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高端半导体光掩膜版量产关键技术
光掩膜版(又称光罩,掩膜版,英文 Photo-mask )是芯片制作中实现设计图形转移的载体,是决定其微细结构和线宽精度的核心材料和工具。 目前中国半导体掩膜版的国产化率10%左右,90%需要进口,高端掩膜版国产化率3%,miniLED和microLED产业升级也需要更多高端掩膜版。随着中国市场需求的持续提升,掩膜版产能严重不足。并且中国半导体掩膜版的产业起步较晚,技术滞后,核心技术和装备基本让国外公司垄断,特别是在设备、材料领域众多技术处于“卡脖子”状态,例如掩膜版制造的核心装备光刻机、检测机、测量机、修复机和贴膜机等都依赖进口,严重制约中国半导体产业的发展。华中科技大学徐智谋教授团队致力于全套高端半导体光掩膜版的关键核心技术研发与量产,为“卡脖子”技术研究而努力。 具有建立180 nm技术节点半导体掩膜版量产线相关核心技术;具备130 nm至28 nm半导体掩膜版研发、设计及验证能力。主要研究成果如下: 1) 工艺突破 团队掌握了掩膜版MEMS微纳加工量产核心技术,如电子束光刻、激光光刻和纳米压印光刻等MEMS微纳加工工艺的各类技术参数的搭配和优化,以及大数据量软件快速处理、补偿等。 2) 装备国产化 A. 超高精度二维测量装备 尺寸测量是验证掩膜版技术指标的核心,主要包括关键尺寸测量(CD)和长尺寸测量(TP)。团队已掌握掩膜版的关键测量技术,达到国内先进水平,具有整套设备的整机制造能力。 TP测量是掩膜版制作的核心指标,直接影响到客户的套合精度,该测量设备一直由国外极少数厂商垄断,且价格昂贵,一般在1000万美元以上,高端限制对中国出口。团队目前正在攻克该项技术,已取得阶段性成果。 B. 缺陷修复装备 掩膜版修补技术是提升良品率的关键手段,该技术一直为国外垄断。团队已熟练掌握UV、DUV激光化学沉积技术及皮秒飞秒激光金属处理技术,具备整机制造能力,可降低设备采购成本70%以上。 C. Pellicle自动贴膜装备 随着产品精度的提升和应用领域的高端化,掩膜版贴膜是个不可缺少的重要环节。在IC制造领域100%掩膜版需贴Pellicle,在IC封装领域90%以上需贴膜,在LED领域80%以上需贴膜。该贴膜设备一直国外公司垄断,国内厂家没有提供,国外采购全自动贴膜设备需100万美元左右。团队具备研发制造该设备的能力,贴膜精度±0.1mm,且有设备正式在产线运营,制造成本可节约90%以上。 3) 厂房建设关键技术 团队对MEMS及其掩膜工厂工艺设备厂务设计有丰富经验,掌握高等级防微震厂房结构和设备平台的设计施工,可达到VC-D级技术标准,满足纳米级生产技术要求。 【技术优势】 (1)掌握了高性价比掩膜版量产的关键核心技术,包括部分装备的国产化,解决“卡脖子”技术难题,量产线建设成本节约30%以上; (2)具备28 nm及以下技术节点掩膜版设计开发能力和验证平台,验证周期可缩短3倍; (3)拥有一支20多年以上掩膜版量产、研发和销售经验的队伍,成熟的企业管理经验,保证企业稳步成长,确保投资风险可控。 【合作方式】 股权投资合作共建或政府孵化+中试线。
华中科技大学 2023-03-29
高性能聚合物共混物
1)  高效的界面大分子反应增容技术 特点:环保,工艺过程简单,适用体系广泛(PC/ABS,PA/PE,PC/PBT等体系),增容体系刚韧平衡 2)  形态控制技术 特点:大幅提高材料刚性与韧性,工艺过程简单,适用体系广泛(PC/ABS,PA/PE,PC/PBT等体系)
四川大学 2021-04-14
清洁氧化催化剂
南京工程学院 2021-04-13
氧化还原传感器
产品详细介绍 量程:-2000mv~+2000mv,分辨率:1mv,精度:1%FS 数据传输端口为智能HDMI接口,支持与采集器的有线通讯和无线通讯。
