针对极紫外光刻机物镜的温管和温控技术难题，设计和开发了针对极紫外光刻机的具有自主知识产权的超精密温控装置，目前已应用在半导体制造业及光刻机生产厂商、高档数控行业和民用航天上，涉及企事业单位共30余家。研制了不同控温精度和控温功率的系列产品，采用主动温度控制方法，解决了单点温度控制稳定性和多通道温度控制均匀性的问题；设计了具有功能模块化的温控层次结构，解决了超精密温控中系统内外的扰动和时滞问题，控温速度快；研制了大功率串联半导体制冷模块，结合模糊PID控制算法，提高了收敛速度、控制精度和抗扰动能力。项

本项目经过多年研发，掌握了一种粉末冶金超细晶粒（均小于5微米）高强度钢（抗压强度达到2000MPa以上）的制备技术，该新型材料可用于高精度模具、精密齿轮、高强轴承等高精部件的制备。

本项目主要包括超细高纯氧化铝粉体及生物医用氧化锆纳米粉体，以纳米级、亚微米级的无机盐、过渡金属离子为中间原料制备，具有耐候性好、耐酸碱腐蚀、投资规模小、附加值高等优点，应用广泛，能够替代国外进口产品。 本项目是通过溶胶凝胶与水热法相结合的技术手段，使易水解的金属无机盐或金属醇盐化合物在某种溶剂中与水发生反应，经过水解与缩聚过程逐渐凝胶化，再经干燥、烧结等后处理得到超细粉末，避免了微粒的过度生长以及在液相中的团聚，可获得粒径分布很窄纳米级。

应用领域： 超净工作台是开展生物技术研究和实验必不可少的基础设备之一，该设备广泛应用于生物制药，生物化学，环境监测及电子仪器仪表等行业，供操作区空气净化使用。 ◆产品特点 1.垂直层流送风，防止操作室内部样品相互交叉污染。 2.采用超高效无隔板过滤器，对0.3微米的颗粒过滤效率达到99.99%(操作区洁净度远高于100级）． 3.高品质离心式，超低噪音风机。 4.正压式过滤系统，确保工作区域为无尘无菌环境。 5.人体工程学60倾斜角操作面，减轻操作者压迫感； 6.工作台面选用优质304不锈钢材质，美观、易清理、耐腐蚀。 7.箱体表面采用静电喷涂工艺，耐酸碱，美观大方。 8.前窗采用全钢化玻璃视窗及配重平衡，既可保证操作者的人身安全又任意升降，定位灵活， 工作区内配备多功能插座，为操作者提供便利。两侧为透明玻璃视窗，内外通透美观舒适。  9.分体式结构，下设角轮. 10.标配液晶智能控制器，具有高效过滤器失效报警功能、压差显示功能、 紫外杀菌定时功能、温度显示功能、预约开机功能、累计工作时间功能；手动调风速。

最大功率（KW） : 1.1KW （含备用插座），操作台侧面备有插 座，方便其它设备用电，无需另接电源。 荧光灯/紫外灯规格及数量14W X2/8WX2 在送风系统设置“阻泄露”技术的优质HEPA FILTER器装置， 对于0.3um的尘埃颗粒捕集效率》99.99%,确保达到洁净度 IS05 级。 过滤材料：采用进口滤膜，材质为硅硼酸盐超细玻璃纤维，满 足使用条件下的温度、湿度、耐腐蚀性和机械强度的要求，无 释放对人员、环境和设备产生不利影响的物质。 风机系统采用可调风量风机系统，轻触型开关调节电压，保证 工作区风速始终处于理想态。 滑动前窗采用进口悬挂升降系统，使用钢化安全玻璃能任意升 降定位技术，可靠性，无故障、免维护，并能完全关闭以便灭 困O 箱体及操作台面材质箱体采用优质冷轧钢板烤漆处理，操作台 面为304不锈钢。 安全互锁功能照明和紫外灯具有安全互锁功能，具有紫外灯预 约定时开关功能。

