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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
一种(氟磺酰)(多氟烷氧基磺酰)亚胺的碱金属盐及其离子液体
本发明提供了一种制备(氟磺酰)(多氟烷氧基磺酰)亚胺碱金属 盐，以及由该亚胺碱金属盐与铵盐、磷盐、锍盐等，进行复分解反应 制备相应的离子液体的方法。本发明提供了一种基于不对称(氟磺 酰)(多氟烷氧基磺酰)亚胺阴离子的离子液体作为二次锂电池或者碳基 超级电容器的电解质材料，该电解质材料与 LiCoO2、LiFePO4、Li、 石墨、Li4Ti5O12 以及活性炭等电极材料具有良好的相容性。
华中科技大学
2021-04-14
适用于致密油储层的压裂排驱液及其制备方法
本发明涉及适用于致密油储层的压裂排驱液及其制备方法，该体系的动力学过程与压裂、排驱过程具有高度协同性，可为致密油储层大幅度提高采收率提供技术支持，属于油气田开发工程.
背景技术：我国致密油资源丰富，预计可采资源量约14～20亿吨，开采潜力巨大，鄂尔多斯长7和准噶尔吉木萨尔两大致密油区成功开发，预示着致密油将会成为我国原油供应的新生力量。但由于我国致密油孔隙度一般小于10％、渗透率一般小于0.1×10-3μm2，具有低孔低渗的典型特征。储集层喉道具有突出的微-纳米级孔喉系统特征，以鄂尔多斯盆地长7段致密油为例，储集层喉道半径主要分布于0.10～0.75μm。因此采用人工压裂措施，利用压裂液携砂在储层中形成人工缝网系统进行衰竭开采，由于基质致密难以将其中的原油驱至缝网，另外储层压力的降低，将导致缝网的闭合，阻塞油流。这是致密油衰竭开采产量递减快、采收率低、后续补充能量困难的主要原因，通常致密油的年产量递减>40％，甚至达到90％；致密油平均一次采收率仅为5％～10％。为了进一步提高致密油采收率，通过注入驱替流体，注气、注水等增产措施补充地层能量。注水可提高采收率，但注不进去，致密油储层岩石表面极性易形成水化膜，地层粘土矿物遇水膨胀，孔隙趋于闭合，导致注水压力迅速上升，注入量大幅度减小，地层能量未有效补充。注气的气源问题限制了其规模化应用。针对以上致密油开发手段遇到的难题，本发明创新地提出一种用于致密油储层兼具压裂和排驱双重作用的压驱体系及其使用方法，将压裂和增产两次措施缩减为一次措施即可大幅度提高致密油采收率。
中国地质大学（北京）
2021-02-01
一种酪蛋白凝胶颗粒乳化剂及其制备方法和用途
本发明公开了一种酪蛋白凝胶颗粒乳化剂及其制备方法和用途。本发明中的酪蛋白凝胶颗粒乳化剂是通过向含有酪蛋白或酪蛋白酸盐的溶液中添加京尼平进行交联制得的，交联条件为在体系pH值为6～10.5、温度为10～50℃的条件下交联10～60h。所得交联的蛋白凝胶颗粒表面含有大量的毛刷层结构，能够迅速地吸附到油水界面，可增加油水界面的机械强度，具有更高的乳化效果和乳化稳定性，同时交联的酪蛋白凝胶颗粒可在油水界面完整地存在，不会发生解离，具有较高的界面活性，空间位阻较大，能有效地防止液滴之间的聚集和聚并，可长期稳定水包油型乳状液类食品。
中国农业大学
2021-04-11
具有Aurora激酶抑制活性的嘧啶衍生物及其制备方法以及应用
恶性肿瘤是严重威胁人类生命健康的一类疾病。临床上肿瘤的治疗用药分为传统细胞毒类药物和新型 分子靶向药物，后者通常具有相对明确的靶点，抑制肿瘤细胞生长而减少对正常细胞的作用，对肿瘤的选 择性高，毒性小。自1998年科学家证实肿瘤的发生与Aurora激酶的过度表达有密切关系后，引发了学术界 和制药工业界将Aurora激酶作为抗肿瘤药物作用靶点的研究热潮。
中山大学
