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硅
通孔结构及其制造方法
本发明公开了一种硅通孔结构的制造方法,包括以下步骤:将硅片的厚度减薄至 5 微米至 20 微米;去除硅片表面的所有绝缘层;在硅片的导电区表面和绝缘区表面制作掺杂掩膜,以对导电区和绝缘区分别进行粒子掺杂,绝缘区与导电区掺杂的粒子的极性相反;在粒子掺杂完成后去除掺杂掩膜;在导电区表面覆盖金属电极;在硅片的表面除金属电极之外的区域覆盖绝缘层。本发明的方法制造工艺简单,可避免刻蚀、绝缘处理等工艺对硅片的破坏,并能够提高制造硅通孔结构的成品率。本发明还公开了一种硅通孔结构。
华中科技大学
2021-04-11
有机
硅
农药增效剂
农药原药通常是由 溶性化合物,需要通过乳化使用。一方面使得农药喷洒得均匀,另一方面是为了提高农药在植物表面的附着、扩散、渗透性能。农药乳化剂一般是聚醚类,或是阴离子类,都属于碳氢化合物。碳氢化合物的表面张力一般在30-40 mN/m.。液体表面张力越低,在植物表面铺展和渗透能力越强。为了降低浓乳的表面张力可在农乳中添加增效剂,进一步降低表面张力,以实
南京工业大学
2021-01-12
长循环
硅
基复合薄膜负极
随着微电子行业等微型化科技的快速发展,薄膜材料得到广泛应用。薄膜电池作为微型电源器件具有广阔发展空间。薄膜材料对于硅基负极而言,其短程储锂深度和单向膨胀的优势能够有效克服硅基材料的本征导电率低和体积膨胀大的问题。开发无需粘结剂的硅基负极薄膜材料对于薄膜负极发展意义深远。项目通过物理沉积方法,实现电极结构设计与导电型材料复合,改善硅基材料低导电率问题,优化硅基材料体积膨胀缓冲空间,从而完成无粘结剂硅基材料制备和倍率、循环等性能的提高。
厦门大学
2021-01-12
改性有机
硅
柔软剂
本产品为一种改性有机硅柔软剂,主要用于织物的后整理,给予织物柔软、滑爽等手感。氨基硅油作为一种织物柔软剂,不仅对棉、毛、麻等天然纤维有较好的柔软手感,对合成纤维也有较好的柔软效果。但经氨基硅油整理后的织物也存在亲水性差、经光线照射后容易黄变的缺点,从而不能用于对浅色织物的后整理。本产品对氨基硅油直接进行醇基化改性,产品既保留了部分未改性的氨基硅油,又引入了羟基亲水基团。经过本产品处理过的织物,既有经过氨基硅油处理后的手感特点又可改善织物的染色性、耐热性和耐水性。同时氨基硅油中容易氧化黄变的氨基被部分亲水基团醇基取代,增加了织物的亲水透气性,降低了处理后织物的黄变。
华东理工大学
2021-04-13
一种深
硅
刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜;(2)对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀,包括多个刻蚀阶段,每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内,通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成,随着刻蚀深度的增加,各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题,在提高刻蚀效率的同时,提高了对光刻胶的选择比,刻蚀槽侧壁垂直度高,粗糙度小,刻蚀深度大。
华中科技大学
2021-04-14
低硼
硅
药用玻璃管
主要生产药用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液体瓶等产品。现拥有14条国际先进的拉管生产线,70余台国际先进的制瓶机,年产各类安瓿/管制瓶32亿支,药用玻管(精品7.0)30000吨。
山东力诺特种玻璃股份有限公司
2021-08-27
纳米
铝塑板
产品名称:纳米氟碳涂层铝塑板 表面涂层: 铝合金:AA1100series,AA3003series 铝厚:0.3mm,0.40mm,0.45mm,0.50mm 铝厚度:4mm,5mm,6mm 宽度:1220mm,1250mm,1500mm 长度:最长至6000mm,特殊宽度可定制 背涂: 品牌:ALUSHINE 产地:山东临沂
临沂金湖彩涂铝业有限公司
2021-09-02
多晶
硅
铸锭炉的隔热块及包括该隔热块的多晶
硅
铸锭炉
本发明公开了一种用于多晶硅铸锭炉的隔热块,设置在多晶硅铸锭炉的坩埚底部外周,用于坩埚加热或冷却多晶硅过程中的隔热保温,该隔热块为中空方形筒体结构,筒体筒壁为中空夹层结构,其中内壁用于包覆设置在坩埚底部的热交换块外周壁面,且该内壁与所述热交换块外周壁面具有间隙,所述外壁用于与设置在坩埚外围的竖直隔热板固定接触,所述坩埚中心线、热交换块中心线以及隔热块中心线重合,且所述隔热块顶部低于热交换块顶部。本发明还公开了具有