本发明公开了一种配流冷却机构，包括依次相连接的进气阀片、 阀板、出气阀片、导流片及冷媒片。所述进气阀片开设有第一通槽、 第二通槽、第三通槽及第四通槽，所述第一通槽、所述第三通槽、所 述第二通槽及所述第四通槽绕所述进气阀片的中心轴均匀排布;所述 第一通槽、所述第二通槽、所述第三通槽及所述第四通槽内分别设置 有一级进气舌簧片、二级进气舌簧片、三级进气舌簧片及四级进气舌 簧片，所述一级进气舌簧片、所述二级进气舌簧片、所述三级进气舌簧片及所述四级进气舌簧片分别通过弹性变形或者恢复弹性变形，以 控制进入斜盘压

（1）研发了系列新型高强高韧铸造轻合金材料，支撑了复杂铸件性能提升。 1）研发出一种新型高强韧铝硅合金。开发出一种新型高强韧铝硅合金及其制备方法；提出一种混合稀土和Sr元素的复合变质方法，缩小枝晶间距并细化共晶硅；研究出合适的热处理制度；阐明了变质剂组成与含量对变质效果的影响规律，基于此显著提高了铝硅合金的综合力学性能。有效解决了现有铝合金铸件易发生的裂纹、伸长率低、屈服强度不达标等缺陷和问题。 2）研发出一种低成本高强耐热稀土镁合金。开发出一种添加低成本混合稀土的新型多元稀土镁合金材料；揭示了混合稀土对镁合金相变规律的影响机制；研究出准晶增强稀土镁合金的高温固溶T6热处理工艺；开发出兼具优良的室温与高温力学性能的低成本稀土镁合金；解决了现有镁合金铸件易产生冷隔、强度低、韧性差等问题。 3）研发出一种新型高强韧钛合金。开发出一种α+β型双相高强高韧钛合金，揭示了合金在凝固-热等静压-热处理过程中微观组织的演变规律；研究出调控相组成及相形态的双级固溶时效热处理制度，形成了以等轴和篮网为主要特征的基体组织，使合金的强度和韧性同步提升。解决了现有铸造钛合金强度和韧性偏低、铸造成形性差等问题。 （2）研发了铸造全流程模拟仿真系统，提出了高效的单件化铸造数值模拟方法，实现了高性能复杂铸件的数字化工艺设计。 1）提出了一种铸造原辅材料热物性参数高精度求解方法。提出了基于实验测温与数值模拟反求的热物性参数求解方法，实现了面向数值模拟的热物性参数高精度求解；建立了反热传导法求解铸件/铸型界面换热系数的数学模型,降低了界面关键参数求解误差；研发了高精高效的热物性参数反求平台-华铸PIS，创建了铸造原辅材料高精度热物性参数数据库。 2）研发了铸造合金熔炼-复杂铸件充型凝固-热处理的铸造多物理场全流程高效模拟平台。建立了电磁、速度、压强、浓度、温度的多物理场耦合数学模型，自主研发了从铸造合金熔炼到复杂铸件充型凝固到热处理的铸造全流程模拟仿真平台，为铸造工艺优化提供了工具；提出一种数据内存动态自适应划分技术，解决了SOLA流动场求解数据耦合干扰难题，实现了大规模铸造流动场模拟问题的并行高效求解。 3）提出缩孔缩松缺陷定量预测与单件化模拟工艺优化方法。提出双高分配原则缩孔缩松预测模型，解决了复杂铸件缩孔缩松高精度预测难题；提出了针对高性能复杂铸件不同批次的单个铸件模拟方法，建立关键工艺参数波动对典型缺陷的多元回归关系模型，实现了基于单件化模拟仿真的高性能复杂铸件缺陷控制与工艺优化。 （3）建立了铸件生产全生命周期的单件化柔性化质量管理模型，实现了高性能复杂铸件质量问题的单件化、全过程、全要素溯源。 1）创建了基于PLM理论和TQM理论的铸件单件化管理模型。基于产品全生命周期PLM理念以及多智能体技术，构建了铸造串并联多工位单件化的缺陷溯源模型；建立铸件单件及作业过程信息模型和组批、混批、拆批模式下单件自动生成、感知、标记、进度跟踪的控制机制，实现高性能复杂铸件单件化缺陷溯源。 2）创建了支持业务即时重构的参数配置式多维度铸造柔性化管理模型。创建了支持铸造数字化管理系统业务即时重构的参数配置式多维度铸造柔性化管理模型，解决了刚性管理系统可重用性低、应变能力弱和实施周期长的难题，支撑不同领域不同类型铸造企业随环境变化、自身发展等柔性进行的组织变革、流程变更和管理改善，实现了企业按需柔性化管理。 3）创建了基于TLBO\GA\BSA元启发式算法优化理论的铸造智能化管理模型。创建基于改进性教与学算法（TLBO）、遗传算法（GA）、回溯搜索算法（BSA）等元启发式算法优化理论的铸造智能化管理模型和技术，解决了铸件异步热工序组炉复杂条件下工序生产调度IPPS组合优化难题，实现了系统智能决策管理以及多品种大容量铸件高效生产。