2021-04-10
一种席夫碱类多功能荧光探针及其制备方法和应用
本发明公开了一种席夫碱类多功能荧光探针及其制备方法和应用，其结构式如下：所述荧光探针在体积比为50:1～60:1的二甲基亚砜?水溶剂体系中，利用荧光光谱去分别检测识别Fe3+与Hg2+，其优点是：对Fe3+和Hg2+的识别都有良好的选择性，抗干扰能力强，具有较好的传感性质，检测限低，检测灵敏度高；该探针分子在溶液中具有较强的荧光，加入Fe3+之后，溶液颜色由黄色变成无色；加入Hg2+后，溶液颜色由黄色变成淡黄色；同时加入Fe3+和Hg2+后，溶液颜色由黄色变为浅黄色；可达到裸眼识别的效果；所述荧光探针可以很好的应用于环境污染或生物体内铁离子及汞离子的检测。
东南大学
2021-04-11
一种装配式抗爆防护板结构及其制备方法
本发明公开了一种装配式抗爆防护板结构及其制备方法，该防护板结构由多块装配式抗爆防护板单体组合而成，其中每一块装配式抗爆防护板单体包括作为内层的钢板（３）、作为中间层的超高性能混凝土层（２）和作为外层的泡沫铝层（１），所述钢板与超高性能混凝土层浇筑成整体，所述泡沫铝层与超高性能混凝土层通过结构胶粘结，所述钢板的背面焊有Ｕ形耗能钢片和装配挂钩。本发明利用泡沫铝对爆炸冲击波能量卓越的吸收能力，超高性能混凝土的高延性，以及钢板与其背面的Ｕ形耗能钢片的高韧性和变形耗能能力，达到保障重要承重构件的安全的目的。同时，本发明具有节约成本、质量可控和施工方便的优点。
东南大学
2021-04-11
一种超支化聚三唑甲酸酯及其制备方法和应用
本发明公开了一种超支化聚三唑甲酸酯及其制备方法和应用。超支化聚三唑甲酸酯的制备方法为：先合成了含有四苯基乙烯单元的二元叠氮化合物；然后以三元醇和丙炔酸为原料合成了含炔基的三元酯类化合物；最后利用叠氮化合物与含炔基的酯类化合物在极性溶剂中加热条件下进行无金属催化的“点击”聚合反应高产率地得到目标聚合物。本发明制备的超支化聚三唑甲酸酯具有较高的1，4-立构规整性，良好的可加工性，较高的热稳定性，可降解性，可光照图案化和聚集诱导发光性能，本发明还公开了该超支化聚三唑甲酸酯在多硝基芳烃类爆炸物的检测中的应用。
浙江大学
2021-04-11
一种倍半萜衍生物的晶型及其制备方法与用途
本发明提供了一种倍半萜衍生物的晶型及其制备方法与用途，晶型A的X‑ray粉末衍射图谱中，2θ衍射角在6.840±0.2、9.390±0.2、15.980±0.2、16.830±0.2、17.780±0.2、18.760±0.2、19.340±0.2、20.400±0.2、21.910±0.2、23.280±0.2、25.520±0.2、26.680±0.2、27.490±0.2、32.110±0.2、32.300±0.2、37.980±0.2、44.230±0.2的位置对应有特征衍射峰。本发明所述的晶型A结晶度高、基本上具有不吸湿性；显示出更有利的溶解动力学。
南开大学
2021-04-10
一种酸性介质燃料电池双极板防护涂层及其制备方法
（专利号：ZL 201510210077.6） 简介：本发明公开了一种酸性介质燃料电池双极板防护涂层及其制备方法，属于材料表面处理技术领域。该涂层为纳米复合多层结构，由下至上依次包括沉积在双极板基本表面的纯Cr界面过渡层、AlTiN中间层以及AlTiSiN工作层；涂层内部组织主要包括大量的非晶相组织及少量的AlN相、TiN相、AlTiN相组织，其中：涂层非晶相组织的体积比为60～75％。该涂层具有非常高的膜‑基结合强度，同时具有非常优良的抗酸性介质的腐蚀性能以及比较低的接触电阻，有效改善了燃料电池双极板的腐蚀状况以及导电性能，从而有助于燃料电池更广阔的市场化发展。
安徽工业大学
2021-04-11