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半导体光刻胶成膜树脂制备技术
1.痛点问题 光刻胶作为集成电路制备中不可或缺的一部分,已成为国家的战略资源之一。半导体光刻胶的核心在于成膜树脂,受限于研发难度大、专利壁垒高、资金投入多、准入门槛高,目前国内企业尚难以突破KrF胶(248nm)或ArF胶(193nm),而EUV胶完全不能自主供给。 2.解决方案 本项技术采用了国际最前沿的纳米氧化物团簇材料的工艺路线,可以实现单2nm小分子的光刻胶成膜树脂材料,攻克了材料合成和纳米材料提纯的难题,可满足目前半导体3nm制程节点的技术要求,RLS分辨率、边缘粗糙度、灵敏度三项关键性能指标优异,其曝光剂量远低于Intel公司提出的20mJ/cm2的成本线。此外,本项技术具有多种半导体光刻胶兼容性,可以生产248nm和193nm光源的半导体光刻胶成膜树脂,以及电子束半导体掩膜用光刻胶成膜树脂,具有广阔的技术替代优势和市场应用前景。 3.合作需求 本项技术已设立衍生企业,位于江苏常州的3000m2研发生产中心正在建设中。 1)融资需求:本轮天使轮融资6000万元。 2)资源对接需求:集成电路芯片制造、掩膜板生产企业,地方政府等。
清华大学 2022-07-12
均匀土壤中矩形地网接地导体布置方法
本成果为授权发明专利(201010238818.9)。该发明公开了一种均匀土壤中矩形地网接地导体不同间距布置方法,该方法主要是根据地网设计所需的地网网孔数确定接地网均压导体优化后的导体位置。该方法可以快速准确的计算接触电压分布、跨步电压分布优化后矩形地网中任意根数接地导体的位置。该方法不仅计算方便,且适用范围广。该专利对于接地系统的优化设计具有国际先进水平,自主可控,填补了矩形地网中接地导体非等间距布置方法的空白,在保证地网安全性能的同时节约金属材料,有着有广阔的应用领域。
西南交通大学 2016-06-27
半导体集成电路生产工艺监测设备
CSM4A系列多功能C-V测试系统,经国家“七五”、“八五”两届重点科技攻关,已在我校研制成功,并被多个半导体集成电路生产厂家和研究所使用。该项目由陈光遂教授主持完成。原电子工业部鉴定认为:该C-V测试系统具备八项测试功能,数据可靠,实用性强,人机界面良好。总体水平已达到九十年代国际先进水平,并有独创性,可以替代进口设备。主要测试功能有:MOS高频CV,M
西安交通大学 2021-01-12
酰亚胺基有机半导体领域取得重要进展
NDI聚合物现已经成为最成功的N-型高分子半导体,取得了极其优异的晶体管性能并保持着多项全聚合物电池的效率记录。郭旭岗同时深入研究了酰亚胺单体家族的另外一个重要成员:双噻吩酰亚胺(Bithiophene imide, BTI),并构建了一系列基于BTI的聚合物半导体(J. Am. Chem. Soc. 2011,133,1405;J. Am. Chem. Soc. 2012,134, 18427;Adv. Mater. 2012,24, 2242; Nature Photonics 2013,7,825;J. Am. Chem. Soc. 2014,136,16345;J. Am. Chem. Soc. 2015,137,12565)。与NDI和PDI相比,BTI具有更高的化学活性和大幅度减小的位阻,从而提供了一个前所未有的机会对其结构进行拓展优化。在前期工作中,郭旭岗团队利用稠环策略成功合成了一系列(半)梯型有机半导体,并在晶体管和全聚合物电池中取得了可比于NDI和PDI聚合物的器件性能(Angew. Chem. Int. Ed. 2017, 56, 9924; Angew. Chem. Int. Ed. 2017, 56, 15304; J. Am. Chem. Soc. 2018,140,6095.)。但是,噻吩相对于苯环更富有电子,在一定程度上减弱了半导体的电子亲和力。因此通过拉电子基团功能化BTI不仅会产生更强的电子受体单体,同时还能解决NDI和PDI结构上的缺陷。基于此,郭旭岗团队克服了合成上的挑战,成功制备出新颖的氟取代的酰亚胺及其聚合物半导体。理论计算表明,相对于没有氟的单体f-BTI2,氟取代的单体f-FBTI2表现出更低的能级,有助于提升聚合物的N-型性能。 相比于f-BTI2-T和之前报道的s-BTI2-FT和f-BTI2-FT的全聚合物电池,以f-FBTI2-F为电子受体材料的电池实现了性能的巨大提升,能量转化效率达到8.1%(图2),同时实现了高达1.05V的开路电压值和低至0.53eV的能量损失。与NDI和PDI有着不同的结构和电子特性的新型受体单体f-FBTI2的出现将衍生出更多高性能N-型聚合物,为发展高效的全聚合物电池提供了全新的材料体系。
