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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
变刚度双质体二级动摆混沌振动磨
本实用新型变刚度双质体二级动摆混沌振动磨涉及一种振动磨，特别是一种具有变刚度、双质体、二 级动摆的混沌振动磨。包括上质体、下质体、主振弹簧、隔振弹簧、底座等，其中上质体主要包括振动电 机、筒体、右联接架、左联接架和配重体，筒体主要包括进料口、端盖、出料口和磨介。上质体与下质体 之间通过主振弹簧相联接，主振弹簧内径与上、下质体上的弹簧导柱外径相配合；下质体通过隔振弹簧支 承在底座上；所述振动电机包括动摆组件，动摆组件在振动电机轴左右两端呈对称分布，所述动摆组件包 括定摆、平键、轴套、一级动摆、轴承一、振动电机轴、二级动摆轴、轴承二和二级动摆。
南京工程学院
2021-04-11
一种动平台红外图谱关联探测系统及方法
本发明公开了一种动平台红外图谱关联探测系统，该系统包括光学头罩、宽波段光学系统、二维伺服随动系统、红外光纤、傅里叶干涉光谱模块、图谱关联探测处理模块、电源模块和显示模块；入射光从光学头罩进入，至宽波段光学系统并由分光镜分光；透射的光线经过长波成像透镜组聚焦在红外探测器上成像；反射的光线经过宽光谱透镜组聚焦于光纤耦合器，由红外光纤进入傅里叶干涉光谱模块形成干涉图，并经傅里叶变换得到光谱数据；图谱关联探测处理模块有
华中科技大学
2021-04-14
一种动目标的红外辐射光谱特性仿真分析方法
本发明公开了一种动目标的红外辐射光谱特性仿真分析方法，该方法首先为动目标三维几何建模并将目标按区域划分；之后建立目标温度分布模型，计算不同观测角度下目标表面各点的温度；然后建立红外大气传输模型，计算大气透过率及大气路程辐射；之后设定测量系统及动目标的各参数；再利用已建立的目标温度分布模型及红外辐射传输模型计算动目标像方的辐射能量；最后分别计算点目标及面目标的红外辐射能量并绘制相应的辐射光谱曲线。本发明技术方案方
华中科技大学
2021-04-14
基于液压油缸动载控制的控制系统及算法
项目背景：目前以液压作为驱动的伺服控制系统的高精 度、高频率动态控制技术基本被 MTS、MOOG、Delta 等国外 设备商垄断，这些伺服控制器适用性强、性能指标高和资源 配置灵活，能实现多参数同时控制和补偿，特别在系统的非 线性修正、控制特性的改善以及控制状态的转换方面具有较 大的优势，尤其是在控制算法上有很大的优势。国内目前无 论是高性能动态控制器还是与之适配的控制算法，与国外相 比起步较晚，在这方面的研究相对落后，与国外伺服控制系 统的水平还有较大差距。国内虽然有研究，但没有形成自己 的产品，为满足国内各科研、生产需要，提供一流水平的静 动载控制设备，实现电液伺服系统实时运动控制，需要寻求 到具有国际一流水平的高性能控制器及配套动态控制的算 法。
所需技术需求简要描述：1.电液伺服控制器硬件设计。 选择合适的硬件，以 DSP、FPGA 为核心的电液伺服控制器， 达到单多轴运动控制，特别是高速高精度的运动控制。2.伺 服控制软件设计。在硬件完成的基础上，编写系统的各个功 能模块、编写底层驱动软件及相关调试、及通讯接口很方式， 完成控制器位置控制的应用程序编制，并完成控制器位置控 制的应用程序编制调试。研究出配套的动态控制算法（加速 度、速度前馈控制、自适应 PID 等），配置合适的动态控制 算法，最终形成具有完全自主知识产权的控制系统。3.控制器硬件应能保证长时间可靠运行，闭环控制频率不低于 10kHz，多路 24 位以上 AD，可采集 mv、V、mA、数字脉冲、 格雷码、二进制等多种模拟量、数字量信号，多路 16 位以 上 DA，可输出 V、mA、数字脉冲等多种模拟量、数字量信号； 动载可满足 10~100Hz 动态波形的控制需求，控制精度不低 于 0.5%F.S。
对技术提供方的要求:1.具有成功的液压油缸动载控制 实施案例，承担过国家重点研发计划项目。2.熟悉液压油缸 的结构设计，熟悉液压油缸控制系统及算法的设计。3.具有 工学博士学位或高级工程师职称，合作方需为国内一流 211 大学，技术方案成熟可靠稳定有创新思维，不涉及知识产权 侵犯。
青岛扬亚机械电子有限公司
2021-09-10
Sennheiser 森海塞尔 MKH 8040 电容话筒 森海塞尔动圈录音话筒
