上海荣泰生化工程有限公司成立于1996年，二十多年专注实验室通用仪器设备的研发与制造。公司位于上海，办公及产研大楼总面积为2000平方米。随着海外业务量的不断增加，目前荣泰产品已远销北美、欧洲、中东、日本、印度等全球多个国家。有着成熟的生产工艺、专业的生产设备、资深的管理团队，已取得ISO 9001、CE认证及医疗器械生产许可证，是国内领先的实验领域耗材制造商。 我们始终坚持质量领先，用户至上的原则。秉承“科技领先，服务市场，诚信待人，追求完美”的企业理念，不断进行技术创新、设备创新、服务创新和管理方式创新来继续研发出更多满足未来发展需要的实验室产品，我们以稳定可靠的产品质量，完善的服务体系赢得客户的信任。致力于向客户及合作伙伴，提供高附加值的产品及专业服务。

山东鲁南瑞虹化工仪器有限公司（原山东鲁南化工仪器厂），始建于1969年9月，是中国仪器仪表行业协会理事单位、中国色谱学会理事、原化工部定点大型精密分析仪器专业生产厂，是色谱仪三大生产厂家之一，是山东省第一批高新技术企业，2014年被评为国家火炬计划重点高新技术企业；公司研发中心是山东省省级企业技术中心、山东省色谱工程技术研究中心，能够独立承担各类大型分析仪器的设计开发、应用创新及分析方法的建立；健全了质量管理体系、环境管理体系和安全管理体系，通过了GB/T 19001-2016、 GB/T14001-2016国际质量环境管理体系认证；公司产品于2002年、2005年、2008年、2011年及2016年连续五届荣获“山东名牌”称号。 公司集产品设计、开发、生产、销售、服务于一体，制定了长期经营战略方针，有优质的人力资源和丰厚的物质及财力资源，公司拥有员工五百余人，具有高级职称的工程技术人员占公司员工总数的三分之一以上，售后服务网点覆盖全国省、市、自治区，对服务需求及时响应。公司科研实力雄厚，分别在公司总部、北京、上海、合肥设立研发中心，独立研制的SP-502型气相色谱仪曾荣获“国家科技进步奖”、“山东省科技进步一等奖”和“全国科学大会奖”，被化工部列为替代进口产品。SP-6890型、SP-2000型、SP-7890型、SP-7820型气相色谱仪、LC-1000D液相色谱仪及RZF-3000型热解组分地化仪曾被列为“国家级重点新产品项目”，荣获省级、市级科技进步奖，多次获国家科技创新基金支持，“一种热导池检测器”2018年被授予国家发明专利。环境在线色谱（工业防爆）、便携式色谱（车载）、气相色谱-质谱联用仪（GC/MS）、全电子流量、电子压力控制的GC-8850,GC-8860型高性能色谱仪（EPC）已批量生产，目前生产实验室色谱、在线色谱及各类专业色谱六大系列共计20余个品种。 公司生产线设备精良，工艺先进，检验设备精密、全面、准确，操作人员技术精湛。产品质量优良、性能稳定，赢得了广大用户的信赖，具有广泛的品牌知名度及完美的产品美誉度，受到国内色谱界专业人士的一致称赞。 产品销往全国各地，并部分出口到俄罗斯、东南亚及中东地区。广泛应用于各大专院校、科研院所及医药、化工、石油、电力、农药、矿井、商检、公安、环保、疾控、酿造及食品残留检验等各个领域。

