产品详细介绍简介：测量范围：±2g ~ ±10g 非线性：<0.8%FS频响：0~ > 800Hz 供电电源：3V输出信号：±2V差分信号输出/0.5~2.5V单端信号输出工作温度：-40~125℃    Colibrys 的 MS7000 加速度传感器是广泛的应用于振动、惯性和倾斜/倾角领域的传感器. 强大而低功耗的设计加上出色的零位稳定性与相对高的带宽的结合保证了M7000 MEMS 加速度传感器很高的稳定性。MS7000 系列是一个电容式 MEMS 加速度计，它是由一个立体微加工工艺制成的硅元件，一个低功耗 ASIC 专用信号处理器和一个存储补偿值的微控制器等元件组成。该产品是一个低功耗的，校准的，功能强大和性能稳定的产品。该产品的零位长期稳定度和比例因子通常都小于全测量范围的0.1％。对于±2g 的 MS7002.3 型, 在宽带>800Hz(at -3dB)时，典型的零位温度系数为 100 µg /ºC,比例因子温度系数为100ppm/ºC。 特征 具有良好的高带宽零位稳定性 ± 2g, ±10g 全测量范围 高冲击 低成本高性能 低功率模拟电压输出 TO8包装 应用 振动测量        数据记录器                 HUMS                 结构监测 惯性测量        钻井（石油和天然气）                 民用航空 倾角测量        仪器仪表                 交通运输参数 Specifications  所有数值特指在温度20 °C (+86°F)和3伏工作电压条件下，除非另外说明。  Units  MS7002.3  MS7010.3 全部测量范围  g  ± 2g  ± 10g 封装  TO8, 12 管脚  TO8, 12 管脚 零位校准  mg  < 10  < 50 1年时间的零位稳定性[1]  mg typ. (max.)  2 (< 5)  10 (< 25) 零位温度系数[3]  mg/°C typ.  0.1  0.5  mg/°C max.  ± 0.4  ± 2 比例因子(输出灵敏度) (K1)  mV/g  500 ± 4  100 ± 1 一年期比例因子稳定性[2]  ppm typ. (max.)  500 (< 1000)  500 (< 1000) 比例因子温度系数[3]  ppm / °C typ.  100  100  min. / max.  -50 / 250  -50 / 250 输入轴偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  % max  1  1 分辨率/阈值(@ 1Hz)  mg max.  < 0.1  < 0.6 非线性度  % of FS max.  < 0.8  < 0.9  g max.  < 0.02  < 0.09 带宽[4]  Hz  0 to ≥ 800  0 to ≥ 600 噪声谱密度 [0 ; 9kHz)  V/Hz typ.  7  7  max.  < 18  < 18 谐振频率  kHz  1.4  3.7[1]: 一年期稳定性是按 IEEE 528-2001标准: 打开/打开, 放置在-55°C 和 85°C环境中,在 -40°C 到125°C 之间循环,在-55°C 和 85°C环境中，不带电经受扰动，震动和冲击。[2]: 温度系数是定义在–40°C到20°C温度范围, 其中温度变化是线性的.[3]: 带宽的定义是在某一频段其灵敏度降低到 3dB以下.

