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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
《国务院关于促进科技成果转化工作情况的报告》发布
推进学科评估改革,自主科学确定“双一流”标准,引导高校主动对接产业需求。
云上高博会 2026-01-12
地下水位在线监测设备 监测液位温度,液面到泵端水位变化的连续测量
WH311简述地下水位监测实施方法地下水位在线监测系统被广泛应用于地下水深井水位测量,矿山水位计深井测量,地热井水位测量。其测量范围能够达到100米,300米甚至1000米,主要是基于WH311内置超强抗高压高密封性传感器芯片,一体成型结构,三重防雷工艺。信号传输采用级别的抗拉抓力钢丝电缆,确保测量信号能实时的,高精度稳定的输出显示。 地下水位在线监测设备 监测液位温度,液面到泵端水位变化的连续测量   WH311地下水位在线监测系统工作原理:    WH311地下水位在线监测系统根据压力与水深成正比的静水压力原理,运用水压敏感集成元器件做深井水位测量仪传感器探头,当传感器探头固定在水下某一测点时,该测点以上水柱压力高度加上该点的高程,即可间接测量出水位高低(水面到井口的距离);直接测量出的是传感器探头以上深井的液位实际高度。     WH311地下水位监测仪主要技术指标     WH311地下水位监测仪生产工艺:    深圳市东方万和仪表有限公司引进欧洲的三重防雷,和六道防水工艺,保证了长期深井水下工作的IP68防护等级。     WH311地下水位监测仪产品特点   1、特别适合深井或地下水位监测   2、采用静压式原理,激光标定零点、满量程   3、厂级别铠装钢丝电缆   4、三重防雷模块,保障野外测量更安心   5、液位温度一体式,可同时测量温度和液位   6、量程可做到1000米深井液位测量   WH311地下水位监测仪应用   1实时监测深井地下水的实际水深,然后低位停泵(防止深井泵空转烧坏)。   深井液位监测因为其测量的特殊性,超声波等非接触的无法有效传输信号,磁翻板,气泡式无法做这么深的量程,故只有选择WH311投入式深井液位探头,保证在1000米水下(承受100Bar水下压力还要保证密封性).    WH311地下水位监测仪信号传输采用级别的聚氨酯钢丝电缆(放的过程中,一定要注意对电缆的保护),确保测量信号实时的,高精度稳定的输出。然后显示器会有两个继电器开关量输出,在低位的时候(这个值用户可以根据工艺自行设置)自动停泵。   地热温泉井温度液位一体式测量   很多地热温泉井需要实时监测实时的液位和温度变化,WH311-DZ温度液位一体式测量仪根据地热温泉井的特性而特殊设计,温度液位一体式探头直接传输温度和液位双信号,双4-20mA传输也可以RS485通讯协议输出。配套WH6双通道显示器,上面实时显示水位,下面实时显示温度。   WH311地下水位监测仪获得了欧盟,美国等多国认证   应用案列分析:    东方万和仪表的工程师帮助了贵州地质局,吉林大学地球学院,新疆地震局等数十家用户实现了深井液位实时监测和低位停泵功能。   SGS通标标准技术服务有限公司(通标、SGS中国、SGS通标)是全球公认检验、、测试和认证机构,WH311地下水深井水位测量仪通过了SGS通标的校准证书,证书编号:200006512,证书记载东方万和WH311的误差为0.009mA,实际精度超过千分之一,达到了万分之六误差范围之内。    东方万和仪表的工程师帮助了中铁四局,中国建筑第二工程局,葛洲坝南京地下空间等数十家用户实现了水位实时监测并带记录功能,数据可以用U盘直接导出。现在我们重点分析一下葛洲坝南京地下空间记录监测方案   WH311地下水位监测仪拥有了很多用户,从2013年到现在6年间,就已经有超过100000家用户选型WH311水位测量仪,解决深井液位显示报警的问题。东方万和仪表先后为贵州地质局500-1000米深井液位监测系统,武汉地震局80米地下水位监测项目,清华大学,吉林大学地球学院地下水深井液位监测.万和仪表致力于给用户工程师提供高精度,高稳定的测量方案,为用户解决深井液位测量难的问题。
深圳市东方万和仪表有限公司 2026-01-09
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