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一种双膜电容式压力传感器及制作方法
本发明涉及压力传感器技术领域,特指一种双膜电容式压力传感器及制作方法,包括玻璃衬底,玻璃衬底中心位置上设有浅槽,浅槽中心位置设有浅槽通孔,浅槽通孔从浅槽底面延至玻璃衬底底面,浅槽上设有可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2,可测量低压差的电容C1包括底电极板与薄压力敏感膜,可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜与顶电极板,浅槽通孔(71)与可测量低压差的电容C1对应设置,可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2对应设置。本发明采用变间距原理实现压力到电容的转换,可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2分别实现了微压段和高压段的高精度测量,不仅提高了压力测量精度,也提升了传感器的测量范围。
东南大学 2021-04-11
光纤光栅压力传感器
光纤光栅压力传感器通过承压端头将压力传递到敏感元件光纤光栅, 检测光纤光栅的反射光信号波长的移动来获得压力值。传感器内部压力 敏感元件和传输线路全部为单模光纤,不带电,不受电磁干扰和射线的 影响,可以长期稳定工作于强电磁干扰及易燃易爆危险环境。光纤光栅压 力传感器釆用单端双出纤方式,内置有测温光纤光栅,可同时进行温度监 测和温度漂移补偿,并且在0. 5MPa~4MPa之间具有多种量程规格可供选 择,能够广泛应用于各种油气罐、油气井压力、水位的实时监
西北工业大学 2021-04-14
谐振式压力传感器
一、项目简介 MEMS压力传感器是基于MEMS工艺,把被测压力作用下膜的形变通过一定的规律转换成电信号的一种测压装置,众多MEMS压力传感器中,直接输出频率量的谐振式MEMS压力传感器具有最高的测量精度。高精度谐振式MEMS压力传感器在航天航空领域具有极大的用途。在飞机上,为了获得飞行的高度、速度等大气数据,通常需要测量压力。同时其在卫星和火箭发动控制系统、大气和宇宙数据检测系统中也是迫切需要的传感器,在国内外都有相当大的市场,在我国军事领域,谐振式MEMS压力传感器因其性能优越亦逐步应用到航天、航空、装甲车、舰艇等各兵种装备中。 二、技术成熟度 谐振式MEMS压力传感器工作于闭环激励状态来维持谐振,谐振器是其核心部件,传感器整体精度的高低在很大程度上由谐振器的机械品质决定,受电路参数变化影响较小。其次,技术体系成熟的MEMS技术包括硅基表面加工技术与体硅加工技术使得核心元件的加工生产变的有序可控。本课题组开发的MEMS谐振式压力传感器精度已经达到0.02%FS,各项工艺技术成熟可靠。 三、投产条件和预期经济效益 MEMS传感器核心的投产需要超净实验室(100级,1000级和10000级)和先进齐全的硅微加工设备,包括从制版、光刻、扩散、镀膜、刻蚀到抛光、键合等各种工艺设备。还需配备各种薄膜质量检测设备,可以完成从薄膜制备到测试分析的一系列研究,同时需要具有SEM、TEM、XRD等大型设备,为MEMS相关项目研究的顺利开展提供充分的设备保障。在经济效应方面,其市场规模在2009年就达到了59.1亿元,其中,压力传感器占据市场份额的25%,目前国内同类传感器进口收到限制,较低端的传感器每只约2.0万元人民币,按照各行业每年平均所需,年产5000只压力传感器,可获年产值约1亿元人民币。
厦门大学 2021-01-12
闷罐 压力溶弹 高压罐
产品详细介绍闷罐(高压消解罐)参数及特点:   1、在烘箱中200℃内使用,耐压5Mpa;   2、在设计时充分考虑了安全性,由被动控温转为主动控压。罐体采用圆形榫槽密封设计,手动螺旋紧固密封性能好,避免了挥发性元素的损失;杯顶有泄气孔,安全系数高;   3、我们有优质的稳定材料供应商,能保证内杯材料质量稳定,低空白值(更无黑点、黄点、微小裂痕等致命隐蔽缺陷)。材质、设计、生产工艺也决定整个样品前处理的结果;   4、使用方便:内杯采用特殊设计,易于清洗;精密设备加工内壁光滑,不挂水:   5、内外罐顺序编号,不混配,方便实验中样品的区分,提高实验的可重复性;   6、消解效率高,能力强,能消解许多传统方法难以消解的样品,适应面广,可适用多个样品同时处理;   7、消耗酸溶剂少,空白值低,提高分析的准确度和精确度,降低了工作强度和对环境的污染;规格齐全,可定向加工。
南京瑞尼克科技开发有限公司 2021-08-23
芯片热设计自动化系统
TDA(芯片热设计自动化)软件是清华航院曹炳阳教授团队全自主研发的国际首个芯片跨尺度热仿真与设计系统。TDA软件可实现芯片从纳米至宏观尺寸的热设计与仿真,支持芯片微纳结构内部热输运过程的模拟研究,直接提高芯片热仿真精度与结温预测准确度,进而提高芯片性能、寿命和可靠性。
清华大学 2025-05-16
大尺寸高承载复合材料-金属组合多级智能化结构的设计与制造
