本成果来自省部级科技计划项目

本发明公开了一种微环波导器件，包括微环谐振腔、直波导、第一支架、第二支架和衬底；其中，第一支架用于支撑直波导，第二支架用于支撑微环谐振腔，以使微环谐振腔与直波导悬空；微环谐振腔与直波导相互耦合；外部注入的光场通过直波导耦合进入微环谐振腔中，满足微环谐振条件的光场在微环谐振腔中激发出声场，通过悬空的微环谐振腔将产生的声场限制在微环谐振腔中进行传输，进而产生前向布里渊效应；本发明提供的这种悬空的微环波导器件具有布里

锚杆支护已发展成为世界矿井巷道以及其它地下工程支护的一种主要支护形式之一，锚杆的支护质量决定着巷道的使用安全和围岩稳定。该光纤光栅锚杆测力装置结构简单、安装方便、可重复使用、易于保护和维修，可用于对锚杆应力进行分布和长期监测，且具有很高的测试精度，长期稳定性好，信号传输距离远，给锚杆支护质量的长期在线监测提供了一种可靠有效的手段。利用该监测系统可以实现对井下各个监测点锚杆的受力情况进行监测，从而对井下巷道支护质量及煤柱稳定性等做出评估和预测。该成果已申请发明专利 1 项，在神华宁煤集团的红柳煤矿应用并取得了良好效益，具有广阔的推广应用前景。

南开大学在“863”计划项目、市科技攻关项目和国家自然科学基金支持下，光纤光栅传感技术与应用课题组取得诸多创新性研究成果。如成功构建了可编程、微位移光纤光栅写入设备，并成功研制出高性能国产化光纤光栅；以光纤光栅作为传感基本元件，利用其波长编码与温敏力敏等优良特性，采用独特的材料和工艺进行封装，创新性地设计并开发出多种光纤光栅传感技术以及系列器件；研制和开发具有多参数、多功能、分布式的全光纤光子传感网络系统；同时，构建多光纤光栅线阵、面阵及体阵等多种拓扑结构，将光纤光栅传感器网络布设于高层建筑用于对

1、光学导轨900mm及调节横梁； 2、配有精密垂直微调的横向调节滑座3套； 3、光源： ①通光口径为Φ37的LED长寿命光源； ②配3V变压器； ③优点：通光口径大，外盒金属砂黑铝； 4、狭缝： ①0-3mm连续可调狭缝 ； ②狭缝可360°旋转； ③具有锁紧机构； 5、精密移动装置：测量范围0-50mm，完全满足实验需求的条纹数，测距读数精度为0.01mm，移动平稳； 6、光学液槽：直观透明，液槽夹持架含有俯仰调节装置，便于液槽的调节，液槽内侧面上装有压电晶体及反射板移动装置，可调节反射板与压电晶体的距离及平行度； 7、超声波产生明暗条纹的观测系统：调制的明暗条纹经成像物镜成像到测量分划板上，最后通过目镜，可见清晰的明暗条纹，在系统上有成像透镜的移动装置，转动调节手轮，调节移动装置，可依视觉要求调到相应放大缩小的像； 8、信号源频率≥2MHZ； 9、高频信号线； 10、含有CCD成像系统，12英寸彩色液晶800线监视器；

产品详细介绍MercuryII系列多功能光栅编码器：　　读数头可以同时配用　　尺带光栅／玻璃光栅　　直线光栅／圆形光栅　　高分辨率：线性1.2纳米，圆形268M　　高速度：在50纳米分辨率时，速度高达3.7米／秒　　单根尺带式光栅长度50米　　长度可根据需要裁取　　粘贴式的零位和限位模块，适合各种应用场合　　最宽泛的安装误差　　SmartPrecisionII智能软件

产品详细介绍  · 阵列麦克风主机支持声源定位，指示灯可指示声源方位。  · 阵列拾音主机输出数字音频信号，通过接线器转换成模拟平衡信号。  · 标准网线连接距离可达100米（注意：主机和接线器网线接口是自定义接口，不能与其他网络接口连接）。  · 支持两种安装方式：吊顶安装和桌面安装。  · 支持两种默认状态：通电拾音、通电禁音。 产品特性  · 波束形成算法；  · 360度全方位采集声音；   · 6+1环形远场麦克风阵列；   · 声源定位；   · 语音增强；  · 全数字信号：传输和运算无需数模、模数转换 ； 产品参数 阵型 环形 阵元个数 6+1 拾音距离 ＜5米（室内环境） 信噪比 SNR＞65db 声源定位 360°（水平方向） 定位精度 ±10°（水平方向）     传输方式 SPDIF   内置音频算法 AGC自动增益技术、ANC自动降噪技术 直径 123mm 厚度 30mm

曲折波导行波管是传统螺旋线和耦合腔行波管的折中，具有较宽的工作带宽和较大的功率容量，在毫米波和太赫兹频段具有独特的优点。为了进一步提高器件的性能，研制了新型慢波结构，以及毫米波段新型慢波结构真空电子器件。研制成功的Q波段连续波曲折波导行波管突破了高效率曲折波导慢波结构设计、加工与装配、大电流密度电子枪、大功率连续波输出等关键技术，实现了大功率输出。 曲折波导慢波结构 Q波段连续波曲折波导行波管应用于卫星通信、电磁干扰等装备系统中。

曲折波导行波管是传统螺旋线和耦合腔行波管的折中，具有较宽的工作带宽和较大的功率容量，在毫米波和太赫兹频段具有独特的优点。为了进一步提高器件的性能，研制了新型慢波结构，以及毫米波段新型慢波结构真空电子器件。研制成功的Q波段连续波曲折波导行波管突破了高效率曲折波导慢波结构设计、加工与装配、大电流密度电子枪、大功率连续波输出等关键技术，实现了大功率输出

本发明提供一种加工成本低、精度高、一致性好的波导微纳加工系统以及加工方法。本发明所涉及的波导微纳加工系统，其特征在于，包括：光源部，提供激光束；加工部，将激光束聚焦至基底上进行光刻加工，并对加工过程进行实时监测，具有：可变焦透镜、三维形貌仪、相机、以及测温仪；多自由度工作台，根据预设的波导图案带动基底在多个自由度方向上进行移动；光学平台，用于安放多自由度工作台，并隔绝外界振动；吹气部，设置在多自由度工作台的一侧，对着加工区域进行吹气；吸气部，设置在多自由度工作台的另一侧，对吹气部吹送来的气体进行吸除；控制部，连接并控制光源部、加工部、多自由度工作台、光学平台、吹气部、以及吸气部的运行。