产品详细介绍简介：测量范围：±2g ~ ±200g 非线性：<0.8%FS频响：0~ > 1.0 kHz @ 5%供电电源：5V输出信号：±4V差分信号输出/0.5~4.5V单端信号输出工作温度：-40~125℃特征 超小型LCC20 封装(8.9mm x 8.9mm) 振动传感  ±2g 到 ±200g 全部测量范围   大带宽(DC 到 > 1.0 kHz @ 5%) 优秀的长期稳定性 适应恶劣环境（冲击，振动，温度） 低功率模拟电压输出稳压保护 配有温度传感器 应用直升机和飞机试验航天结构/模态分析航天飞行和颤振试验直升机健康与使用监控系统汽车测试和碰撞测试铁路技术转向架监测与诊断工业试验介绍：    Colibrys VS9000 加速度计是一种新的超小型高端产品，致力于在振动传感领域的应用。大带宽，高耐用度和低功耗的设计以及优秀的零位稳定性，这种结合保证了 VS9000 MEMS 加速度传感器卓越的可靠性。ColibrysVS9000 系列是一个电容式 MEMS 加速度计，它是由一个体硅微加工工艺制成的硅表头元件，一个低功耗 ASIC 专用信号处理器和一个存储补偿值的微处理器以及一个温度传感器等元件组成。该产品是一个低功耗的，校准的，耐用的和性能稳定的产品。其电子配置中带有一个电源重置以防止电压不稳的全保护装置。这种可变电容传感器可专门用来提供大的带宽。对于± 100g,（VS9100.D），带宽是从直流到 > 1.0 千赫@ 5％。此产品还得益于MS9000 系列的高稳定性，低噪音和低偏置和温度系数比例因子。参数VS9000 side view0.8 所有数值特指在温度20°C (+86°F)和5伏工作电压条件下，除非另外说明              Units VS9002.D  VS9010.D  VS9030.D  VS9050.D  VS9100.D  VS9200.D 全部测量范围  g  ± 2g  ± 10g  ± 30g  ± 50g  ± 100g  ± 200g 封装  LCC20 (non magnetic, 8.9mm x 8.9mm / 0.35inch x 0.35inch) 带宽, (± 5 %) [3]  Hz  0 to > 250  0 to > 1000  0 to > 1000  0 to > 1000  0 to > 1000  0 to > 1000 谐振频率  kHz  1.3  2  4  5.1  7.2  11 噪声谱密度  V/Hz typ.  25  25  25  25  25  25 [0;400 Hz]  Max.  27  27  27  27  27  27 零位校准  mg  < 10  < 50  < 150  < 250  < 500  < 1000 1年期的时间零位稳定性[1]  Mg typ. (max.)  1.5 (<5)  7.5 (<25)  22 (<75)  37.5 (<125)  75 (<250)  150 (<500) 开/关重复性  mg max.  < 0.15  < 0.75  < 1.5  < 3.8  < 7.5  < 15.0 零位温度系数 [2]  mg/℃ typ.  <0.1  <0.5  <1.5  <2.5  < 5  < 10.0  mg/℃max.  ± 0.4  ± 2  ± 6  ± 10  ± 20  ± 40 比例因子(输出灵敏度) (K1)  mV/g  1000 ± 8  200 ± 2  66.6 ± 1  40 ± 1  20 ± 1  10 ± 1 一年期的比例因子稳定性 [1]  ppm typ. (max.)  300(<1000)  300(< 000)  300(< 000)  300(<1000)  300(<1000)  300(< 1000) 比例因子温度系数 [2]  ppm / °C typ.  100  100  100  100  100  100  min. / max. -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250 输入轴偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  % max  1  1  1  1  1  1 分辨率/ 阈值(@ 1Hz)  mg max.  < 0.1  < 0.6  < 1.7  < 2.8  < 5.5  < 11.0 非线性度 [4]  %ofFSmax < 0.8  < 1  < 1  < 1  < 1  < 1  g max.  < 0.02  < 0.09  < 0.27  < 0.50  < 1  < 2 [1]: 一年期稳定性是按 IEEE 528-2001 标准：打开/打开, 放置在-55°C 和 85°C 环境中，在 -40°C 到125°C 之间循环，在-55°C 和 85°C 环境中，不带电经受扰动，震动和冲击（在6000g 单次冲击）。[2]: 温度系数是定义在 –40°C 到 20°C 温度范围, 其中温度变化是线性的。[3]: 带宽的定义是在某一频段其灵敏度降低到.5%以下。[4]: 200g 非线性规格适用的最大量程是100g.

产品详细介绍轻便小巧，便于携带，使用方便，操作简单 全中文界面标准软件，使用简单操作方便（可按客户需求定制） 2*2in Nai探测器（可按需求配置不同尺寸的各种探测器） 高性能精确度高，有1024道，2048道，4096道（可定制） 可自行设定报警阀值 准确的核素识别功能 标准核素库，用户可自由添加，删改，选用核素 大容量锂离子电池，充满电可以连续工作20小时 PDA掌上电脑，蓝牙数据通讯。PDA数据可传至电脑进一步分析处理。 手持式便携数字化能谱仪的主要特征： l      外接智能NaI(TI)探测器，内置GM管 l        NaI(TI) 探测器与主机用螺旋电缆连接，探测器伸到测量部位，可就近方便观察测量结果 l        三种工作方式：     a.剂量率测量 一 任何工作方式都兼顾剂量率测量 b.寻找放射源 c.实时核素识别 一 可存无数个核素库文件 l        可指示不同核素的剂量率贡献，可分别设置不同核素的报警阀值 l        核素识别采用了Genie2000软件完备成熟的分析处理核素识别技术。即便存在多种核素（4种以上），或者源放置在存储蓄（屏蔽影响）中，也能正确识别各种核素。同时指示是否存在核素库内没有编辑的未识别核素。 l        可识别核素种类（128种！），可同时识别核素多（同时识别数十种核素！） 高品质、可触摸操作彩色显示屏 一 国内市场独此一款！ l        可选规格NaI(TI) 探测器规格：1.5″×1.5″，2″×2″，3″×3″ l        可配置中子探测器（慢化3H管） l        与计算机采用USB通讯，谱数据、核素库、刻度参数和分析步骤下载和上传 l        大容量：可存储512个1024道的谱 l        更多道数：4096道MCA l        独特的专利稳谱技术一 内置高稳定发光LED，随时实现稳谱。＜±2％＠–20℃～＋50℃ l        可通过USB实现固件升级 l        时间预置：1～106S，（实时间／活时间） l        自动谱采集分析处理   2主要技术指标： l        计量（率）范围：10nSv∕h～100mSv∕h，10nSv-10Sv l        能量范围：50KeV～3MeV-NaI(TI)，30KeV～1.4MeV-GM l        计数通过率：＞50KCPS l        输入计数率：＞500KCPS 售后服务 硬件免费保修三年； 软件终身免费升级 可根据用户需求定制软件、硬件功能  

