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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途: Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性 好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来 说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻 温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数 (TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的 TCR 在温度变化时 会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜 电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低 TCR(≤25ppm/℃)要求。 技术原理与工艺流程简介: 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度 系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为 兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻 靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜 稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。 C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量 的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。 技术指标如下: 温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后 ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 应用领域: 集成电路、电子元器件 合作方式及条件:具体面议 2 半导体微环激光器 3 基光电集成电路 4 无线网络与应用:协作无线网络 5 移动通信—LTE 技术
天津大学 2021-04-11
稀土掺杂非磁过渡金属对“铁磁/非磁”纳米自旋泵浦器件的磁性调控
成果介绍铁磁(FM)/非磁(NM)结构的双层膜中发现的自旋泵浦(spin pumping)效应是磁学和自旋电子学中的一个突破性发展,因此吸引了众多的研究兴趣。它和铁磁层自旋极化电流相关,同时又和非磁层的自旋轨道耦合有直接联系。本项目采用具有较高的自旋轨道耦合系数的稀土金属调制非磁层,运用铁磁共振和输运两种方法,并结合结构、磁性和同步辐射分析等手段,研究不同稀土掺杂对铁磁/非磁过渡-稀土合金(Py/NM-RE)复合纳米双层膜的结构和界面的影响,得到自旋泵浦强度、界面混合电导以及非磁层的自旋轨道耦合强度和自旋扩散长度的调控规律。从而探索该复合纳米双层膜中的界面自旋泵浦效应和非磁层自旋轨道耦合对自旋动力阻尼的影响机制。这些研究结果将有利于开发新型复合磁性材料和新型强自旋-轨道耦合的非磁材料,有利于集成多功能自旋器件。
东南大学 2021-04-11
一种金属软磁复合材料的非均匀形核绝缘包覆处理方法
本发明公开了一种金属软磁复合材料的非均匀形核绝缘包覆处理方法。它包括如下步骤:1)将金属磁粉过筛进行粒度配比;2)利用非均匀形核法对配好的金属粉末进行绝缘包覆后干燥;3)将干燥后的磁粉与粘结剂混合均匀,加入脱模剂干压成型,将其压制成坯样;4)将坯样于保护气氛中保温0.5~2h,空冷,喷涂,得到目标产物。本发明采用非均匀形核法制备的复合粉末包覆均匀、致密,包覆层厚度可控,具有良好的抗氧化性、高的电阻率、高的饱和磁化强度,具有优良的磁性能和力学性能;采用非均匀形核法在金属磁粉表面均匀包覆一层Al2O3绝缘层,包覆效果优于现有方法,且可操作性强,便于批量生产。
浙江大学 2021-04-11
含硫、氮和过渡金属元素大孔碳氧化原催化剂的制备方法
