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用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法
一种用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法
一、项目分类
显著效益成果转化
二、成果简介
现有物理气相沉积（PVD）制备多元薄膜材料采用合金靶材作为靶源，生产过程中，薄膜成分的调控范围受安装的合金靶材的成分比例的限制。如果预期获得纳微复杂结构的复合薄膜，按照常规技术路线需要上百块成分连续变化的合金靶材，这显然是无法实现的。同时，采用合金靶材制备某些多元薄膜时，需要特高纯度的或极端成分比例的靶材作为靶源，这类特殊靶材以现有技术难以制造。
为此，本发明研发出一种用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法，利用本发明技术有助于新材料的研发和促进半导体器件、切削刀具涂层等高新技术的发展。
武汉理工大学
2022-08-12
一种防腐耐磨铁基非晶薄膜及其制备方法
本发明公开了一种防腐耐磨铁基非晶薄膜及其制备方法，其包 括的成分及该成分的原子百分比含量分别为：14.0～22.0at.％Cr，6.0～ 16.0at.％Mo，4.0～7.0at.％B，4.0～20.0at.％C，0.0～3.0at.％W 以及余 量的 Fe。其制备方法包含 S1 制备单一合金靶材；S2 选择衬底材料， 将衬底表面进行平整化，然后清洗并吹干待用；S3 进行磁控溅射，其 中，背景真空度值不高于 5x10<sup
华中科技大学
2021-04-14
一种多层薄膜微结构自对准制备方法及装置
本发明公开一种多层薄膜微结构自对准制备方法，通过分隔板 将喷头内腔体纵向分为至少两个腔室，在各腔室内注入不相溶的高分 子溶液，并汇聚于喷头的喷嘴处；施加高压静电场，同时驱使接收板 做平面直线运动，在高压静电场作用下喷嘴处的溶液变形成泰勒锥， 从泰勒锥尖端拉出射流，射流中的多种高分子材料先后沿着接收板运 动的方向进行静电纺丝，形成多层薄膜微结构。本发明还公开一种实 现上述方法的装置，分隔板纵向设于喷嘴内，将喷嘴内腔体分隔为至 少左右两个腔室；在喷嘴端部设有端部盖板，端部盖板与喷嘴端部之 间设有密封片；
华中科技大学
2021-04-14
一种有机-无机复合电致变色薄膜及其制备方法
本发明公开了一种有机-无机复合电致变色薄膜及其制备方法。该薄膜为聚苯胺与三氧化钨的复合薄膜，其中含有5～80％质量分数的三氧化钨，薄膜厚度为50～300nm，表面具有纳米棒阵列形貌。该制备方法包括：将表面经羟基化处理的ITO玻璃或者ITO/PET基底垂直竖立并固定于反应容器中，将过氧化钨酸溶液与苯胺溶液的混合溶液倒入其中并搅拌；再加入过硫酸铵溶液，搅拌下进行反应；反应完成后，取出沉积有薄膜的基底并冲洗、干燥而得。本发明制备方法实现了聚苯胺/氧化物在分子层次复合，工艺简单，成分可方便控制，成本较低，易于实现工业化。制得的薄膜光谱调节范围大、颜色丰富、响应速度快、循环寿命长，应用范围广泛。
浙江大学
2021-04-13
一种双波段薄膜光探测器及其制备方法
本发明属于微纳制造与光电子器件领域，并公开了一种双波段 薄膜光探测器，包括基底薄片、第一电极层、第一 WSe2 层、石墨烯 层、第一 MoS2 层、第二电极层、介质层、第二 WSe2 层、第三电极 层、第二 MoS2 层和第四电极层,第一电极层设置在基底薄片上;第一 WSe2 层铺设在基底薄片和第一电极层上;石墨烯层设置在第一 WSe2 层上;
华中科技大学
2021-04-14
一种白光LED用含氮硅酸盐黄绿色发光材料及其制备