星皇亚太企业（博罗）化工有限公司是一家集研发、生产、销售为一体的高端化妆品专业企业，坐落于风景秀丽的南国海滨城市——广东惠州，所处的工业区交通发达，环境优美，周边良好的生态环境有利于化妆品的研发和生产。 (主要产 品包括：美容护肤、洗护发、面膜、彩妆、香水等)。本企业作风严谨、正直，在原材料的选择上严格要求，坚决杜绝了防腐剂和添加剂等存在安全隐患的成分原料。 10万级GMP制药标准的无菌化妆品生产车间、全自动电加热真空乳化锅、多条现代化的生产包装和自动灌装线等先进硬件设置的配备，连同研发实验室严格按照美国CTFA和欧盟COLIPA标准进行检测和管理，使得企业在设备清洁、生产操作、现场品管、质量检测、卫生安全等各个方面均建立起一整套严格的标准操作流程及制度。为求产 品达到安全无害、品质优良、效果优异，企业保证每个单品在上市前均会进行一系列检验分析，最终带给消费者舒心的使用过程、靓丽的肌肤和愉快的心情。 星皇亚太企业（博罗）化工有限公司拥有强大的技术实力、先进的硬件设备、尽心的服务团队、优质的管理系统，秉持信任诚实和富有责任感的经营理念，必定能为消费者和客户提供最放心的优质产 品。 工厂前台 我们秉承“为合作伙伴创造价值”的核心价值观，并以“诚实、宽容、创新、服务”为企业精神，通过自主创新和真诚合作为电子商务及信息服务行业创造价值。   

济宁康德瑞化工科技有限公司坐落在风景优美的孔孟之乡、运河之都-山东省济宁市，是嘉兴市向阳化工厂在济宁市化学工业开发区内投资新建的股份制企业。新建项目总投资13232万元，占地面积为33400m2，建筑物占地面积为8996m2。主要生产二乙基羟胺、异丙基羟胺、二氟乙酸系列及磺化系列产品。生产规模为年产羟胺橡胶助剂系列10000 吨，二氟乙酸系列1200吨，对甲苯磺酰胺系列3500吨。 企业极为重视企业管理、新产品开发、技术人才的培养。在企业管理上，从生产、销售、供应、财务、人员等方面初步建立了现代化管理体系。产品质量检验通过三级质量检验认证。通过ISO 9001:2008 质量管理体系认证和ISO14001:2004 环境管理体系认证，已取得《安全生产标准化》证书。产品《N-异丙基羟胺》获得了国家专利证书。企业不断致力于向社会推广和提供优质的产品及完美的服务；公司设有专业技术部门和品质监管部门，拥有设备完善的实验室，公司还与嘉兴学院等多所高校及科研部门建立长期的互助关系，共同研究探讨技术与产品质量上的问题，以确保能为合作单位提供高性价比的产品和技术服务。    