江苏艾迪生教育发展有限公司 2021-08-23
氧化铈抛光液
El系列玻璃抛光液是一种优质稳定的抛光耗材,磨料主要采用优质的进口抛光粉为原料,采用严格的湿法微滤膜设备控制粒径,配以自主开发的化学增强抛光助剂,统筹抛光液流变性能,显示出高速的抛光效率、优质的抛光表面(表面精度高,微划伤低)。  特点:  1、抛光后的表面质量好。  2、能适用于各种加工方式。  3、可用于众多零件材料的抛光。  4、高效率,低粘度、易清洗。  5、悬浮性好。  6、使用寿命长。  技术参数:  色泽:浅棕红色  平均粒度: 0.4—0.5μm  PH 值: 8.5-9.5  用途:  1、军事领域的精密光学元件。  2、激光电子的元器件。  3、科学仪器上的各种零件。  4、照相机、投影仪和各种望远镜。  5、液晶显示屏表面及光盘。  6、其它精密光学元件。  建议抛光浓度:  该抛光剂是浓度为400克/升的浓缩液,建议在使用时先将该抛光液充分摇晃混合均匀,再按比例进行稀释使用,最终的稀释浓度可根据需要而定。  抛光垫材料:  适用于各种抛光模材料,如聚胺脂抛光片、黑色抛光垫片、沥青、毛毡、合成革等。  包装:20kg/桶
山东麦丰新材料科技股份有限公司 2021-09-01
氧化三甲胺
氧化三甲胺 化学名称:二水合氧化三甲胺 英 文 名:Trimetlylamine oxide, dihydrate 简 称:TMAO CAS 号:62637-93-8 分子式:C3H13NO3 分子量:111.14 理化性质 性状:类白色晶状粉末 熔点:93--95℃ 易溶于水(45.4g/100ml)、甲醇,微溶于乙醇,不溶于乙醚、苯。 其水溶液呈强碱性,与酸形成结晶盐。 二水合氧化三甲胺易潮解,所以要放置在干燥的环境中进行密闭储存。 自然界的存在形式 氧化三甲胺在自然界中广泛存在,是水产品体内自然存在的内源性物质,也是水产品区别于其他动物的特征物质。 和DMPT主要存在于海产品的特征不同,氧化三甲胺不仅存在于海产品中,也存在于淡水鱼类体内,海鱼肌肉中的TMAO含量比淡水鱼要高。 产品用途 氧化三甲胺作为一种天然、安全的饲料添加剂,在畜牧业中具有广泛的发展前景。 主要功能有: 1、促进肌肉细胞的增殖来促进肌肉组织的生长 2、增加胆汁体积,减少脂肪沉积 3、参与水生动物渗透压调节 4、稳定蛋白质结构 5、提高饲料转化率 6、提高瘦肉率(通过降低酮体脂肪含量) 7、特殊的鲜味和爽口的甜味,有诱食作用 用法过量: 对虾、海水鱼、鳗鱼、甲鱼,添加1-2kg/吨全价配合饲料 青虾、淡水鱼:1-1.5kg/吨全价配合饲料 使用时的注意事项 对抗氧化成分的影响 氧化三甲胺具有弱的氧化性,在饲料的配合过程中应避免直接与具有还原性的添加剂接触。可能会消耗配方中一定的抗氧化剂的量,配方师对此应予注意。 对铁元素吸收的影响 国外专利报道,氧化三甲胺可减少肠道对铁的吸收率(减少70%以上),因此,饲料配方中采用氧化三甲胺时,应注意配方中铁元素的平衡问题。 【含   量】98.0%                                     【包  装】25公斤/袋 【贮  藏】遮光、阴凉处密闭保存               【保质期】一年,产品易吸潮结块,结块后破碎即可,不影响使用。
山东一飞药业股份有限公司 2021-08-24
氢氧化钠
氢氧化钠,无机化合物,化学式NaOH,也称苛性钠、烧碱、固碱、火碱、苛性苏打。氢氧化钠具有强碱性,腐蚀性极强,可作酸中和剂、 配合掩蔽剂、 沉淀剂、沉淀掩蔽剂、显色剂、皂化剂、去皮剂、洗涤剂等,用途非常广泛。本公司销售的片碱和烧碱规格产品均为国家标准
秦皇岛裕宽贸易有限公司 2022-02-28
自蔓延高温合成新技术及应用