成果的背景及主要用途： 作为国家中长期科学技术发展的 11 个重点领域之首的能源领域，发展高效 洁净超(超)临界燃煤发电机组是实现节能减排的重要途径，而蒸汽温度和压力的 提高使得高温管道等设备的服役环境更加恶劣，特别在最薄弱的焊接接头部位， 频繁的早期失效事故引起的机组非计划停运往往造成巨大的经济损失，甚至导致 严重的人员伤亡。因此，对设备进行科学准确的评估与预测，避免突发性的早期 失效，是保证机组安全运行的关键。 技术原理与工艺流程简介： 该项目在国家自然科学基金委、天津市科委及电力行业的大力支持下，针对 超(超)临界机组关键高温设备，探明了耐热钢焊接细晶区 IV 型开裂、焊缝内部 埋藏裂纹、插套焊接头振动疲劳开裂等典型早期失效的产生机理，并提出了耐热 钢焊接工艺、现场局部热处理规范、插套焊焊接工艺与焊趾熔修用焊接材料等相 应的延寿技术；开发了在役高温设备实时老化性能的微创测试技术与设备，建立 了基于蠕变损伤累积的剩余寿命评估技术；揭示了残余应力和拘束水平对蠕变裂 纹扩展行为的影响机制，建立了定量考虑这两者影响的高温缺陷寿命预测模型， 丰富了高温寿命评估方法。与国内外同类技术相比，该项目提出的寿命预测模型 的精度大大提高，延寿技术更科学、全面、有效。 技术水平及专利与获奖情况： 经专家鉴定，达到了国际先进水平。该项目共申请国家发明专利 11 项（已 授权 4 项）、获软件著作权 3 项；发表论文 31 篇，其中 SCI 论文 12 篇，EI 论 文 9 篇，并多次在国内外学术会议上做大会报告。 应用前景分析及效益预测： 该项目推动了我国超(超)临界机组高温部件寿命评估与延寿技术的发展，解 决了超(超)临界机组目前面临的早期失效难题，不仅可保证机组的安装质量，而 83天津大学科技成果选编 且减少了不必要的返修，减少机组因非计划停运和检修周期超期带来的巨大发电 损失，对机组的安全经济运行具有重要意义。 应用领域：新技术 技术转化条件： 近三年来，该项目开发的寿命评估软件与延寿技术在全国 10 个省市的 16 个电厂得到应用，经济效益达 2.3 亿元，取得了显著的社会经济效益。 合作方式及条件：根据具体情况面议

本实用新型公开了一种固态风扇耦合吸附净化的小型文物环境空气洁净系统，包括柜体、吸附净化单元以及输气单元，输气单元提供空气在系统中循环的动力，其送风量约为15m3/h，输气单元包括连接柜体和吸附净化单元的风管、提供气体循环动力的固态风扇以及驱动电源，风管的内径不大于30mm，风管的数量最多2根，风管与风管之间以平行并联的方式连接；吸附净化单元包括吸附净化装置和放置在吸附净化装置内的吸附剂。吸附净化装置用来除去空气中的污染气体，使陈展柜内的空气品质达到所需的要求，吸附净化装置的形状可以根据需要设计，所使用的吸附剂也可以根据需要除去的污染气体种类进行选择使用。通过将固态风扇与吸附净化装置配合使用达到更好的净化效果。