本发明涉及氧还原催化剂的制备方法,旨在提供一种含硫、氮和过渡金属元素大孔碳氧化原催化剂的制备方法。该方法是:将硫脲溶液加入葡萄糖溶液,于水浴中滴加盐酸,反应得到葡萄糖硫脲预聚体溶液;将含过渡金属盐和纳米CaCO3粉末的悬浊液加入其中,加热反应后喷雾干燥,得到催化剂前驱体;然后升温进行深度聚合、碳化;冷却球磨,再使用盐酸去除模板,漂洗后干燥,得到产品。本发明将过渡金属元素在多孔材料形成前加入,能够形成更多的催化中心,是催化中心的分布更加均匀。得到的催化剂比表面积大,导电性好,具有极高的催化活性,特别适用于大电流工作状况。合成的非贵金属催化剂可用于多种燃料电池,也可作为空气电池的阴极催化剂,成本低廉。
浙江大学 2021-04-13
高活性高容量金属氢化物储、制氢关键技术开发与应用
《能源技术革命创新行动计划(2016-2030年)》,将“氢能与燃料电池技术创新”列入15项重点任务之一。项目团队围绕氢的制取、储存和应用展开研究,突破高活性高容量金属氢化物储、制氢关键技术,成功开发了高活性高容量镁基金属氢化物储、制氢材料,相关性能达到了国际先进水平。团队主持承担了国际合作项目、国家自然科学基金、国家科技部863、国家教育部、江苏省教育厅等项目20余项。发表SCI论文100余篇,授权国家发明专利10余件。
南京工业大学 2021-01-12
一种燃煤过程中抑制碱金属释放的改性添加剂及制备方法
本发明提供了一种燃煤过程中抑制碱金属释放的改性粘土矿物添加剂(简称改性添加剂)及其制备方法,该添加剂以天然粘土矿物为原料,制备步骤有:向粘土矿物添加液态插层剂,搅拌混合并进行固液分离,或者直接将粘土矿物与固态、半固态插层剂机械研磨,得到插层粘土矿物;干燥后进行剥离,得到改性粘土矿物添加剂。本发明使改性后的粘土矿物晶格结构发生变化,层间距加大,吸附位点更多,吸附效果更好,生成碱金属硅铝酸盐结构稳定,且与煤掺烧可有效提高灰熔点,可用于燃煤电站,相对传统添加剂,吸附碱金属效率大幅提升,可缓解沾污结渣,提高换热效率,降低发电成本;本发明工序简单,条件易控,实用性强,具有良好的经济效益和社会效益。
华中科技大学 2021-04-13
云南大学材料与能源学院郭洪教授团队在金属-空气电池领域取得重要进展
此方案可同时实现对催化剂活性位点(Fe-N4)的电荷密度以及Fe离子3d层电子结构的调控,此外FePc&rGO不仅在碱性介质中展示出优于商业Pt/C催化剂的ORR性能,由该催化剂组装的锌-空气电池(液态、准固态)也具有令人满意的实际应用潜力,这种活性位点内外部双重优化的策略可为氧电催化剂的机理研究提供新的思路与见解。
云南大学 2022-06-09
确定金属化膜电容器整机压力保护装置动作阈值的方法
本发明公开了一种可测量金属化膜电容器元件在实际运行工况 下产气体积的方法和装置。该方法可模拟电容器短路击穿故障时的产 气情况,同时可将电容器运行过程中产生的气体全部收集到量筒内, 通过量筒上的刻度对产气量进行测量。通过该方法,可实现金属化膜 电容器元件击穿短路故障过程中的产气体积测量,同时还能用于气体 收集进行产气成分分析。本发明还提供实现上述方法的装置和材料, 主要包括绝缘容器、橡胶软管、玻璃量筒、绝缘油。本发明使用的材 料和器件均具有良好的绝缘性能,可保证实验过程中的安全。 
华中科技大学 2021-04-14
一种干式金属化膜电容器气敏保护装置和方法
本发明公开了一种金属化膜电容器保护装置和方法,干式金属 化膜电容器内部不灌封或采用灌封的干式结构,电容器顶部存在一定 高度的空隙。热传导型氢气传感器及其检测电路构成的气敏保护装置 安装于电容器顶部。当电容器内部元件出现击穿故障时,元件内部会 产生大量气体并逸出,该气体会最终汇聚到电容器顶部的空隙中。元 件产气中,经检测氢气体积约占 85%,因此,该产气会导致电容器顶 部空隙中氢气浓度的变化,从而导致检测电路输出信号的变化,实现 金属化膜电容器内部故障的检测。检测到故障信号后,可从外部切断 电容器电源
华中科技大学 2021-04-14
一种纳米多孔银基金属催化剂的电化学制备方法
本发明属于纳米多孔材料制备领域,尤其涉及一种纳米多孔银基金属催化剂的电化学制备。本发明 在有机溶剂或者有机溶剂/水的混合溶剂体系中通过电解还原难溶性银盐或银与其他元素的混合盐来制 备纳米多孔银基金属催化剂。该方法工艺简单、环境友好,可以获得金属原生粒子尺寸低至 20 纳米的 纳米多孔银基金属催化剂。所制备的纳米多孔银基金属催化剂用于二氧化碳电催化还原时,其整体催化 活性显著高于现有关于银基催化剂的报道。
武汉大学 2021-04-14
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