自蔓延高温合成(SHS)也称为燃烧合成,是利用化学反应自身放热来制备材料的新技术,具有能耗低、工艺及设备简单,产品纯度高等特点。SHS广泛应用于制备陶瓷、金属间化合物、金属陶瓷、梯度材料和复合材料等材料。并且SHS技术与传统技术结合形成SHS制粉、SHS烧结、SHS加压致密化、SHS冶金、SHS焊接和SHS涂层等新方向。其应用范围涉及工业及军用等诸多领域。本项目主要涉及以下四个方面:1.SHS制备陶瓷复合钢管方面:利用高放热的铝热反应体系,在离心力或重力作用下使熔融反应产物中比重不同的相分离,使比重小的陶瓷相凝固在钢管表面形成陶瓷衬层。SHS陶瓷复合钢管具有耐磨、耐蚀、抗热冲击和抗机械冲击等综合性能,可广泛应用于化工、电力、石油、炼铝和冶金等行业,输送电厂煤粉、灰渣、腐蚀介质、铝液、矿山矿粉、尾矿和回填料,以及高酸性、高碱性、高硬度或高温物质的输送。2. SHS制粉方面:采用SHS技术制备硅化物和硼化物粉末,通过控制原料状态、以及合成后的冷却过程,获得均一物相高纯度的所需硅化物和硼化物粉。应用于耐高温的防氧化涂层,例如姿控发动机防护涂层,可明显提高发动机的性能。3.SHS制备钛镍多孔合金:多孔钛镍合金强度高、密度低、耐腐蚀性强,弹性模量与人骨弹性模量接近,生物相容性好,生物界面结合牢固,能被组织固定,是理想的生物医学植入材料,在临床各科和医疗器械等方面具有广泛的应用前景。采用注射成形或注凝成形可以成形复杂的骨骼形状,脱脂预烧后,再预热点火燃烧合成多孔钛镍多孔合金,其孔隙度高、孔隙大小及分布均匀、连通性好。4.SHS处理放射性核废料方面:放射性废料制约核能的和平开发利用。采用SHS直接固化放射性废物的固化效率高、工艺及设备简单,且可有效避免核废物二次污染,易实现规模生产,具有明显优势。该成果已通过部级鉴定,整体技术达国际先进水平,并荣获教育部科技进步二等奖。
北京科技大学 2021-04-11
高温磁性液体密封防滴液装置
该装置属专利技术,主要应用与机械工程磁性液体密封领域,特别适用于高温条件下磁性液体真空密封。 很多场合下磁性液体密封装置工作在温度较高的情况下,使得永磁体的磁性下降,磁性液体也随温度的升高粘度降低、磁性性能下降,导致在密封过程中少量的磁性液体脱离极靴的吸附沿着导磁套滴入真空室,对真空室造成污染。
北京交通大学 2021-02-01
太阳能高温热力系统
针对槽式太阳能高温热利用的集热器、混凝土储热技术、系统优化、标准化、太阳能高温热力系统的示范等开展了一系列的研究。研制了封闭型槽式太阳能集热器,搭建了封闭型槽式太阳能集热器性能实验台,进行了实验研究,结果表明,该集热器的热效率可达到71.35%。综述了中高温储能技术,利用Fluent 件对三角形截面、正方形截面、实验模型截面、六边形截面的储热体进行了数值模拟,得出结论六边形截面储热体储热效果最佳,实验模型截面储热体大大提高储热效率。从全寿命周期费用和全寿命周期CO2 排放两个角度对太阳能高温热力系统进行了优化研究。计算了全寿命周期中系统各环节的运行费用、维护费用和检修费用,绘制出全寿命周期槽式太阳高温热力系统的费用曲线,计算出与之对应的最佳集热器面积。详细统计了全寿命周期中系统各环节的CO2 排放量,绘制出全寿命周期系统CO2 排放量曲线,最终计算出与之对应的最佳集热器面积。提出了槽式热发电厂的选址模型,根据气象参数、土地利用参数和水资源分布等情况,考虑是否适合建立槽式热发电厂,对我国大部分省份进行了分类。总结示范系统设计、建设、调试、研究经验和成果,针对槽式太阳能高温热力系统的集热器、储热装置、备用热源、热力系统进行了标准化研究,初步总结了标准化条款。 在以上研究的基础上,设计建设了太阳能高温热力系统,改系统包括:集热方阵、备用热源、储热装置、冷却装置、检测装置等。并对集热器方阵的效率和储热装置的储热过程进行了现场试验。
上海电力大学 2021-04-29
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