大型复杂金属表面等离子体与脉冲放电复合抛光加工装置
本发明涉及一种大型复杂金属表面等离子体与脉冲放电复合抛 光加工装置,目的是解决常规金属表面精密加工和抛光方法的不足及 加工和抛光效率低、易产生加工应力和表层损伤等问题。该装置包括 射频电源、射频电源匹配器、高压直流脉冲电源、脉冲电源极性调节 装置、高压直流脉冲电源阻抗、等离子体炬、加工保护罩、控制电路 和联动机构;本发明是在大气压下对金属的表面的精密加工和抛光, 不需要真空室和特制的抛光液,可降低设备成本并扩大其使用范围。 加工效率是传统抛光方法的几倍,并且是无应力加工,无表面和亚表 层损伤、无表面污染,抛光工件的表面粗糙度可达到 Ra-0.2μm。
华中科技大学
2021-04-13