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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
高电阻率金属氧化物材料表面电镀技术
电镀作为金属材料的表面改性技术已经取得了很广泛的应用,近年来电镀也开始在非金属导电材料的表面改性领域取得相当规模的工业应用。但高电阻率氧化物材料表面金属镀覆一直以来不能采用电镀工艺,这是因为这类材料的电子电导小,电镀液中被镀金属离子不能从材料表面得到电子,所以不能沉积下来。传统的绝缘氧化物材料表面镀覆金属的方法有化学镀、真空蒸镀、溅射镀、涂覆金属浆料后再烧结等方法,各方法都有各自的优缺点。如含有氨水的化学镀银溶液不稳定,甚至有可能生成有爆炸危险的叠氮化合物。真空蒸镀和溅射镀有设备投资大、维护费用较高等缺点,涂覆金属浆料后再烧结的方法有金属层厚度不均匀等缺点。 我们发明了一种高电阻率金属氧化物材料表面电镀的技术,解决了多种高电阻率金属氧化物材料表面不能电镀的问题。高电阻率金属氧化物材料电镀的基本过程是首先对氧化物材料表面进行原子氢致电导改性处理,提高其表面电子电导,使材料表面出现半导化甚至金属化,然后在氧化物材料表面直接电镀金属层。我们在这个方向上已经进行了近十年的研究,发表了十几篇学术论文,申请了两项发明专利。      本技术适用于由氧化物功能材料制造的电子元器件表面电镀,也适用于氧化物材料颗粒或块体的电镀等,所得金属镀层厚度均匀,与氧化物材料表面具有良好的结合力。
北京科技大学 2021-04-11
高强韧金属结构材料的外物理场改性技术
提高金属结构材料的强度和韧性对拓展材料的应用领域具有重要意义,特别对于颗粒增强铝基复合材料,其具有高的比强度、比刚度、耐磨、耐疲劳、低热膨胀性、低密度、高微屈服强度、良好的尺寸稳定性和导热性等优异的力学性能和物理性能,在航空航天和轨道交通领域有广泛应用前景,是新型结构材料中的新生中坚力量。本项目在掌握了颗粒相设计、复合材料熔体制备、铸造、挤压和热处理工艺的前提下,以低温场和电磁场为加工途径,通过调控低温处理时的降温速度、处理时间、处理温度和循环次数,调控电磁场强度、磁场作用时间等参数,对固溶时效态的
江苏大学 2021-04-14
石墨烯增强金属基复合材料制备及性能研究
石墨烯增强金属基复合材料制备及性能研究
上海理工大学 2021-01-12
高强度耐蚀双金属复合材料及其产品
高强度耐蚀双金属复合材料属于新型结构性复合材料,由碳钢(或低合金高强钢)+冶金层+耐蚀合金层三部分组成,通过界面预合金化、液相扩散和固相扩散等7个主要技术工艺步骤,最终实现复合材料的冶金结合成型。 目前在该高强度耐蚀双金属复合材料研发的基础上,已经进一步研发出高强度耐蚀复合管、高强度耐蚀复合螺纹钢、高强度耐蚀复合螺栓以及高强度耐蚀钛铝复合板等四大技术系列产品。在技术性能指标方面,复合螺纹钢强度等级达到HRB500标准等级,复合螺栓强度等级≥8.8级,耐盐雾腐蚀试验≥336h。在应用领域方面,复合管主要应用于石油、化工和电力等领域,复合螺纹钢主要应用于海洋建筑、地铁和地下工程、化工和电力建筑等领域,复合螺栓主要应用于海洋装备、化工、交通和电力工程结构的紧固件。
南京工业大学 2021-01-12
一种经疏水性处理的高效泡沫金属蒸汽冷凝器
本发明公开了一种经疏水性处理的高效泡沫金属蒸汽冷凝器,包括内管、外管,外层泡沫金属和内层泡沫金属;所述内管供蒸汽流通,外管供冷却液流通,内管内壁填充有两层通孔泡沫金属结构,近内管内壁的所述外层泡沫金属,使用正十二硫醇分子基团自组装技术、或表面氧化和化学修饰相结合的方法实现疏水表面改性,所述外层泡沫金属孔隙当量直径与内层泡沫金属孔隙当量直径比值为:1.2?1.6,所述外层泡沫金属层上设置有螺旋输水槽道或直线输水槽道。本发明活性流动的冷凝液粘性底层能够将近内壁面的不凝性气体快速排出,大大减小了近壁面传热
东南大学 2021-04-14
处理重金属工业污水的高效经济的新型电化学设备
近些年来,在我国经济高速发展的同时,环境污染问题也日益严重。涉及众多工业领域(如矿冶、机械制造、化工、电子、电镀、仪表等)的重金属废水(如含氟、氰、铬、汞等废水)是对环境污染最严重和对人类危害最大的工业废水。但由于不同的工业产生的重金属污染源多种多样,重金属废水的体系十分复杂,很难找到一种适用于所有重金属废水体系的处理方法;另外,目前最常用的重金属废水的化学处理法由于需要再次添加化学药剂(如混/絮凝剂、重金属沉淀剂(如钙盐、钡盐等)),不仅使处理成本大幅提高,同时存在对环境二次再污染的可能以及产生的含重金属污泥难以处理等诸多问题,因此,经济、高效且可持续的重金属废水的处理方法一直是我国这些年的研究热点。 和传统的化学处理法相比,应用电化学方法治理工业废水,具有无需添加氧化剂、絮凝剂等化学药品、设备体积小、占地面积小、操作简单灵活、排污量小等优点,不仅可用于处理无机污染物,也可用于处理有机污染物,特别是一些无法用生物降解的有毒有机物。另外,用电还原法处理一些重金属时还可回收废水中的金属。因此电化学方法越来越多的被用于重金属废水的处理中。用于重金属废水处理的电化学方法包括电解法(氧化或还原)、电气俘法、电凝聚法和电渗析法等。基本原理是在外电压的作用下,利用可溶性阳极(通常为铁或铝阳极)产生的阳离子在溶液中水解、聚合生成一系列既具有絮凝作用、又能有效吸附水中的有机污染物及其他胶体物质的聚合物。另外,在外加电压下,另一边的阴极(如铝阴极)可同时产生气体(如氢气、氧气、氯气等),气体的微小气泡又可起到气浮或杀菌的作用(如图1所示),更加提高废水的处理效果。
