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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
均一Fe3O4微球从纳米到微米级尺寸控制合成及癌症早期诊断与预警的血液肿瘤细胞快速检测
该成果采用两亲性多元醇还原的溶剂热法可控制备具有高度单分散性的 Fe3O4 微球，实现了微球尺寸在 50～1200 nm 范围的可调，其>500 nm 的高单分散性的大尺寸磁珠未见文献报道。以 SiO2 等包覆所获得的高单分散性磁珠易于氨基和羧基化，从而在偶联剂（如碳二亚胺）等作用下，易于实现纳米磁珠与 CD45 等抗体的有效结合。目前磁珠表面包被 CD45 等抗体的试验已顺利完成。 该成果提出了纳米磁珠的全尺寸控制合成新思路，在高效包被 CD45 等抗体阴性富集实体瘤循环血液中稀有癌细胞的检
扬州大学
2021-04-14
2024新能源电池行业趋势等离子清洗机如何成为动力电池组装的“隐形功臣”？
在 2024 年全球动力电池产业冲刺 400Wh/kg 能量密度的关键节点，等离子清洗机正以革命性工艺革新推动着电池制造的质效提升。这个看似普通的工业设备，正在动力电池极片处理、电芯封装等关键工序中扮演着 "精密美容师" 的角色，成为保障电池安全性和稳定性的核心环节。
山东罗丹尼分析仪器有限公司
2025-07-01
一种具有辅助充种作用种盘的气吸式高速精量排种器
本发明公开了一种具有辅助充种作用种盘的气吸式高速精量排种器。该排种器包括前壳体、清种机构、种盘、卸种机构、传动机构以及后壳体。本发明种盘型孔周边具有凸台，一方面能够促使种群扰动，另一方面能够起到托种的作用，能够有效减少吸种风压和提高作业速度；清种过程采用清种毛刷和清种机构相结合的清种方式，能够有效清除多余的种子；卸种过程采用卸种轮与种盘后盘面矩形凹槽相配合的顶出卸种方式，保证了投种的均匀性；同时，排种器外壳采用卡簧快拆式结构，便于拆装更换。本发明结构紧凑合理、工作速度高、稳定可靠、对风压需求低。
中国农业大学
2021-04-11
3D打印可生物降解封堵器治疗房间隔缺损的应用研究
镍钛合金结构房间隔缺损封堵器存在固有缺陷，可能引发严重并发症。经过前期工作证明了聚-4羟基 丁酸酯良好的生物相容性和体内降解特性，并申请一种全新结构的心脏缺损封堵器专利。拟对聚-4羟基丁 酸酯改性后制作3D打印墨水，利用光固化成型技术生产房间隔缺损封堵器，测试其生物相容性及力学性 能。同时构建房间隔缺损动物模型，根据缺损的三维形态打印个体化封堵器并进行封堵治疗，检测封堵器 的治疗效果，评价其临床使用的可行性。
中山大学
2021-04-10
应用于智能配电网的双有源桥直流变换器软启动控制方法
本发明公开了一种应用于智能配电网的双有源桥直流变换器软启动控制方法，先解锁原边全桥，闭锁副边全桥和外移相角的闭环控制，原边全桥采用斩波控制，开关管Q3和开关管Q4以50％的占空比互补导通，开关管Q1和开关管Q2采用变占空比控制，并且每个开关周期以一定的步长增加；当副边电压上升到足以驱动开关管，且开关管Q1和开关管Q2的占空比都增至0.99时，解锁副边全桥及外移相角的闭环控制；当输出电压达到额定值时，切入负载，输出电压稳定完成启动过程。本发明有效抑制双有源桥直流变换器在启动过程中的电流过冲，保证电流的正负对称，降低对开关管的耐流要求，降低成本，避免变压器偏磁现象，降低变压器的容量、体积和成本。
东南大学
2021-04-11
一种用于高超声速飞行器或发动机的综合热管理系统
本发明公开一种用于高超声速飞行器或发动机的综合热管理系统，包括散布在飞行器上需冷却的高温装置上的分布式集热器，分布式集热器的出口通过管路连通至自身进口形成闭路循环
北京航空航天大学
2021-04-10
内置可更换粘滞阻尼器与耗能钢筋的预制拼装桥墩抗震结构及其施工方法
本发明公开了一种内置可更换粘滞阻尼器与耗能钢筋的预制拼装桥墩抗震结构及其施工方法，桥墩抗震结构包括带有“［”型凹槽a的预制混凝土墩柱节段、用于嵌套预制混凝土墩柱节段上部和下部的双壁钢套筒、用于定位墩柱节段的定位钢筋、安装在“［”型凹槽a内部的粘滞阻尼器、耗能钢筋。粘滞阻尼器与耗能钢筋在结构中起到“安全气囊”的作用，它们在地震作用下具有较强的耗能能力。粘滞阻尼器与耗能钢筋在结构中还起到“保险丝”的作用，它们是地震损伤集中部位，并且可更换。使用本发明不仅可以提高预制拼装桥墩的抗震性能，同时还能快速修复受损桥墩。
东南大学
2021-04-11
基于六维力传感器和双目视觉的机器人打磨装置及打磨方法
本发明公开了一种基于六维力传感器和双目视觉的机器人打磨装置及打磨方法，打磨装置包括机械臂、传感器固定座、六维力传感器、工业相机、柔性连接件、电机固定座、打磨电机和双轴加速度传感器；六维力传感器通过传感器固定座与机械臂的末端关节固定连接；六维力传感器通过柔性连接件与电机固定座柔性连接，打磨电机安装在电机固定座上；工业相机对称设在柔性连接件的两侧；双轴加速度传感器分别设在机械臂的末端关节和打磨电机上。打磨方法包括步骤1，深度点云图生成；步骤2，打磨时机控制；步骤3，PI控制打磨和步骤4，机械臂位置补偿。本发明简单稳定，易于控制，打磨效果好，效率高；同时，还能补偿打磨过程中的位置偏移，提高加工质量。
东南大学
2021-04-11
一套评测杀菌剂对自苹果花器侵染病害防治效果的方法
本发明公开了一套评测杀菌剂对自苹果花器侵染病害防治效果的方法，涉及植物病害防治药剂评测技术。针对病菌通过花器侵染果实的特点，本发明用苹果和海棠的干制花朵为基质，在干制花朵上接种靶标病菌，进行杀菌剂处理，并对接种病菌和药剂处理的干制花朵进行保湿培养，诱导靶标病菌在干制的花朵产生孢子，最后通过检查病菌是否产孢及产生孢子密度，评测杀菌剂对抑制病菌定殖花器和（或）铲除定殖花器病菌的效果。克服了田间药效试验周期长、费用高、成功率低，室内药剂筛选与实际应用效果差异大等问题，为苹果霉心病、黑点防治药剂的筛选提供一套简便、可靠的方法。
青岛农业大学
2021-04-13