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高频辉光放电等离子体化学气相沉积(PECVD)装置
PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition)—等离子体化学气相沉积,在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子,提供化学气相沉积过程所需的激活能,相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。 技术特点: 1)自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号;2)可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境,且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。 3)专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构,可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构,可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。 4)该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计,符合产品要求。
北京交通大学 2021-04-13
高效节能等离子体静电烟气净化机
项目简介一、烟气及其危害烟气是由燃烧、氧化等过程伴随着物理化学变化所产生的含大量固体微粒和有毒气态污染物的产物。烟气中的烟尘是可吸入颗粒物,粒径很小,多在 0.01~1μm 范围,可长时间悬浮于空气中,对人体有严重的危害,是造成尘肺、硅肺病的主要根源;烟气中的有毒气体对人体的危害也很大,有些还含有致癌作用的二恶英、苯并疪及醛类物质。餐饮也造成严重的油烟污染问题,餐饮行业厨师患肺癌、鼻咽癌和食管肿瘤的比例比其它人群明显提高。二、等离子体静电烟气处理技术由于烟气中的污染物颗粒粒度太细,常用的旋风除尘、袋式除尘、喷雾除尘都无能为力,传统的电除尘技术也不能发挥作用。低温等离子技术作为 21 世纪环境科学四大技术之一,由于大量微细颗粒在等离子场中因荷电而被除去;同时等离子体所激发的大量高能量活性自由基可使有机废气得到降解。
北京科技大学 2021-04-13
高效节能等离子体静电烟气净化机
一、烟气及其危害 烟气是由燃烧、氧化等过程伴随着物理化学变化所产生的含大量固体微粒和有毒气态污染物的产物。 烟气中的烟尘是可吸入颗粒物,粒径很小,多在0.01~1μm范围,可长时间悬浮于空气中,对人体有严重的危害,是造成尘肺、硅肺病的主要根源;烟气中的有毒气体对人体的危害也很大,有些还含有致癌作用的二恶英、苯并疪及醛类物质。餐饮也造成严重的油烟污染问题,餐饮行业厨师患肺癌、鼻咽癌和食管肿瘤的比例比其它人群明显提高。 二、等离子体静电烟气处理技术由于烟气中的污染物颗粒粒度太细,常用的旋风除尘、袋式除尘、喷雾除尘都无能为力,传统的电除尘技术也不能发挥作用。低温等离子技术作为21世纪环境科学四大技术之一,由于大量微细颗粒在等离子场中因荷电而被除去;同时等离子体所激发的大量高能量活性自由基可使有机废气得到降解。 三、技术经济指标 1、烟尘净化率:≥99%,可收集0.001~0.01μm级的超细粒子; 2、有机挥发物VOCs去除率:≥85%。 四、特点 1、烟气净化效率高、能够处理其它工艺设备无法处理的极微细可吸入颗粒物和气溶胶烟气; 2、兼有净化可吸入颗粒物和气态污染物治理的双重功效; 3、性价比高,投资小见效快,安装、运行、维修方便。 五、应用领域 1、冶金行业:焙烧、冶炼、铝电解、炼焦烟气; 2、玻璃行业:窑炉含尘烟气、配料粉尘; 3、沥青行业:沥青烟气、沥青防水油毡生产; 4、纺织粉尘:制鞋、制革、合成纤维、汽车内衬加工; 5、电焊烟尘:机械加工、汽车修造; 6、铸造粉尘:铸造、喷砂; 7、陶瓷磨料:胚体加工、施釉、烧制窑炉烟气治理; 8、橡胶塑料:橡胶制品生产、混炼,塑料混料; 9、电子通讯:镀层喷砂、玻粉制取、电子玻璃配料; 10、饮食业 :油烟治理。 
北京科技大学 2021-04-13
恶劣环境电气外绝缘放电特性及其在电网中的工程应用