西安交通大学 2021-04-11
新型水和废水处理用混凝剂与吸附材料
新型水和废水处理用混凝剂与吸附材料是针对我国水和废水处理的需求而 研发出的系列具有自主知识产权的新型、高效、经济的水处理产品,产品包括: 无机复合混凝剂、阳离子型有机高分子絮凝剂、无机-有机复合高分子絮凝剂等 三大系列新型混凝剂,阳离子聚合物改性膨润土、改性农作物秸秆阴离子等两 类新型吸附剂。所开发的上述产品制备方法先进,工艺简单易行,安全高效, 推广应用前景广阔,其成果达到国际领先或先进水平,获得 2013 年度山东省科 技进步一等奖。 研发出的上述产品已在给水处理、污水处理、工业废水处理中得到了应用, 取得了显著的经济效益、社会效益和环境效益。
山东大学 2021-04-13
抗金属NFC天线用磁性基板材料及产业化
主要功能:解决NFC(Near Field Communication)天线在金属环境下的失效问题 应用领域:配备NFC功能的智能终端及相关设备,如:智能手机及穿戴产品、智能家居及智能汽车等待 特色与先进性: ? 采用缓冲均化技术,实现了磁性基板用铁氧体粉料的稳定批量生产,性能偏差控制在±1%以内; ? 首次采用全相溶水性体系流延法制备NFC天线用铁氧体磁性系列基板材料,并厚度在0.06mm至0.3mm范围内可调,流坯体成型速度可大于12.7mm/s; ? 形成了NFC天线模组抗金属特性从性能仿真到参数评估的一整套参数仿真、评估模型; ? 形成了一系列自主知识产权,本项目目前为止共申请专利13项。在行业内形成了较强的影响力,并在行业内起到了带动作用; 性能指标达到世界先进水平,具体如下: ? 研制的NFC天线用铁氧体磁性基板材料其磁导率实部(μ′)大于175@13.56MHz,磁导率虚部(μ″)小于3.5@13.56MHz; ? 批生产制备的NFC天线用铁氧体磁性系列基板材料其性能指标达到磁导率实部(μ′)大于150@13.56MHz,磁导率虚部(μ″)小于2.5@13.56MHz。 能为产业解决的关键问题和实施后可取得的效果 自该项目立项之初,铁氧体型NFC天线基板材料长期被日韩企业所垄断,致使铁氧体型NFC天线基板材料在国内的销售价格一度高达3000元人民币/平米。此成果在于打破国外垄断,解决国内该材料空白的窘境,为NFC技术在国内的推广起到技术与价格的双重保障; 2013年被业界定位为NFC元年,ABI同时预测:至2017年具有NFC(近场通信)功能的设备年出货量将接近20亿部,其中主要为智能手机及其他消费类电子产品。 并随着物联网及智能家居及智能汽车的概念兴起,NFC标签作为物联网设备身份识别信息,需求量将大幅增加。NFC技术已经被视为智能家居及智能汽车各连接设备的接入方式,如果在不久的将来,智能家居及智能汽车进入家庭,则对NFC模块及其配件需求量将大幅增加,NFC天线基板材料的需求量也将随之增加。 综上,NFC技术正处在快速的推广期,NFC技术的应用将逐步在人们的日常生活中体现。NFC天线基板材料预期将有广阔的应用及市场空间。
电子科技大学 2021-04-10
非晶合金,高熵合金,高性能钢铁材料和多孔金属
在 Nature,Science,Physical Review Letters,Advanced Materials 等学术刊物上发表论文 200 余篇,申请中国发明专利 65 件,授权发明专利 22 件。2010 年相关块体非晶复合材料韧化的工作被 Nature-Asia Materials 做专题评述,多项其它工作还被 Science,Materials Today,Nature 等学术杂志做专题评述以及其它世界各国媒体报道。在新一代超高强钢和先进耐热钢研究上取得了国际水平的研究成果,其中关于超高强钢的成果被国际权威给予很高的评价,同时被科技部评为“2017 年度中国科学十大进展”并在央视新闻联播报道。 超高强钢; 先进高熵合金; 块体非晶合金; 非晶纳米晶软磁合金; 非晶态耐磨耐蚀合金; 非晶与高熵合金钎焊材料; 高熵合金生物材料; 高强耐蚀镁合金。
北京科技大学 2021-02-01
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