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大面积高质量金刚石自支撑膜的制备技术
本项目是国家863计划”85” 和”95”重大项目的阶段性研究成果(合作单位:河北省科学院)。 包含”大面积高功率DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜高速沉积设备”和”大面积高质量金刚石自支撑膜制备工艺”两部分。其目标是向国内外市场提供大面积高质量廉价金刚石自支撑膜。技术基本成熟, 设备和工艺已在广东、北京和天津的一些工厂和研究院所应用。目前已开发两种不同功率级别, 100千瓦级和30千瓦级的设备, 工具级金刚石膜沉积速率: 40~50mm/h, 沉积面积: 110mm (100千瓦级), 或60mm (30千瓦级)。利用本项目技术生产的工具级金刚石膜可达到的指标: 面积: mm (100千瓦级), 或 mm (30千瓦级); 厚度: 最大2mm; 维氏硬度: 8000~11000 kg/mm2; 抗弯强度: > 300 MPa。光学级金刚石自支撑膜目前最大面积为60mm, 厚度约0.6mm, 从紫外(0.22m)到远红外(>20m, 直至微波)透明, 8~12m波段透过率~70%, 热导率~19W/cm.k, 各项物理化学性能均与天然Ⅱa型宝石级金刚石单晶接近。 该项目适用于光学级金刚石自支撑膜: 工业CO2激光器窗口, 需要在极端恶劣工业环境(高温、腐蚀、幅射、磨损、冲刷等)下工作的光学装置窗口、军事窗口等。也可用于中高档耐用装饰品制作。 热沉级金刚石自支撑膜: 半导体二极管激光器热沉、功率半导体器件(Power IC)的金刚石封装、MCMs (大规模集成电路的三维立体组装技术)用大面积金刚石热沉、高功率微波器件热沉。 工具级金刚石自支撑膜: 金刚石拉丝模模芯、金刚石自支撑膜钎焊工具、各种抗极度摩擦磨损工具和模具及仪器零件。
北京科技大学 2021-04-11
大面积高质量金刚石自支撑膜的制备技术
本项目是国家863计划”85” 和”95”重大项目的阶段性研究成果(合作单位:河北省科学院)。 包含”大面积高功率DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜高速沉积设备”和”大面积高质量金刚石自支撑膜制备工艺”两部分。其目标是向国内外市场提供大面积高质量廉价金刚石自支撑膜。技术基本成熟, 设备和工艺已在广东、北京和天津的一些工厂和研究院所应用。目前已开发两种不同功率级别, 100千瓦级和30千瓦级的设备, 工具级金刚石膜沉积速率: 40~50mm/h, 沉积面积: 110mm (100千瓦级), 或60mm (30千瓦级)。利用本项目技术生产的工具级金刚石膜可达到的指标: 面积: mm (100千瓦级), 或 mm (30千瓦级); 厚度: 最大2mm; 维氏硬度: 8000~11000 kg/mm2; 抗弯强度: > 300 MPa。光学级金刚石自支撑膜目前最大面积为60mm, 厚度约0.6mm, 从紫外(0.22m)到远红外(>20m, 直至微波)透明, 8~12m波段透过率~70%, 热导率~19W/cm.k, 各项物理化学性能均与天然Ⅱa型宝石级金刚石单晶接近。 该项目适用于光学级金刚石自支撑膜: 工业CO2激光器窗口, 需要在极端恶劣工业环境(高温、腐蚀、幅射、磨损、冲刷等)下工作的光学装置窗口、军事窗口等。也可用于中高档耐用装饰品制作。 热沉级金刚石自支撑膜: 半导体二极管激光器热沉、功率半导体器件(Power IC)的金刚石封装、MCMs (大规模集成电路的三维立体组装技术)用大面积金刚石热沉、高功率微波器件热沉。 工具级金刚石自支撑膜: 金刚石拉丝模模芯、金刚石自支撑膜钎焊工具、各种抗极度摩擦磨损工具和模具及仪器零件。
北京科技大学 2021-04-11
英寸级单晶金刚石衬底及其关键设备的产业化
金刚石半导体集热、电、声、机械等特性于一体,在禁带宽度、击穿场强、迁移率和热导率等方面远高于其他半导体,被称为“终极半导体”。英寸级单晶金刚石衬底及其关键设备的产业化,可以极大地推进我国半导体的革命性变革,实现我国微电子行业的跨越式发展,达到国际先进水平。本项目在国家“千人计划特聘专家”王宏兴的推动下,已经完成了两种微波等离子体CVD设备的设计和制造,利用这些设备已经完成了英寸级单晶金刚石衬底的工程样品,实现了克隆衬底工艺的全线贯通,具有小批量产业化能力。按照日本相关公司的预测,随着金刚石半导体的发展,在2030年,中国的市场规模达到100亿美元。由于金刚石生产中的主要成本是甲烷、氢气和消耗电力的费用,成本较低,经济效益显著。 金刚石半导体特性 关键设备-MPCVD 克隆技术 单晶金刚石衬底
西安交通大学 2021-04-11