研究背景 芯片是人类最伟大的发明之一，也是现代电子信息产业的基础和核心。小到手机、电脑、数码相机，大到6G、物联网、云计算均基于芯片技术的不断突破。半导体光刻工艺水平的发展是以芯片为核心的电子信息产业的基石，目前半导体光刻的制造工艺几乎是摩尔定律的物理极限。随着制造工艺的越来越小，芯片内晶体管单元已经接近分子尺度，半导体制作工艺的“瓶颈效应”越来越明显。随着全球化以及科技的高速发展，急剧增长的庞大数据量要求数据处理模型和算法结构不断优化升级，带来的结果就是对计算能力和系统功耗的要求不断提高。而目前智能电子设备大多存在传输瓶颈、功耗增加以及计算力瓶颈等现象，已越来越难以满足大数据时代对计算力与功耗的需求，因此提高运算速度同时降低运算功耗是目前信息工业界面临的紧要问题。 如当年集成电路开创信息时代一样，当下已经普及的光通信正在成为新革命力量的开路先锋。与此同时，光子芯片正在从分立式器件向集成光路演进，光子芯片向小型化、集成化的发展趋势已是必然。相对于电子驱动的集成电路，光子芯片有超高速率，超低功耗等特点，利用光信号进行数据获取、传输、计算、存储和显示的光子芯片，具有非常广阔的发展空间和巨大的潜能。 项目功能 本项目瞄准光通信关键技术及核心芯片，基于量子阱二极管发光探测共存现象，探索关键微纳制造技术，研制出可以同时实现通信、感知功能的一体化光电子芯片。 技术路线 一、技术原理及可行性 本项目主要负责人王永进教授发现如图1所示的量子阱二极管发光探测共存现象，首次研制出同质集成发射、传输、调制和接收器件的光电子芯片，这些原创工作引起了业界相关科研小组地广泛关注，化合物半导体同质集成光电子芯片成为研究热点。香港大学的蔡凯威小组和申请人合作提出湿法刻蚀和激光选择性剥离技术，在蓝宝石氮化物晶圆上实现LED基同质集成光电子芯片(Optica 5, 564-569 (2018))。沙特阿卜杜拉国王科技大学Ooi教授和美国加州大学圣巴巴拉分校Nakamura教授小组在蓝宝石氮化物晶圆上，研制出基于氮化物激光器的同质集成光电子芯片(Opt. Express 26, A219(2018))。中科院苏州纳米所孙钱小组在硅衬底氮化物晶圆上，研制出基于氮化物激光器的同质集成光电子芯片(IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200305 (2018))。在NRZ-OOK调制方式下，InGaN/GaN量子阱二极管可实现Gbps的光发射、调制和探测速率(Appl. Phys. Express 13, 014001 (2020))。这些工作表明研发基于光子传输的化合物半导体同质集成光电子芯片以实现片上光子通信是可行的。   二、总体结构设计及工艺流程 本项目提出的同时通信/感知一体化光电子芯片基于常规的蓝宝石衬底氮化镓基多量子阱LED外延片进行设计，无需特殊定制的外延结构。以典型的2寸氮化镓基蓝光LED外延片为例，其外延片结构如图2所示，从下至上依次为蓝宝石衬底、AlGaN缓冲层、未掺杂GaN层、N型GaN层、InGaN/GaN多量子阱层和P型GaN层，通过调节InGaN/GaN多量子阱层的参数（层厚度与In的比例等等）可制备具有不同中心波长的光源器件。   图3为本项目所提出的同时通信/感知一体化光电子芯片结构。在蓝宝石衬底的氮化物晶圆上通过刻蚀和沉积等一系列晶圆级微纳加工技术，制备出单片集成的InGaN/GaN多量子阱LED和PD。光子芯片的P、N电极可以采用倒装技术直接与基板相连，光线从透明的蓝宝石衬底发出，这样不仅使得器件具有优良的电性能和热特性而且简化了其后期的封装工艺。 三、技术创新优势 1、同一块晶圆上集成LED和PD使得两者间距离大大缩短，不仅有助于增强PD对蓝宝石表面反射光线的耦合，提升感知系统性能，而且缩小了器件整体外形，符合集成电子器件小型化、便携化的发展趋势； 2、单片集成的LED和PD器件相比于传统异质的、分立的LED和PD简化了封装形式和工艺，不再需要对LED和PD进行单独的封装，而且同质集成器件的基板也较异质结构的简单统一，极大地缩短了集成系统的制作周期； 3、同时通信/感知一体化光电子芯片采用相同的工艺就可以制作出LED和PD，简化了生长异质材料的复杂性，缩短了器件流片的周期，使用同一工艺就可将LED和PD进行批量生产，有效地降低了生产成本。 四、实验验证 本项目团队所在的Peter Grünberg研究中心拥有完整的LED器件制备、光电性能测试与电学性能测试平台，并且项目成员积累了丰富的测试技术与经验，能够满足本项目的同时通信/感知一体化光电子芯片测试同时表征光电参数与电学参数的需求。下图4所示为器件形貌表征图，从左边依次是扫描电镜图、光镜图、原子力显微镜图。   基于通信感知一体化芯片，本项目利用单个多功能集成器件成功实现了对人体脉搏的监测功能，如图5所示。   另外基于通信感知一体化氮化镓光电子芯片，我们还实现了照明、成像和探测功能为一体的LED阵列系统，如图6所示。该系统可以在点亮照明的同时，实现对外界光信号的探测与感知，通过后端系统处理后，再将信息通过阵列显示出来，实现多种功能的集成。 项目负责人王永进教授是国家自然基金委优秀青年项目、国家973项目获得者，他以第一或通讯作者身份在Light-Sci Appl.等主流学术期刊发表一系列高质量研究论文，获授权中国发明专利23项，美国发明专利2项，被National Science Review、Semiconductor Today等做9次专题报道，荣获2019年中国电子学会科学技术奖（自然科学）、2019年南京市十大重大原创成果奖等。