产品详细介绍简介：测量范围：±4g 频响：0~ >1000Hz 供电电源：6~15V工作温度：-40~85℃    Colibrys公司设计和开发SiFlexTM SF2005加速度计是用于地震等“剧烈震动”状态的遥感应用。电容式的MENMS产品是最优秀的“数字检波器”之一， 被广泛地用于需要超低噪声测量和低成本情况下的地震和振动传感。具有：宽广的动态范围，优异的带宽，低失真，高抗冲击性，热稳定性好等特性，使之非常适合于建筑物监测，工业及过程控制和结构监测等应用。作为倾角传感器，它还为精密测量提供了高清晰的分辨率。　　SF2005采用双极工作电源，电压为± 6V至± 15V，并且在± 6V时的典型电流消耗为12mA。全线性加速度的范围是±4g, 相应的灵敏度为0.8V /g。SF2005S和SF2005SN可在从-40°C至+85°C的温度范围内工作。可承受高达1500克冲击后而不会降低性能。在整个量程范围的频率响应是从直流电到大于1000Hz　　特征　　极低的噪音水平：800 ngrms /√Hz　　宽广的动态范围 114 分贝（100Hz）　　频率响应：从直流至 1000 赫兹范围内　　± 4G 全部测量范围　　模拟加速度传感器　　自我测试输入　　应用　　地震遥感　　结构/建筑物监测　　工业/过程监控　　强烈震动　　地球物理　　铁路技术 单位 SF2005S.A / SF2005SN.A 线性输出范围  g 峰值  ±4 输出范围  g 峰值  ±4.5 灵敏度  V/g  0.8 (1.6) 频率响应（全信号）  Hz  DC to >1000 动态范围(100 Hz BW)  dB  114 噪音 (10 to 1000 Hz)  ngrms/√Hz  800 交叉轴抑制  dB  > 40 冲击极限（0.5ms ½sine）  g 峰值  >1500 工作温度范围  ℃ -40 to +85 灵敏度温度系数  ppm/℃ (re: ±1g)  200 直流偏移（最大值）  mg  ±300 热偏移系数  g/℃ (re: ±1g)  ±300 线性误差  % 全量程(re: ±1g)  ±0.1 输入电压  伏特DC  ±6 到±15 静态电流（6VDC）  毫安（典型值）  11.6 

产品详细介绍特点：传感器：微机械电容、充氮阻尼、密封封装内置温度传感器（用于输出温度补偿）输出阻抗低，可支持远距离传输全量程线性标定DC/AC 加速度响应可提供非标量程定制服务传感器已内置放大信号处理符合RoHS标准应用：飞行测试 仪器仪表 机器人安全系统 冲撞测试 机械控制振动检测 模态分析 振动分析车辆动态性能测试参数：传感器性能：（数据为9~32V供电，温度输出 25℃ 得出）性能 -002 -005 -010 -025 -050 -100 -200 单位输入量程 ±2 ±5 ±10 ±25 ±50 ±100 ±200 g频率响应（3dB） 0-400 0-600 0-1000 0-1500 0-2000 0-2500 0-3000 Hz灵敏度（差分输出） 2000 800 400 160 80 40 20 mV/g输出噪声（差分模式，典型值） 8 9 10 25 50 100 200 μg/root HZ可承受最大冲击（0.1ms） 2000 g传感器性能：（除注明外，数据为9~32V供电，温度输出 25℃ ，差分模式得出）性能参数 最小值 典型值 最大值 单位横轴灵敏度 1 2 %偏置标定误差 -002   4 满量程的% -005~-200   1.5 偏置温漂TC=-55~125℃ -002,005 100 200 PPM%满量程/℃ -010~-400 50 100 标定误差比例因子 1 2 %温漂比例因子TC=-55~125℃ -150   +150 Ppm/ ℃非线性（±90%满量程） -002~-050 0.15 　0.5 满量程的% -100 0.25 1.0 -200 0.4 1.5 电源抑制比 65 DB输出阻抗 1 欧姆供电电压 9   32 V功耗 12 14 mA质量（L型） 10 克