本发明涉及一种新型二价铕掺杂的含氮硅酸盐固溶体基发光材料及其自还原制备方法。这种发光材料的化学组成可表示为：Ca3Si3(O9-xNx):Eu2+。制备方法采用两步法，（1）溶胶凝胶法制备Ca2SiO4:Eu3+产物。（2）Ca2SiO4:Eu3+和氮化硅混合物在非还原气氛下焙烧，利用Si3N4的自还原作用获得最终产物。所用原料是硝酸钙（CaN2O6·4H2O）、硝酸铕（EuN3O9·6H2O）、正硅酸乙酯（C8H20O4Si）和Si3N4。本发光材料在近紫外到蓝光有宽带(300~450nm)吸收，发射出黄绿色光（534~544nm）。所得产物发光强度高，性能稳定。制备过程仅需在氮气保护气氛下就能完成，无需还原气氛和其它还原手段，制备方法简单，安全。
四川大学
2021-04-11
可拆卸多功能收纳装置
本实用新型涉及一种可拆卸多功能收纳装置,由安装装置和可拆卸收纳袋组成,安装装置包括柱身,挂钩,柱身上面设有挂钩,柱身外圆上均布有六条凹槽;每条凹槽内部两端分别设有弧形圆杆,可拆卸收纳袋包括收纳袋,可拆卸直杆,收纳袋一面设有若干个杆套,并套于直杆上固定收纳袋;可拆卸直杆两端分别设有上,下卡口,可拆卸收纳袋与安装装置通过柱身上的凹槽及弧形圆杆和可拆卸直杆及上,下卡口可拆卸连接.本实用新型的安装装置和可拆卸收纳袋,两者相互配合使用.柱身凹槽中可拆卸直杆,杆套可脱卸收纳袋,使收纳装置可根据需要调节其大小,整体可悬挂并360°转动,操作简洁,节省空间,方便取物.
上海理工大学
2021-05-04
多功能数据采集器
数据采集（DAQ），是指从传感器和其它待测设备等模拟和数字被测单元中自动采集非电量或者电量信号，送到上位机中进行分析、处理。数据采集器是结合基于计算机或者其他专用测试平台的测量软硬件产品来实现灵活的、用户自定义的测量系统。本项目所设计的多功能数据采集器具有8路24bit的A/D转换接口、2路SPI总线、1路I2C总线和6路GPIO，能适应于高精度数据采集的需要。提供多种通信接口，包括CAN、USB、RS232和TCP/IP等，保证其与上位机和其他各种工业、商业设备的实时通信。主控芯片采用ADI公司的Blackfin系列DSP处理器进行数据接收和预处理，保证了数据的准确性、实时性和系统的可靠性。为了方便用户进行二次开发，该数据采集器提供了+12V、+5V、+3.3V等多种电源接口，结合所提供的8路A/D转换接口、2路SPI总线、1路I2C总线和6路GPIO，用户可以方便地外挂各种传感器模块。基于丰富的通讯接口，用户亦容易开发上位机应用软件或控制装置，进而达到快速设计出自己的产品的目的。已申请国家发明专利?项：《一种基于CAN总线的在线故障检测系统》 公开号：10145852
华东理工大学
2021-04-11
多功能锯齿修磨机
本锯齿修磨机主要用于冶金厂的冷、热型钢锯机锯片的修磨，是根据本单位多年的研究工作的理论和实践，应用自有专利技术并吸收了日本、德国等国外修磨机的优点研制而成。 型钢锯片锯齿修磨机包含了主传动系统、四速分度系统、锯片大小调节系统、锯齿角度调节系统、锯片厚度调节系统、润滑系统、除尘系统和外挂控制箱等八部分组成。控制和电器元件全部采用进口器件，稳定可靠，寿命长；机械机构设计精巧、制造精良，整机工作平稳、加工和调节精度高。本机具有适应范围大、功能强、技术先进、工艺完善、运行可靠和维护便利等特点。
北京科技大学
2021-04-11
多功能射流清管器
本发明涉及一种输油管道清管器，尤其是一种多功能射流清管器，其包括同轴线安装的推进装置、检测装置与射流除垢装置，所述推进装置的主体为推进腔，包括大口径的输入腔、口径逐渐变小的锥状腔以及小口径的输出腔，所述检测装置包括流体腔和由无损检测探头、位移传感器和数据存储器组成的检测模块构成，所述射流除垢装置包括呈喇叭状的射流腔体与射流喷嘴。本发明利用高压射流除垢原理，除垢效率高，同时可进行除垢效果检测和管壁缺陷检测，使得管道清洗作业与检测作业合二为一，作业效率高。
浙江大学
2021-04-11