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一种用于浸没式光刻的浸液温控系统
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，通过其获得具有稳定温度的浸液，以用于浸没式光刻工艺中，其特征在于，该温控系统包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过管路进口进入该浸液管路，温控后的浸液通过该浸液管路出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及热交换器（6），所述浸液管路和工艺冷却液回路同时流经该热交换（6），利用该热交换器（6）完成工艺冷却液和浸液的热交换，获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置采用内部回流结构与热交换器
华中科技大学
2021-04-14
一种分布式光感卡盘安全扳手
本实用新型公开了一种分布式光感卡盘安全扳手，包括从上至下依次固定相连的手柄、上扳手体和 下扳手体，所述手柄上设有至少一个光感传感器，所述下扳手体底部设有方形轴，所述下扳手体内部设 有电源、控制器和蜂鸣器，所述方形轴内底部设有光感传感器，所述手柄上和方形轴内光感传感器的信 号均接入控制器，通过控制器接收信号判断卡盘安全扳手所处状态，来控制蜂鸣器是否报警。本实用新 型原理简单，使用、维护方便，可有效的
武汉大学
2021-04-14
一种分布式时序触发控制系统
本发明公开了一种分布式时序触发控制系统，包括多个时序控 制器和将其连接成树形网络的光纤；还包括一个触发输入，一个时钟输入和一个急停输入；每个时序控制器的所有输出都可以向其他设备 提供时钟或触发，或者连接到其他的时序控制器的时钟或触发输入。 若仅使用时序触发的功能，而无需精确时钟同步时，可以只将一个节 点的触发输出和另一个节点的触发输入连接起来，无需连接时钟信号。 本发明采用树形网络和光纤实现了分布式系统结构，减小电磁干扰的 影响，减小了布线难度；可以向大型物理实验装置提供高精度的时序 触发以及时钟信
华中科技大学
2021-04-14
一种指向式旋转导向钻井导向工具
1） 可实现钻压和扭矩的分离传递，一方面可以通过转换接头和推力球轴承把钻压传递到不旋转外套上，另一方面可以通过转换接头和旋转心轴的连接把钻铤的扭矩传递到旋转心轴上；2） 当旋转心轴弯曲时，旋转心轴方形面可以沿着转换接头内方孔轴向运动，实现轴向的自由伸长，极大的提高了旋转心轴的寿命。
西南石油大学
2016-02-29
一种插电式集成液压作动器
本发明提供一种插电式集成液压作动器，具有中心带杆油缸7及以带杆油缸7缸壁为内缸壁的环形腔18，环形腔上设置有补偿器14；油缸7及环形腔18支承在缸座26)上；缸座中部设置有安装空间13；全部流道采用了集成在缸座的内部安装空间13内。本发明将伺服电机与油泵、油箱、油缸、补偿器、电源接插件等进行高度集成化设计，形成一个独立控制的作动器，插电就可动作、可独立安装、独立使用，也可用在主机中实现功率电传，液压传动由分配式供能向分布式供能转变。由于其独特的性能，本发明在航空领域、深海设备、电动工程机械、机器人等方面有广阔的应用前景。
西南交通大学
2016-10-24
一种气动式渠道衬砌清洗机
本发明公开了一种气动式渠道衬砌清洗机，包括挖掘机和清扫模块，清扫模块包括可旋转的圆盘刷、与挖掘机的机臂下端刚性相连的导轨、刷子外壳、以及设于刷子外壳上的驱动机构，圆盘刷通过轴与驱 动机构相连，刷子外壳底部设有可在两根导轨上滑动的滚轮，导轨位于圆盘刷和刷子外壳之间，导轨两 端分别设有用于平衡圆盘刷在导轨上移动时可能产生较大弯矩的配重箱和防止滚轮从导轨中脱落的挡 板，刷子外壳上部设有凸起
武汉大学
2021-04-14
一种高强螺纹螺栓装配式连接节点
本实用新型公开一种高强螺纹螺栓装配式连接节点，包括预制柱以及安装在预制柱一侧侧面上的预制梁，所述预制柱内部以及预制梁一端的内部分别预埋有第一承压端板、第二承压端板，所述第一承压端板、第二承压端板上分别设置有若干个第一穿孔、若干个第二穿孔，所述若干个第一穿孔分别与若干个第二穿孔对齐设置，且每个第一穿孔以及与其对齐设置的一个第二穿孔之间打入有高强螺纹螺栓；所述预制梁上下两个端面与预制柱一侧的侧面之间均安装有角钢，所述角钢的两边均打入有齿形螺栓。本实用新型能较强的稳固梁柱节点，其综合强度高，施工方便。
安徽建筑大学
2021-01-12
一种酒店自助式入住结账办理设备
本实用新型公开了一种酒店自助式入住结账办理设备，包括机体和人脸录入装置，所述机体中部安装有触摸屏，且机体中部通过销轴与操作台相连接，所述操作台上表面分别设置有输入键盘和证件识别装置，且输入键盘设置于证件识别装置右侧，所述机体内部设置有房卡储存盒，且房卡储存盒外侧通过连接板与安装板相连接，所述安装板外侧分别设置有房卡弹出口和打印装置，所述安装板后侧设置有限位槽，且限位槽内部贯穿有连接板，所述机体下端内部安装有信息处理器，且机体上端外侧安装有挡板。该酒店自助式入住结账办理设备设置有调节机构，能够方便对操
安徽建筑大学
2021-01-12
一种智能调节式病理科取材台
发明公开了一种智能调节式病理科取材台，包括壳体，所述壳体底部开设水槽，且所述水槽上端的前后两侧对称开设滑槽，且滑槽内部依次配合安装可滑动的砧板和滤水板，所述壳体内壁中间位置固定安装置物台，且置物台下端从左至右依次开设抽气口和烘干机出风口，所述抽气口和烘干机出风口内部依次加装抽风机和烘干机，所述抽风机和烘干机固定安装在置物台内部，所述置物台下端中间位置固定安装支撑板，所述支撑板上端开设出水口，所述置物台上方的壳体内壁从左至右依次固定安装手术刀放置架和显示屏，该发明设备具有自动调节工作高度的功能，且内部增加多种非接触控制开关的设备，更加符合操作者的使用习惯。
青岛大学
2021-04-13
一种翻转式节水型蹲便器
本实用新型公开了一种翻转式节水型蹲便器，其特征在包括便池本体、下方管路、触发装置、机械传动单元，翻转密封单元和射流清洁单元；采用人力驱动、翻转式疏水光滑双面便池，利用污物自身重力排污，与便池下方设置的扇形喷嘴配合，射流清除便池中少量残留污物，达到节水目的。本实用新型颠覆传统的外部冲洗过程，创新性的将清洁过程转移至下方，隔绝与外界的联系，减少因冲洗带来了的微生物扩散污染，同时也减少了因水渍外溅带来的人力物力的清洁成本。本作品通过巧妙设计便池结构和固定端内壁形状，实现翻转过程中内外始终隔绝，达到密封效果，减少臭气溢出。
浙江大学
2021-04-13