移势必会造成测量结果的误差进而最终影响光刻精度。除此之外,空气中的污染颗粒和化学腐蚀物也均会对工件台的运动性能造成显著影响。无论对于精密加工装备还是测量设备来说,当精度达到纳米级时,由环境参数波动引起的误差因素就成为限制其精度的一大障碍,在这个时候很有必要引入一套环境控制系统来保证这些精密设备的苛刻工作环境需求。
华中科技大学
2022-07-26
高水溶性
超
细钛白粉
该材料实现了系列突破: 1. 产率高、三废少,可实现投料 98%以上的产出; 2. 制备工艺先进、能耗低、产量大,便于大规模生产; 3. 水溶性高,最高可实现 70%左右的水溶性,性能远高于市场同类产品;
中国科学技术大学
2023-05-17
超
早熟无公害草莓高产技术
该技术是继上世纪九十年代初我校建立的可在春节和元旦上市 的“无加温冬季草莓早熟半早熟栽培技术”之后的草莓栽培技术又一重要突破。 利用引进甜查理鲜食草莓品种、卡玛鲁沙等出口草莓品种以及钻石等珍稀草莓 品种,在建立的系统化高产栽培技术基础上,通过工厂化育苗技术和全新的育青岛农业大学科技成果介绍 2017 -25- 苗方法,以无公害栽培方式,促进草莓花芽提早分化、超早成熟。 生产条件及经济效益预测:培育的草莓比现有草莓提前一至两个月成熟, 可于 10 至 11 月上市销售,亩产可达 4000kg。10-1
青岛农业大学
2021-01-12
超
分辨纵向偏振激光束
纵向偏振激光束作为一种特殊光束,它的主要偏振态与光束的传播方向一致, 这与传统的麦克斯韦方程所描述的光的偏振态与它的传播方向垂直相矛盾;该光 束的尺寸可以小于系统 0.5 波长衍射极限分辨率,达到 0.36 波长,如果用于扫 描成像,可以实现 38%的分辨率提高,对于蓝色 405 纳米的激光,分辨率可以小 于90纳米。
上海理工大学
2021-01-12
: 微量/
超
微量天平 ME/SE
产品详细介绍
广州市博勒泰贸易有限公司
2021-08-23
山东乾佑新
材料
有限公司
山东乾佑新材料有限公司
2025-04-07
复合
加热系统
本实用新型公开了一种复合加热系统,用于利用烟道里废气的热量和太阳能对自来水进行联合加热以产生热水,包括:废热回收装置,太阳能集热器和加热仓.因为废热回收装置能够对废热进行回收并利用该废热加热自来水,太阳能集热器能够对太阳能进行收集并利用太阳能加热自来水,所以本复合加热系统能量利用效率高.另外,本实用新型的复合加热系统中,烟道安装热管的部分单独为一个整体,清洗时可以方便卸下,方便清洗.
上海理工大学
2021-05-04
银杏
复合
饮料
本品为银杏(白果)、兰州百合等为原料制作的纯天然饮品,适合普通人群饮用。技术特点:原料丰富易得,制作工艺简单,成本低廉,很适合生产企业产品 开发。主要指标:本品为乳白色液体,有乳汁之天然色泽,闻之有淡雅的百合和银 杏天然之香味,饮之有甜绵爽口之感,很适合普通人群饮用。
兰州大学
2021-04-14
山楂
复合
饮料
本品为山楂等三种原料制作的纯天然饮品,适合普通人群饮用。技术特点:原料丰富易得,制作工艺简单,成本低廉,很适合生产企业产品 开发。主要指标:本品为茶棕色透明液体,闻之有山楂酸、香气味,入口酸甜适口, 兼有谷香味。且后味绵长。
兰州大学
2021-04-14
一种
分子
体积计算方法及两
分子
的形状比较方法
本技术成果为一种分子体积计算方法及两分子的形状比较方法,旨在解决现有技术计算分子体积时间 较长、精度不高的问题。本技术成果通过使用高斯函数来表达一个分子中的各个原子的体积,同时给予每 个高斯函数一个权重因子(该因子与原子所处的环境相关),不仅降低了分子的三维形状定量比较的计算 复杂度,更提高了计算精度。
中山大学
2021-04-10
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