华中科技大学
2021-04-14
手性有机
硅
合成新方法
首次使用炔烃作为卡宾前体完成了一例不对称Si-H键插入反应,高效构筑了一类新型手性有机硅化合物。该反应使用手性羧酸双铑催化剂,首先促进羰基-烯-炔底物发生分子内环化现场生成双芳基金属卡宾,该金属卡宾中间体进而对硅烷的Si-H键发生高对映选择性的插入反应,给出相应的手性有机硅化合物。该反应的条件温和,底物适用范围广,大部分产物的ee值都能达到90%以上。所得的手性烯丙基硅产物能够进一步转化,例如发生烯丙基乙酰化反应,对映选择性能够得到很好的保持,因此在有机合成中具有一定的应用潜力。动力学实验表明,反应对双铑催化剂、硅烷展现出一级动力学效应,对底物则表现出零级动力学特征,说明铑卡宾对Si-H键的插入步骤是反应的决速步,这与动力学同位素实验的结果(KIE=1.5)相一致。本研究表明炔烃作为卡宾前体同样可以发生高对映选择性的Si-H键插入反应,结合炔烃化学在从简单原料构筑复杂产物上的优势,为结构多样性有机硅化合物的合成提供了新的方向。
南开大学
2021-04-10
具有紫外响应的
硅
基成像器件
传统的CCD、CMOS硅基成像器件都不能响应紫外波段的光信号,这是因为紫外波段的光波在多晶硅中穿透深度很小(<2nm)。但是近年来随着紫外探测技术的日趋发展,人们越来越需要对紫外波段进行更深的探测分析与认识。紫外探测技术是继激光探测技术和红外探测技术之后发展起来的又一军民两用光电探测技术。几十年来,紫外探测技术已经逐渐应用于光谱分析、军事、空间天文、环境监测、工业生产、医用生物学等诸多领域,对现代科研、国防和人民生活都产生了深远的影响。特别是在先进光谱仪器方面,国内急迫需要响应波段拓展到紫外的硅基成像器件。硅基成像器件如CCD、CMOS是应用最广泛的光电探测器件。当前最先进的光谱仪器大都采用了CCD或CMOS作为探测器件,这是因为CCD、CMOS具有灵敏度强、噪声低、成像质量好等优点。但由于紫外波段的光波在多晶硅中穿透深度很小(<2nm),CCD、CMOS等在紫外波段响应都很弱。成像器件的这种紫外弱响应限制了其在先进光谱仪器及其他领域紫外波段探测的使用。 在技术发达国家,宽光谱响应范围、高分辨率、高灵敏度探测器CCD已经广泛应用于高档光谱仪器中。上世纪中叶美国Varian公司开发的Varian700 ICP-AES所使用的宽光谱CCD检测器分辨率达0.01nm,光波长在600nm和300nm时QE分别达到了84%和50%;美国热电公司开发的CAP600 系列ICP所用探测器光谱响应范围更是达到165~1000nm,在200nm时的分辨率达到0.005nm.法国Johinyvon的全谱直读ICP,其所用的CCD探测器像素分辨率达0.0035nm,紫外响应拓展到120nm的远紫外波段。德国斯派克分析仪器公司的全谱直读电感耦合等离子体发射光谱仪一维色散和22个CCD检测器设计,其光谱响应范围为120-800nm。德国耶拿JENA 连续光源原子吸收光谱仪contrAA采用高分辨率的中阶梯光栅和紫外高灵敏度的一维CCD探测器,分辨率达0.002nm,光谱响应范围为189—900 nm。总而言之,发达国家在宽光谱响应和高分辨率高灵敏度探测器件的研制领域已取得相当的成就。主要技术指标和创新点(1) 我们在国内首次提出紫外增强的硅基成像器件,并在不改变传统硅基成像探测器件的结构的基础上,利用镀膜的方法增强成像探测器件CCD、CMOS的紫外响应,使其光谱响应范围拓宽到190—1100nm,实现对190nm以上紫外光的探测。(2) 提高成像探测器的紫外波段灵敏度,达到0.1V/lex.s。(3) 增强成像探测器件的紫外响应的同时,尽量不削弱探测器件对可见波段的响应。(4) 选用适合的无机材料,克服有机材料使用寿命短的缺陷。 紫外探测技术已经逐渐应用于光谱分析、军事、空间天文、环境监测、工业生产、医用生物学等诸多领域,对现代科研、国防和人民生活都产生了深远的影响。特别是在先进光谱仪器方面,国内急迫需要响应波段拓展到紫外的硅基成像器件,该设计与传统CCD、CMOS结合,能满足宽光谱光谱仪器所需的紫外响应探测器的需要。能提高光谱仪器光谱响应范围,在科学实验和物质分析和检测中具有很广的市场前景。 该设计样品能取代传统CCD、CMOS,应用于大型宽光谱光谱仪器上,作为光谱仪的探测器件。将传统光谱仪器的光谱检测范围拓宽到190—1100nm. 实现紫外探测和紫外分析。具有较强的市场推广应用价值。
上海理工大学
2021-04-11
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