一种柔性超疏水超疏油结构制备方法
本发明公开了一种柔性超疏水超疏油结构制备方法,该制备方 法包括如下步骤:(1)制作柔性超疏水超疏油结构底层:在基底上旋涂 一层负性光刻胶,不用掩膜进行曝光;(2)在步骤(1)曝光后的负性光刻 胶上旋涂一层负性光刻胶,利用阵列图形掩膜进行曝光;(3)结构层光 刻胶第二次曝光:采用跟步骤(2)对应的掩模进行套刻曝光;(4)显影: 将上述步骤中曝光后的结构进行显影;(5)镀保护层膜:在步骤(4)中得 到的结构表面形成一层保护膜;(6)剥离:将经过步骤(5)处理后得到的 结构从基底上剥离,得到所述柔性超疏水超疏油结构。按照本发明的 制备方法,工艺简单,成本低廉,对该柔性超疏水超疏油结构的普及 应用具有极大的促进作用。
华中科技大学
2021-04-11