以目前航空航天、陆海空等军种的军事装备上主承载结构的轻量化为主要研发目的,通过高性能材料组合、多尺度优化以及智能化控制等来实现结构轻量化、提升军事装备作站效能的目的。同时研发的轻量化结构可以用于新能源汽车、工程机械以及空间结构上,从而实现汽车与机械的节能减排、桥梁与建筑的更大跨越能力等。 针对上述情况,做了如下研究:研究复合材料与金属组合的多级智能化结构的多尺度设计方法,解决复合材料与复合材料之间以及复合材料与金属之间高效连接技术,研发高性价比的复合材料构件,研究适合高性能材料组合的结构形式与制造工艺等。 研发了预紧力齿连接技术,解决了复合材料高效连接技术,研发出高纤维比、高性价比的混杂纤维复合材料管材,并提出多种节点连接形式,提出了复合材料-钢-铝合金组合桁架结构形式以及配套多尺度优化设计方法。
南京工业大学 2021-01-12
一种应用于激光增材制造的铺粉装置
本发明公开了一种应用于激光增材制造的铺粉装置,该装置包含储粉组件、选区铺粉组件和辅助移动组件。铺粉时,首先利用储粉组件为选区铺粉组件提供适宜数量的金属粉末,然后选区铺粉组件在辅助移动组件带动下选择性地在特定位置铺置金属粉末。应用该装备,可根据金属零件与随形缸体的切片截面灵活调整粉末床的形状与位置,极大提升了同步送料与预置铺粉相结合的激光增材制造技术的粉末原料利率。与此同时,该装置亦可应用于常规的激光选区熔化技术。
华中科技大学 2021-04-14
重型载货汽车驾驶室电动/手动翻转机构
目前我国中、重型载货汽车平头化已成为趋势,为了便于发动机等部件的维修,提出了平头载货汽车驾驶室向前翻转的要求。本装置将电动和手动翻转机构集成在一起,采用柱塞泵驱动液压油缸,通过其中换向阀改变油缸运动方向,使驾驶室围绕前支撑点翻转。该装置体积小,质量轻、承载压力大,使汽车装调和维修更安全、更快捷、更轻松,从而大大的缩短了翻转周期,提高了效率。在研或完成课题:汽车摩擦制动与电磁制动的系统集成和协调控制、重型装备运输车联合制动技术研究、纯电动客车关键技术研究及整车开发与应用、电动港口牵引车研究与开发、节能
江苏大学 2021-04-14
逆工程(反求工程)层析三维数字化测量技术和设备
基本原理:层析三维数字化仪的基本原理在本质上不同于传统的逆工程三维测量技术,它把被测物体用专门的填充剂充满其内外所有细节结构,再用真空和高压装置把被测物体制作成测量模块;对该测量模块进行逐层切削和扫描测量;对所有的被测断面进行图像处理,同时精确提取内外轮廓的边缘数据;再通过工作站进行三维CAD重建被测物体的实体模型,在三维CAD实体模型的基础上直接进行激光
西安交通大学 2021-01-12
天津生物工程职业技术学院
天津生物工程职业技术学院是国办公立,面向全国招生,为生物医药产业培养高素质、高端技能型人才的高等职业学院,学院坐落于天津滨海新区核心区,辐射京津冀和环渤海经济技术产业带。 天津生物工程职业技术学院历经了五十年职业教育,以行业好、专业好、就业好闻名遐迩。能够系统培养运用现代生物医药应用技术,从事药品科研服务、生产、检验和销售流通及制药工程设备维修,医疗器械制造等领域工作的技能型人才。 天津生物工程职业技术学院多渠道与生物医药企业合作,不断创新人才培养模式。注重全面提升职业素养和就业能力,确保顺利进入生物医药行业工作。 天津生物工程职业技术学院注重提升办学水平与中国药科大学、沈阳药科大学、天津医科大学、天津中医药大学等学校实行专本无缝对接,在校进行专科学习的同时,接受本科教育,在取得高等职业技术学院毕业证的同时,取得国家承认的本科学历文凭。 天津生物工程职业技术学院提供各项国家规定的奖学金、助学金和助学贷款,另外,通过与企业合作实施和提供订单培养自助和勤工俭学岗位资助。 天津生物工程职业技术学院的优秀同学,毕业后可以享受天津市政府为支持高素质技能型人才到天津就业的相关户籍政策落户天津。 校徽注释 1、校徽图形为圆形。象征学院的凝聚力和规范化,以及作为教育机构的包容万象、有教无类的办学思想。 2、校徽图形由内外两部分结合构成,外环内容为学院中英文对照规范名称;内核为校徽基本图形。 内核上方“Y”形图案,似“医药”的汉语拼音声母,代表学院的办学特色、主要的专业方向和社会服务领域;三个方向的中心连接图案代表着学校、企业、社会齐心协力办好教育,培养合格的专业技术人才,为国家的发展做出贡献。 内核下方的水体波浪图案,一方面代表学校坐落在渤海之滨的地理位置,另一方面彰显我校教学知识面丰富,是学生遨游知识海洋的处所之寓意。 3、校徽的整体颜色采用代表生命的绿色,喻意着学院的办学宗旨是为人类健康服务,昭示着学院的勃勃生机和旺盛活力。 “校训”一词意为:学校教诲或学校法则。校训代表着学校办学准则及宗旨,奋斗方向和学校精神,培养目标及教学目的,全体师生都必须铭记在心。 本“校训”可释为:在校学习、探求学问精细严密;从事职业诚实守信。对现实中所闻见的有悖道德规范之言行不同流合污,主持正义并严格约束自己 校训体现了“以人为本”的理念,兼顾到学校教育者和受教育者两个主体的存在。 严谨求学是针对师生而言,治学求学,均应以严谨务实,崇尚科学为根本。 诚信从业则是对师生终生的职业操守约定,在各自岗位从业都要以诚实守信为标准。 自洁律己知行规范。更是告诫师生应以此作为加强道德修养谨言慎行,在思想追求和实践作为上坚守的准则。 医药业自古就是视诚信为生命,自身修养为重中之重的“仁业”,对从业者资质要求之高非一般行业可比。校训亦秉承发展了这一传统行规,在大反商业贿赂诚信制药的今日更具现实意义。
天津生物工程职业技术学院 2021-02-01
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