该成果面向青藏铁路、西电东送和特高压等重大工程的迫切需求,解决 恶劣环境国内外至今没有攻克的电气外绝缘特性与设计的难题。该成果在国内外率先研究提出覆冰、高海拔、污秽“恶劣环境”电气外绝缘 特性的试验方法;揭示绝缘子覆冰形成及其导致闪络的规律和高海拔污秽绝 缘子与空气间隙的放电机理及其湿度等大气参数对其放电的影响规律,建立 “恶劣环境"绝缘子和空气间隙放电的物理数学模型,提出其电气外绝缘修 正方法;首次提出采用V型与间插布置方式、优化伞形结构防止冰闪的方法, 发明高海拔地区用复合绝缘子和覆冰参数测量用圆柱体阵列积冰器,提出基 于积冰器冰重的覆冰参数实时动态监测方法。市场及经济效益分析: 成果应用于:世界海拔最高的青藏铁路隧道净空间隙确定,青藏铁路供 电工程、“高海拔+覆冰"贵广±500kV直流工程、国际上首条土800kV特高 压直流工程和西藏3500m以上海拔输电工程外绝缘设计,以及“高海拔+覆 冰"地区交、直流超、特高压复合绝缘子研制,成果应用于我国电网大面积 冰闪事故防治,产生直接经济效益18亿元,推动电气工程学科发展,适应西 部大开发、西电东送、特高压工程和能源安全的重大需求,显著提高我国电 力能源装备抵御极端条件的科学技术水平,取得巨大社会经济效益
重庆大学 2021-04-11
清华大学SUNIST-2球形托卡马克建成并首次放电
近日,清华大学新概念磁约束核聚变探索装置——中国联合球形托卡马克2号(SUNIST-2)建成并首次放电。
清华大学 2023-07-14
一种高压陶瓷电容器的充放电寿命检测装置
本发明公开了一种高压陶瓷电容器的充放电寿命检测装置,包 括可调高压直流电路、脉冲形成电路、放电电路和检测电路;可调高 压直流电路是用于将交流电压转换成直流电压,提供可调的高压直流 电压;脉冲形成电路用于在试品电容器两端产生脉冲高压;放电电路 用于试品电容器的放电;所述检测电路用于判断试品电容器是否失效, 当放电电路中的陡化开关连续导通失败,试品电容器放电电路无电流, 且通过检测试品电容器的充电电压和放电电流显著减小时,判断试品 电容器失效。本发明可以检测高压陶瓷电容器在高电压、大电流、陡 脉冲的条件
华中科技大学 2021-04-14
光能驱动静电水膜空气净化装置
本实用新型涉及一种光能驱动静电水膜空气净化装置,属于家用电器领域。从上到下包括顶壳、收 尘区、底壳,所述顶壳上表面有进气口,太阳能电池板,内部有机电中枢和电机,电机通过中央轴带动 涡轮风扇,在电机下面的两侧设置高压电极,所述机电中枢内设蓄电池和单片机,控制高压电极和电机, 所述涡轮风扇边缘还有蓄水池;收尘区由外筒与金属内筒构成,外筒和金属内筒由绝缘的支架连接,内 筒与中央轴下端通电形成电场;底壳内
武汉大学 2021-04-14
真空吸笔,防静电真空吸笔QS-2008
产品详细介绍真空吸笔,防静电真空吸笔QS-2008  http://www.qinsidianzi.com/
深圳市勤思科技有限公司 2021-08-23
用于直流电晕放电烟气治理的分离式喷嘴电极系统
本发明公开了一种用于直流电晕放电烟气治理的分离式喷嘴电极系统。系统包括锯齿形电极、管式喷嘴等,在齿形电极一端设有电极柄,管式喷嘴一端封闭,在管式喷管上纵向设有两排喷吹孔,每排喷吹孔均匀分布,齿形电极两侧对称布置两个管式喷嘴,管式喷嘴的喷嘴和锯齿形电极的锯齿对齐布置,在电极柄上添加正高压,由锯齿形电极通过锯齿电晕放电,电极气经管式喷嘴通过喷吹孔喷出,从而形成电晕放电区域。本发明具有以下优点:1)锯齿形电极加工及生产方便且管式喷嘴的加工工艺简单;2)能耗省,电晕效果好,污染物去除效率高;3)可以结合静电除尘器使用,实现除尘净化一体化。
浙江大学 2021-04-13
一种抗静电超疏水复合涂层的制备方法
本发明公开的抗静电超疏水复合涂层的制备方法,以重量份计,将0.2~2份苯乙烯-顺丁烯二酸酐交替共聚物溶解在20~1000份溶剂中,加入1份碳纳米管混合均匀,加入0~26份氨水和0.2~2份硅酸酯或钛酸酯化合物,搅拌混合,使硅酸酯或钛酸酯化合物发生水解反应,再加0.1~2份硅酸酯或钛酸酯化合物和0.02~0.5份含氟硅烷偶联剂,混合均匀后喷涂在基材上,经陈化和热处理得到稳定的抗静电超疏水复合涂层。本发明操作简便、条件温和,碳纳米管不需要进行任何化学修饰或改性便可直接使用,所得复合涂层疏水性好,与水的静接触角大于150°,滚动角小于3°,表面电阻率为106~1011Ω,满足抗静电透明涂层的需要,具有广阔的应用前景。
浙江大学 2021-04-11
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