在大尺寸宽禁带/半导体单晶衬底外延设备、材料生长等方面做出了突出的工作。2001年始，研制出国内第一台用于氮化镓（GaN）衬底的卤化物气相外延（HVPE）系统，研究发展了获得高质量GaN衬底所需的所有关键技术并拥有自主知识产权，在氮化镓单晶衬底设备和材料技术领域已获授权国家发明专利30余项、申请国家发明专利30余项。在国内最早研制出2英寸毫米级GaN单晶衬底，建成6英寸HVPE系统并实现7片2吋及4-6吋GaN均匀生长；研究出创新性的GaN衬底批量制备技术，即将进行高质量、低成本GaN衬底的产业化应用，为第三代半导体应用奠定了材料基础。

本发明公开了一种激光辅助低温生长氮化物材料的方法及装备， 该方法将非氮元素的前驱体蒸汽和活性氮源前驱体气体分别输送到反 应腔室内温度为 250 至 800℃的衬底材料处，利用波长与活性氮源分 子键共振波长相等的激光束作用于活性氮源气体，使激光能量直接耦 合至活性氮源气体分子，加速 NH 键的断裂，提供充足的活性氮源， 使非氮元素与活性氮源发生化学反应，沉积第 III 族氮化物膜层材料， 持续作用直到沉积物覆盖整个衬底

团队与合作者首次报道了米级单晶Cu(111)衬底的制备方法，并在此基础上实现了米级单晶石墨烯的外延生长（Science. Bulletin 2017, 62, 1074）。与石墨烯不同，六方氮化硼等其它绝大多数二维材料不具有中心反演对称性，其外延生长普遍存在孪晶晶界问题：旋转180°时晶格方向发生改变，外延生长时不可避免地出现反向晶畴，而在拼接时形成缺陷晶界。 开发合适对称性的外延单晶衬底是解决这一科学难题的关键。研究团队探索出利用对称性破缺的衬底外延非中心反演对称二维单晶薄膜的新方

本工艺可以对现有的各类高浓废水进行减量化处理，解决蒸发工艺（MVR、多效蒸发）在处理高浓工业废水碰到的技术难题，例如高盐造成的换热器腐蚀以及结垢、不能处理高有机物废水以及高温蒸发导致的冷凝水有机质含量、氨氮偏高问题。 经研究发现，蒸发温度降低，能够减少对金属材质的腐蚀、结垢以及降低冷凝水中有机物浓度、含盐量。如果蒸发温度低于溶液沸点，例如100℃以下，就可以采用非金属材质制造蒸发设备，这样就完全解决了高浓废水中盐分对设备腐蚀、结垢问题，同时降低高浓废水有机物蒸发，使得冷凝水有利于后期的生化处理。 如下图1所示，本技术选择空气作为水汽载体，利用空气与废水溶液直接接触后空气能够带走溶液中的水分的原理，实现高浓废水的蒸发浓缩。由于空气与废水溶液直接接触蒸发，不再需要金属蒸发换热器，彻底解决腐蚀和结垢问题。同时，在浓溶液蒸发一定阶段后，由特殊设计溶液加热罐中将盐泥排除系统，并引入新的浓溶液，继续蒸发。 不仅如此，在本工艺方便引入高级氧化设备，能够进一步降低高浓废水有机物含量，提高本工艺对废水的处理能力。