纳米多层类金刚石(DLC)薄膜提高发动机给油系统摩擦副寿命
目前我国开始发展单体泵燃油喷射系统以使发动机的排放达到欧III排放标准,这对于我国节约能源、保护环境、降低车辆运输成本等具有重要意义。本项目开发对单体泵内的关键零件—柱塞进行表面改性的工业化应用技术,使表面改性处理的柱塞不仅具有优异的耐磨寿命(显著优于表面覆有TiN薄膜的柱塞),同时具有很低的摩擦系数(为TiN薄膜的~1/6),使柱塞/泵体摩擦副均具有高度的寿命水平和保持长期精度。
西南交通大学 2021-04-13
利用铰链式六面顶压机制备高性能聚晶金刚石的方法
本发明公开了利用铰链式六面顶压机制备高性能聚晶金刚石的方法,其特点是该方法采用金刚石或含部分金刚石的碳粉体为原料,不添加任何金属或陶瓷粘结剂,经净化除杂,粉体表面在真空度4x10-3~4x10-5Pa,温度800~1500℃,净化处理0.5h~5h。表面净化的金刚石粉体预压成型,放置于铰链式六面顶压机上,于温度1400-2500℃,压力为8~20GPa, 烧结1~30min,制得高性能聚晶金刚石块体材料。
四川大学 2017-12-28
一种便携式线切割锯
(专利号:ZL 201310566854.1) 简介:本发明公开了一种便携式线切割锯,涉及线切割技术领域。本发明的线切割锯包括锯身、万向喷水管、电极丝、前绕丝机构、前导丝机构、后导丝机构和后绕丝机构;锯身与把手相固连,锯身远离把手的一端设置有前导丝机构,锯身靠近把手的一端设置有后导丝机构;前绕丝机构位于前导丝机构的上部,后绕丝机构位于后导丝机构的上部;电极丝的一端缠绕于前绕丝机构上,电极丝依次穿过前导丝机构、后导丝机构,该电极丝的另一端缠
安徽工业大学 2021-01-12
非导体线切割及自动穿丝机
现在激光切割已经十分普及了,但是激光带来的问题也越来越明显, 激光切割木板塑料会产生有害气体,污染环境,影响周围人员身体健 康,现在环境监测部门监查十分严厉,很多激光加工厂无法正常开工。 特别是印刷包装行业,切割纸张的模板都是激光切割,现在突然不允 许使用了,工厂已经无所适从。目前线切割对于导电材料进行复杂切 割已经十分成熟了,线切割的一个影响效率的关键问题是穿丝非常困 难,过去也有很多人想设计一个自动穿丝机构,没有一个是稳定的, 随着计算机的发展这个问题到了应该解决的时候了。 我们在几年前就发觉了
复旦大学 2021-01-12
一种快走丝线切割控制系统
本发明公开了一种快走丝线切割控制系统,包括基于单板机的控制器,所述控制器包括现场控制器和远程控制器;所述远程控制器向现场控制器发送加工代码,并接收来自现场控制器的加工进度信息。增加在传统单板机控制器的基础上增加了远程控制器,不仅具有加工的稳定和可靠性的优势,而且还具备了编控一体的功能。基于ARM的远程控制器体积小,携带方便。远程控制器和现场控制器之间除可以采用无线通讯方式传输代码,避免工人为传输加工代码频繁移动PC机,减轻工人的无效工作量。远程控制器和现场控制器可单独工作,增加加工灵活性,远程控制器可以显示加工过程,使加工更加直观,便于监控。采用51单片机控制步进电机,减少光耦隔离器,减少生产成本。
浙江大学 2021-04-13
一种金刚石-立方氮化硼万能型超硬刀具材料和刀具及其制备方法
本发明公开了一种金刚石-立方氮化硼万能型超硬刀具材料和刀具及其制备方法,其特点是以金刚石和立方氮化硼为原料,经预处理与成型后,将坯件装配烧结单元放入高温高压装置中,在压强为7-25GPa温度为1000-2700℃,烧结固溶强化10s~30min,获得晶粒大小均匀,晶界严密闭合,金刚石与立方氮化硼晶界之间硼、碳、氮原子形成高原子密度、三维网状、强共价键的致密结构金刚石-立方氮化硼万能型超硬刀具材料;再将万能型超硬刀具材料加工成等高的圆柱体,两端抛光平整之后加工成边长和厚度均为2~3mm的三角柱体,在真空度1x10-3Pa,温度800℃与钢质合金基底焊接,然后用激光加工成半径为0.4~0.8mm的刀尖圆弧的超硬合金刀具。
四川大学 2016-10-11
一种原位合成纳米金刚石增强铁镍基复合材料的方法及其所得材料和应用
本发明公开了一种原位合成纳米金刚石增强铁镍合金基复合材料的方法,所述复合材料由碳纳米管和铁镍合金粉末作为原材料所制成,制备工艺为放电等离子烧结技术。碳纳米管在铁镍合金粉末的催化和放电等离子烧结的直流脉冲电场作用下部分相变为纳米金刚石,转变比例为50?80%,碳纳米管和纳米金刚石在复合材料中起到纤维增强和颗粒强化的协同增强效果。相对于现有技术,协同增强的强韧化效果更加优异,本发明所得到的铁镍合金基复合材料具有比纯铁镍合金更高的硬度、强度和耐磨性能而且具有更低的热膨胀系数,可以广泛应用于精密仪器和高新技术领域。
东南大学 2021-04-11
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