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一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法,属于微机电系统的封装方法,解决现有封装方法存在的问题,使得微型真空腔长时间保持真空,满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括:刻蚀步骤:在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑,再环绕凹坑刻蚀环形凹槽;吸气剂淀积步骤:在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜;键合步骤:在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题,可以长时间保持微型腔体内的真空度,极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学 2021-04-14
高效纳米级工业水处理除氯剂的制造技术
氯根是原水中所含的CL-1 是天然水中重要的阴离子。由于近年来水资源的短缺人们开始使用地下水或者其他自然水源,使锅炉补水中的氯离子含量居高不下,且在炉内高浓缩条件下氯根可达2000mg/L以上。锅炉内氯根含量高可能造成氯的腐蚀,成为锅炉运行的隐患之一。 同样工业循环冷却水在浓缩过程中,除重碳酸盐浓度随浓缩倍数增长而增加外,其他的盐类如氯化物等的浓度也会增加。当Cl-离子浓度增高时,会加速碳钢的腐蚀。Cl-会使
南开大学 2021-04-14
一种纳米级尺寸结构测量方法及装置
本发明公开了一种纳米级尺寸结构测量方法及装置,可以同时测量纳米级尺寸结构宽度、深度、侧墙角等参数。本发明方法步骤如下:将白光光束经滤光、起偏后垂直投射到包含纳米级尺寸结构的样件表面;采集样件表面反射信号,计算得到纳米级尺寸结构显微成像图;将测量离焦扫描成像分布图与理论离焦扫描成像分布图进行匹配,提取得到待测纳米级尺寸结构的几何参数值。本发明所提供的纳米级尺寸结构测量装置,能为纳米制造技术如传统光刻和纳米压印等基于图形转移的批量化制造技术中所涉及的各种典型纳米级尺寸结构,如孤立线条阵列结构、密集型线条
华中科技大学 2021-04-14
新一代硅烷法电子级晶体硅生产技术
上海交通大学 2021-04-13
极光尔沃A9,工业级大尺寸高精度,厂家保障
深圳市极光尔沃科技股份有限公司 2021-08-23
BDS小博士工作站第一级套装配置
产品详细介绍可以完成小博士工作站第一级中所有非电子功能件的全部样品组装,项目名称具体如下:墙、亭子、矩形框架、支撑架、跷跷板、桥、曲柄摇杆、连杆机械手、雨刮器
东莞市博思电子数码科技有限公司 2021-08-23
图像级超高分辨率高性能 激光雷达
Pandar128 图像级超高分辨率高性能激光雷达
上海禾赛科技有限公司 2022-03-01
RXDent-L190 桌面级树脂3D打印机
RXDent-L系列是瑞通推出的一款高效率打印机,也是针对批量生产打造的一款桌面级3D打印机。精致的外观设计与良好的交互体验,使数字化生产更便捷、更高效,为实现生产数字化转型提供最优解决方案。   行业应用 · 口腔正畸   · 文创与个性化定制
广州瑞通增材科技有限公司 2022-10-19
吉林省人民政府关于印发《吉林省教育科技人才产业一体化发展三年行动方案(2025-2027年)》的通知
为全面落实省委十二届五次全会精神,统筹推进教育科技人才产业一体化发展,推动吉林高质量发展明显进位、全面振兴取得新突破,制定本方案。
吉林省人民政府 2024-11-13
二维钙钛矿纳米材料用于光催化降解黑臭水体
产品服务:焦化厂外排废水含高浓度有毒、难降解的氰化物、COD及氨氮称为焦化废水,是一种较难处理的有机废水,传统处理方法后无法达标。随着国家对环保问题的的日益重视以及国民环保意识的不断提高,废水的排放标准也变得更为严格。各国学者经过不断的探索研究出了一些新的焦化废水处理技术,如:电化学氧化技术、光催化氧化技术、膜技术等。这些技术对焦化废水中的污染物处理的较为彻底且不会产生二次污染,但是这些技术投资成本和运行成本较高并且很多仍处于理论研究和实验室研究阶段,较难实现大规模工业化应用。项目优势:本研究以铁基的纳米材料制备电极具有单个优点:高效降解焦化废水,高的使用寿命;低的处理成本。 市场概况:发展规划: 本团队计划创立集特色催化剂和配套设备为一体的纳米电催化工艺,以去除焦化废水中的难降解污染物为主要目标,同时实现脱色、除臭和净化水体的目标。经营目标是以上海环保公司为依托,对于他们在工程应用中的水处理需求,公司为其提供相应的环保咨询和先进的水处理产品,互利共赢。与此同时也要逐步提高产品品牌的市场认可度以及品牌效应。  商业模式:盈利模式: 前期以Fe基纳米电极与配套电催化设备的批量生产和销售为主,在产品推广到一定阶段后,以实际废水处理工程项目承包运营为主。 
同济大学 2021-04-10
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