产品详细介绍简介：心形话筒 MKH 8040 适合几乎任何应用。它能明显的削减对房间回声的拾取。这对于在一个建声条件很差的房间内录音很有帮助，因为干扰声音主要从后面过来。特点： 心形拾取声音 频率响应 30 ～ 50,000 Hz 理想的单点话筒和环绕声录音话筒极地模式：频率响应：技术指标：——传感器 聚光器——拾音模式 心——频率响应 为15Hz - 50kHz的——动态范围（典型） 没有指定生产商——信号噪声比 22分贝——最大输入声压级 142分贝SPL——电源要求 48V + / - 4V——输出阻抗 标称：25欧姆最小。 终止：1000欧姆——输出连接器 3针XLR——垫 无——低频滚降 无——尺寸（LxDiameter） 1.61 x 0.74“（41 ×19毫米）——重量 0.88盎司 - 1.93与XLR模块（25克 - 55 g和XLR模块）盎司它能明显的削减对房间回声的拾取，这对于在一个建声条件很差的房间内录音或干扰声主要来自于后面的情况下很有帮助。指向性：心型频率响应：30 – 50000Hz灵敏度(free field, no load, 1 kHz)：-34 dBV/Pa（20mV/Pa）等效噪声级：A-weighted (DIN IEC 651)13dB，CCIR-weighted (CCIR 268-3) 22 dB最大声压级：142dB at 1 kHz输入阻抗：1000Ω电源：48V±4 V尺寸：直径19 x长41 mm(含XLR模块长为74mm)重量：25g(55g含XLR模块)随包装标配：话筒头MKHC8040；卡侬模块MZX8000；话筒夹MZQ8000；防风罩MZW8000；用户手册；铝制便携盒。
德维尼（北京）科技有限公司
2021-08-23
一次性防飞溅隔离巾
“一次性防飞溅隔离巾”由上海交通大学医学院附属第九人民医院发明，该隔离巾由防护材料和透明材料等组合而成，预设有两对袖套式操作口，既能保证良好的视野，又提供了一定的操作自由度，方便医护人员实施临床治疗，可显著降低手术和操作过程中的感染暴露风险，以满足医护人员的安全防护要求。在临床资源有限的情况下，比如目前与新冠肺炎的战斗中，可以有效地为医护人员提供额外的安全防护，提高手术和操作的可行性，大大减少院感风险。一次性防飞溅隔离巾样品医务人员研究改进一次性防飞溅隔离巾 上海交通大学医学院附属第九人民医院组织耳鼻咽喉头颈外科王珮华主任医师、汪照炎主任医师和急诊科徐兵主任医师等相关学科的专家对该项目进行专业分析和可行性评估，并进行细节改进，立项“手术防飞溅隔离操作系列装置”创新项目。九院成果转化办公室成立应急小组，分别从原型设计、专利布局、专利申请、产品合规、产业对接等方面制定系统推进方案，各项细节同步实施。2月21日该系列装置完成四项发明和实用新型专利的申请，技术市场迅速形成推文，并于当天将九院抗疫发明的企业对接需求发布出去。在临床医疗救治中，有部分操作会有血液、痰液导致的气溶胶污染，容易导致医护人员发生暴露性感染风险，比如气管切开、肺结核患者的胸部手术、呼吸管口换管、吸痰等。即使有帽子、口罩、防护镜等个人安全防护配备，也很难防止气溶胶短时间在局部气流中的传播。在2003年的SARS和本次新冠肺炎的诊治过程中，有很多医护人员的感染就是因为直接面对飞溅液体和气溶胶。该系列装置适用于基层医院或紧急场景、生物安全防护条件不足的情况下医务人员实施紧急操作。
上海交通大学
2021-04-10
带有防咬手结构的水貂饲养装置
本实用新型公开一种带有防咬手结构的水貂饲养装置，包括网格状的外壳，外壳围成饲养水貂的空间，外壳上安装门结构，所述门结构包括门框和门体，门体安装在门框上，门框的周边形成防咬面，门体和门框之间的控制门体开合的连接部安装在防咬面上，在外壳上设置一独立的门框，该门框带有防咬面，门体的开合的连接部安装在防咬面上，因为防咬面可以阻挡水貂的嘴部伸出，人手操控的连接部又安装在防咬面上，水貂的嘴部无法接触人手，所以避免了打开或关闭门体时，人手遭受水貂突然袭击的风险。
青岛农业大学
2021-04-11
大型桥梁复合材料防船撞系统
南京工业大学复合材料结构研究所围绕桥梁、隧道、高速公路等交通基础设施减缓车辆、船舶撞击灾害的迫切需求，基于纤维增强复合材料耐腐蚀、轻质高强、缓冲性能优异等特点，在国内外首次提出了大型桥梁复合材料防船撞系统的设计理念，申请了2项国际PCT专利，获8项发明专利授权。建成了润扬长江大桥等4项防船撞工程，正开展港珠澳大桥等100余项防撞设计。研究所正开展隧道防车撞复合材料路缘、高速公路防车撞护栏、立交桥桥墩防车撞系统、航道船闸防船撞系统等研制工作，已申请4项国家发明专利，有效促进了复合材料防撞系统的系列化与专业化。 目前该项目可进行批量生产。
南京工业大学
2021-04-13
基于 CDMA 的大规模 RFID 防碰撞方法
本发明提出了一种基于 CDMA 的 RFID 防碰撞方法，该方法首先将所有的标签进行调整分组，然后 以递归的方式将碰撞的标签分组，为标碰撞标签选择码片，然后将标签数据用正交码扩频后发送出去， 并在阅读器端用相同码片进行解扩，最后对读取标签进行重复和遗漏的核查，该方法可以同时识别多个 标签，解决了现有的基于 ALOHA 算法和二进制算法方案的不足。
武汉大学
2021-04-13