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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜;(2)对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀,包括多个刻蚀阶段,每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内,通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成,随着刻蚀深度的增加,各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题,在提高刻蚀效率的同时,提高了对光刻胶的选择比,刻蚀槽侧壁垂直度高,粗糙度小,刻蚀深度大。
华中科技大学 2021-04-14
关于填报国家重点研发计划“生物安全关键技术研究”等4个重点专项2023年度项目正式申报书(含预算申报书)的通知
根据国家重点研发计划重点专项管理工作的总体部署,由中国生物技术发展中心承担管理的“生物安全关键技术研究”“常见多发病防治研究”“前沿生物技术”“中医药现代化”4个重点专项2023年度项目将进入正式申报书(含预算申报书)填报阶段。现将有关要求通知如下。
科学技术部 2023-08-21
一种Fe/g-C3N4修饰阴极沉积型微生物燃料电池及其自驱动光电芬顿降解四环素的应用
本发明公开了一种Fe/g‑C<subgt;3</subgt;N<subgt;4</subgt;修饰阴极沉积型微生物燃料电池及其自驱动光电芬顿降解四环素的应用,属水体污染治理技术领域。所述Fe/g‑C<subgt;3</subgt;N<subgt;4</subgt;修饰阴极沉积型微生物燃料电池,包括:反应器,所述反应器内设置有阴极区和阳极区,所述阴极区包括水体以及固定于水体液面上的Fe/g‑C<subgt;3</subgt;N<subgt;4</subgt;修饰碳毡阴极,所述阳极区包括水体沉积物基质和埋置于水体沉积物基质的碳毡阳极,所述Fe/g‑C<subgt;3</subgt;N<subgt;4</subgt;修饰碳毡阴极和所述碳毡阳极通过连接外加电阻形成闭合电路。本发明与其他技术相比,在自然光照下,无需外加能源与H<subgt;2</subgt;O<subgt;2</subgt;,即可实现光电协同高效降解四环素,结构简单,建造和运行成本低廉,易于管理维护。
南京工业大学 2021-01-12
教创赛专家报告荟萃⑮ | 东北大学党委常委、副校长王兴伟:教学智思体赋能的“学、教、研”多场景数智教育平台建设与实践
东北大学作为中国高等教育的重要基地,始终致力于面向国家战略与产业发展需求培养高水平创新人才。
高等教育博览会 2025-09-28
东南大学医学院生物信号采集与处理系统采购公开招标公告
东南大学医学院生物信号采集与处理系统采购招标项目的潜在投标人应在东南大学采购中心网(https://dnzb.seu.edu.cn/)获取招标文件,并于2022年07月06日09点30分(北京时间)前递交投标文件。
东南大学 2022-06-14
李冠华、苑琳课题组在生物质新能源研究领域取得新进展
木质纤维素是地球上最丰富的有机物,纤维素高效酶解糖化是生物质新能源开发研究的核心前提。实验室以内蒙古特色农作物甜菜为研究对象,考察了化学组分分布特征对纤维素酶解效率的影响机理。利用数字成像技术、光谱分析技术及酶解动力学分析方法,在细胞壁水平证实木质素的再分布能够破坏纤维素与木质素间的相互作用,引起细胞壁解构,纤维素酶最大吸附量、酶解初速率、还原糖得率显著提高。研究丰富了纤维素酶促水解理论,为预处理技术的开发提供了新思路,为甜菜渣规模化开发利用提供了技术支持。
内蒙古大学 2021-02-01
牛奶中抗菌药残留微生物学快速筛选法及试剂盒
研发阶段/n本成果建立了能同时筛选牛奶中青霉素类、头孢菌素类、氨基苷类、四环素类、大环内酯类和磺胺类共50余种抗菌药残留的微生物学检测方法,本法对各类药物的检测限均低于或等于国家规定的最高残留限量标准。通过系列工艺研究及放大试验、稳定性考察、动物给药及残留实样考核等研究,研制的试剂盒假阴性率为0,假阳性率为1%,保质期不低于6个月,与国外同类产品相比,该试剂盒的灵敏度和重现性更好。技术水平:鉴定成果(成果鉴定号:农科果鉴字(2008)第51号,该成果总体达到国际领先水平)应用前景:本成果能同时筛选牛
华中农业大学 2021-01-12
低能耗低污染膜/生物反应器(MBR) 污水处理技术与设备
技术特点及优势 1、对现有的用于污水处理的膜进行改性,提高膜通量,减小跨膜压力。膜通量较现有膜提高2倍以上,跨膜压力只有1米左右水柱。 2、突破了以往MBR膜都是与泥水直接接触的固有形式,对MBR结构进行了改进,减少膜与污泥、胞外聚合物(EPS)等膜污染关键物质的接触,可以极大缓解膜污染问题; 3 、采用的廉价耐污染膜材料,延长膜的使用寿命,降低运行成本; 4 、控制反应器微生物处于内源呼吸期,反应器中能有效建立细菌—原生动物—后生动物微生态系
哈尔滨工业大学 2021-04-14
“肌肉生物学与猪遗传改良创新团队”在肌肉发育方面取得科研新进展
近日,我校动科学院“肌肉生物学与猪遗传改良创新团队”在《PLOSBIOLOGY》期刊发表题为“OptineurinpromotesmyogenesisduringmuscleregenerationinmicebyautophagicdegradationofGSK3β”的研究成果,博士研究生史晓晨为论文第一作者,王永亮副教授与吴江维教授为共同通讯作者。
西北农林科技大学 2022-07-11
西南大学药学院在药物合成生物学与酶学催化领域再获重要进展
本研究通过详细分析与系统验证,发现了真菌非还原性聚酮合酶AN7909的硫酯酶结构域(thioesterase domain,TE domain),可以罕见地连续催化酯化、Smiles重排和水解等一系列非氧化反应,高效构建二芳基醚药物骨架。
西南大学 2022-06-10
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