产品详细介绍特点：传感器：微机械电容、充氮阻尼、密封封装内置温度传感器（用于输出温度补偿）全量程线性标定DC/AC 加速度响应可提供非标量程定制服务传感器已内置放大信号处理符合RoHS标准应用：地震监测 消费电子 机器人安全系统 冲撞测试 机械控制振动检测 模态分析 振动分析仪器仪表 车辆动态性能测试参数：传感器性能：（数据为8~32V供电，温度输出 25℃ 得出）性能 -002 -005 -010 -025 -050 -100 -200 单位输入量程 ±2 ±5 ±10 ±25 ±50 ±100 ±200 g频率响应（3dB） 0-400 0-600 0-1000 0-1500 0-2000 0-2500 0-3000 Hz灵敏度（差分输出） 2000 800 400 160 80 40 20 mV/g输出噪声（差分模式，典型值） 12 14 15 38 75 150 300 μg/root HZ可承受最大冲击（0.1ms） 2000 g传感器性能：（除注明外，数据为8~32V供电，温度输出 25℃ ，差分模式得出）性能参数 最小值 典型值 最大值 单位横轴灵敏度 2 3 %偏置标定误差 -002   4 满量程的% -005~-200   1.5 偏置温漂TC=-55~125℃ -002 100 200 PPM%满量程/℃ -005~-400 50 100 标定误差比例因子 1 2 %温漂比例因子TC=-55~125℃ -150     +150 Ppm/ ℃非线性（±90%满量程） -002~-050 0.15 0.5 满量程的% -100 0.25 1.00 -200 0.4 1.5 电源抑制比 65 DB输出阻抗 1 欧姆供电电压 8 32 V功耗 27 30 mA质量  21 克

产品详细介绍 石英挠性加速度计JHT-I-A 石英挠性加速度计JHT-I-A简介：JHT-I-A石英挠性加速度计用于载体的微重力测量系统和高精度惯导系统中，并可用于高精度的静态角度测量系统中。 石英挠性加速度计JHT-I-A性能参数：

已有样品/n针对产业界对MEMS 代工的迫切需求，微电子所科研人员以高精度三轴加速度计开发为牵引展开攻关，致力于在现有8 英寸硅工艺线上实现与CMOS 工艺兼容的通用MEMS 加工平台技术，成功开发出大深宽比MEMS 结构刻蚀、MEMS 与ASIC 晶圆堆叠、TSV 电学连接及晶圆级盖帽键合封装等关键工艺技术的量产，最终实现了TSV的ASIC 晶圆、MEMS 结构晶圆及盖帽晶圆的三层键合工艺，并顺利交付首款三轴加速度计产品。

本发明公开了一种基于谐振频率的硅微谐振式加速度计在线温度补偿方法，在零加速度情况下标定出两谐振梁谐振频率平方和与其谐振频率差的单调变化关系曲线，然后在输入加速度情况下对两谐振梁谐振频率和谐振频率差进行测量，结合先前获得的关系曲线将温度引起的谐振频率差从测量得到的谐振频率差中减去，完成温度补偿工作。本发明提供的硅微谐振式加速度计温度补偿方法，克服了传统直接温度补偿方法中温度场分布的不确定性和热传导延迟给补偿结果带来较大偏差的缺陷，能够实现实时的、高精度的温度补偿。本发明方法的温度补偿成本低，该方案全部基于FPGA实现，不需要额外增加传感器和引入其它设备，仅利用已有电路器件即可实现。

本实用新型公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成，微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方；微机械加速度敏感单元从上到下依次为光栅、质量块‑悬臂梁‑硅基底微机械结构和下限位板。本实用新型能保证微机械结构在大冲击下不失效，固定封装的光学微位移测量单元能保证各个光学元件在大冲击下不损毁，相对位置保持不变，从而实现抗大冲击的高精度加速度测量。