南方科技大学 2021-04-13
节能环保颗粒氧化铅移动床深度氧化快速冷却
该技术以油代电、在移动床中实现深度氧化和快速冷却,设备密闭,过程连续,是生产颗粒氧化铅的国际首创全新技术。东南大学在实验室研究、数学模型研究的基础上,与江苏天鹏化工集团有限公司合作,开发出颗粒氧化铅移动床深度氧化煅烧和快速冷却新技术,设计了两套年产各为1500吨的生产装置,经过调试,各项技术指标均达到设计要求。在此基础上,经过工业试验和审慎的放大设计,2000年两套年产各为15000吨的放大装置相继投入生产。
东南大学 2021-04-10
高氧化度的天然高分子多糖的氧化方法
本发明公开了一种高氧化度的天然高分子多糖的氧化方法,以还原性多糖为原料在氧化剂的作用下制取水凝胶,采用如下的工艺条件:以高碘酸钠作为氧化剂,以至少一种以下物质:盐酸、硫酸、磷酸、醋酸、甲酸、柠檬酸、具有Lewis酸性质的绿色溶剂离子液为催化剂;调节体系的pH在酸性范围在室温下避光反应4小时,经后处理得到不同氧化度的天然高分子多糖高强度水凝胶。本发明方法获得的产品具有氧化度高,与其它反应物之间的交联更加容易,形成的化学键更加牢固的优点,能形成高强度水凝胶,并且凝胶的降解速率可以得到控制,适合用于制备骨组织功能材料。
西南交通大学 2016-07-05
浙江博蓝特半导体科技股份有限公司研发第三代半导体材料
浙江博蓝特半导体科技股份有限公司致力于以碳化硅为主的第三代半导体材料研究项目,围绕碳化硅晶体生长技术及碳化硅衬底加工技术进行研发及产业化。公司优势:国家高新技术企业,拥有省级企业研究院、省级高新技术研发中心、省级企业技术中心、院士工作站等研发平台,并与浙江师范大学、湖南大学、中科院宁波材料所分别建立联合实验室,致力于第三代半导体材料的研发及产业化。点击上方按钮联系科转云平台进行沟通对接!
中国科学院大学 2021-04-10
一种含铜的耐热镁锡合金及其制备方法
本发明涉及一种含铜的耐热镁锡合金及其制备方法,该耐热合金的组分由镁、锡、铜、锰四种元素或镁、锡、铜、锰和铝五种元素组成;各组分的质量百分比为:锡:6~8%、铜:1.8~2.5%、锰:0.5~1%、铝:0~2.5%,其余为镁。该合金制备方法包括熔炼、均匀化及固溶热处理、时效热处理三个步骤。本发明合金组织由晶界连续分布的高熔点金属间化合物和晶内均匀弥散析出的沉淀相组成,合金成分不含稀土元素和贵金属元素,且熔炼工艺简单。本发明合金晶界硬度可达140HV以上;在200℃下时效峰值时晶内基体硬度可达到78HV,时效700小时硬度仍保持在75HV左右,高温组织稳定,耐蠕变性能好,具备商用潜力。
四川大学 2021-04-11
用于低温磁制冷的稀土-铜-铝纳米颗粒及其制备方法
(专利号:ZL 201310128781.8) 简介:本发明提供一种用于低温磁制冷的稀土-铜-铝纳米颗粒及其制备方法,属于磁性纳米材料领域。该稀土-铜-铝纳米颗粒为以下通式的化合物:RCuAl,其中R为Y、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu,所述稀土-铜-铝纳米颗粒,不具有核壳结构,且粒径为10~40nm。本发明采用等离子电弧放电法,将稀土粉、铜粉和铝粉压制成块体作为等离子电弧炉的阳极材料,采用钨金属或铌金属作为等离子电弧炉的
安徽工业大学 2021-01-12
处理含铜重金属废水的黄豆粕吸附剂
基于以废治废的环保理念,利用农业废弃物黄豆粕(大豆炼油后的副产品)制备廉价高效的改性   黄豆粕吸附剂,用于去除废水中的重金属铜,去除率高达   95.68%。改性黄豆粕吸附剂的开发,第一符合循环经济的理念,实现了黄豆粕的资源化利用;第二解决了环境污染问题,变废为宝,达到以废(废 弃物) 治废(废水)的效果。
北京工业大学 2021-04-13
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