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精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法
本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，包括增压泵；初级热交换器，其浸液入口与增压泵出口连通，浸液在其中进行热交换，实现浸液温度的初级调控；次级热交换器，其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通，浸液在其中进行再次热交换，实现浸液温度的次级调控；流量伺服阀，其入口与初级热交换器浸液出口连通，与次级热交换器形成并联，用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量，并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节，可实现对浸液温度的两级调控，从而获得温
华中科技大学
2021-04-14
液压绞车柔性牵引的水下运动体的速度控制方法及系统
本发明公开了一种基于液压绞车牵引的水下运动体的速度控制方法，包括：(1)确定主阀阀芯开度的设定值；(2)速度控制器获取当前的阀芯开度反馈值，并计算阀芯开度比；(3)若阀芯开度比不大于阈值，则以单调过阻尼的方式逐渐增大阀芯开度给定值值至阀芯开度设定值，若阀芯开度比大于阈值，则根据速度设定值与反馈速度值的差值以及阀芯开度反馈值,实时给定阀芯开度给定值；(4)液压绞车根据主阀阀芯的开度牵引柔性水下运动体以对应速度运动；(5)循环执行步骤(2)-(4)，直至小车速度达到设定值。本发明还公开了对应的控制系统。
华中科技大学
2021-04-14
一种适用于芯片转移的倒装键合控制方法
本发明属于芯片贴装工艺相关领域，并公开了一种适用于芯片 转移的倒装键合控制方法，主要包括：基于大转盘仰视相机和晶元盘 斜视相机的观测和配合，对芯片从晶元盘至大转盘单元的吸附转移执 行角度及位置控制；基于大转盘俯视相机和小转盘侧视相机的观测和 配合，对芯片从大转盘单元至小转盘单元的拾取转移执行角度及位置·108·控制；以及基于小转盘仰视相机和小转盘俯视相机的观测和配合，对 芯片至基板的贴合过程执行相应控制。通过本发明，不仅能够实现芯 片高效倒装键合整个过程中芯片在位置及角度
华中科技大学
2021-04-14
一种行星轮式越障机器人爬楼梯控制方法
本发明公开了一种行星轮式越障机器人爬楼梯控制方法，包括 如下步骤:1)保持越障机器人匀速直线前进，测量其同一驱动组中两 行星轮组与前方台阶的距离及行星轮组的转速，并计算偏转角;2)计算各行星轮组的理论转速，并使行星轮组以计算得出的转速进行运动; 3)检测当前的 L1 和 L2，并计算当前的偏转角θ;4)判断当前偏转角θ 是否超过预设值:若是，则转入步骤 2)，若否，则控制机器人继续等 速直线前进;5)判断两行星轮组是否到达阶梯:若否，则继续等速直 线
华中科技大学
2021-04-14
一种可穿戴式助力外骨骼上肢机构的控制方法
本发明公开了一种可穿戴式助力外骨骼上肢机构的控制方法，该方法包括以下步骤：(1)该方法首先采集小臂上的多维力传感器的信号；(2)实时控制器将多维力传感器接触点的力转换为该点期望的速度，通过运算进而得出肩关节和肘关节的期望角度；(3)实时控制器根据PID算法，运算并输出控制电机的电压信号；电机驱动器将该电压信号转化为控制电机的电流信号；大臂电机和小臂电机根据电流信号的大小，实现对肩关节和肘关节运动角度的控制，进而实现上肢大小臂位置的控制；本发明在人机间交互问题上有效、可靠，并具有对人体运动意图快速响应的特点。
浙江大学
2021-04-13
一种永磁同步感应电动机的混合控制方法
本发明属于电机控制技术领域,涉及一种永磁同步感应电动机的混合控制方法,先通过速度检测单元和电流检测单元测得永磁同步感应电动机的实际转速参数和电动机电流值,然后将实际转速参数和电动机电流值分别送给信号控制器模块和能量控制器模块,两个控制模块根据实际转速参数、电动机电流值和给定转速计算出控制电压值并送给选择开关模块,再由选择开关模块根据判断条件选择控制电压值并送给相逆变器,然后三相逆变器根据控制电压值将直流电源转变为三相交流电源驱动被控的永磁同步感应电动机,实现电动机稳定输出;其设计原理简单,安全可靠,控制步骤简单,控制速度精确,控制环境友好。
青岛大学
2021-04-13
一种真双极柔性直流输电系统的站级控制方法
本发明公开了一种对真双极系统的站级控制策略，换流站正、负两极换流器独立控制、运行，提高直流输电系统灵活性和可靠性，彻底解决原有系统中换流站与无源网络或孤岛新能源交流网络相连时失去有功功率调节能力、换流站与有源交流网络相连时正、负极电网间潮流不可调等问题。换流站与无源网络相连时，具有调节正、负极直流线路功率的能力；换流站与孤岛新能源交流网络相连时，具有调节正、负极直流线路功率的能力；换流站与有源交流网络相连时，通过换流站调节正、负极电网间潮流。
东南大学
2021-04-11
一种水轮机调节系统控制参数的优选方法
本发明公开了一种水轮机调节系统控制参数的优选方法，用于在水轮机调节系统中对PID控制参数进行优选。根据水轮机调节系统建立模型，然后依据该仿真系统建立以PID控制器控制参数为优化变量的目标函数，运用本发明设计的优选方法求解目标函数得到最优PID控制参数。本发明设计的水轮机调节系统控制参数的优选方法，采用一种新型启发式优化算法优化目标函数，能搜索到更优的目标函数值，得到的解代表更优的PID控制参数。更优的PID控制参数能使水轮机调节系统频率偏差更小，调节速度更快，系统响应曲线更加光滑，系统调节品质更高。
华中科技大学
2021-04-14
一种含双馈风电机组的电力系统故障电流计算方法
本发明公开了一种考虑双馈风电机组励磁调节特性的电力系统 故障电流值计算方法，包括 S1 建立双馈风电机组受励磁调节特性影响 的等效受控电流源模型；S2 建立电力系统的正序阻抗矩阵、负序阻抗 矩阵和零序阻抗矩阵； S3建立不同故障类型下的故障点边界条件方程； S4 进行迭代计算获得双馈风电机组的受控电流源值； S5 根据双馈风电 机组的受控电流源值、以阻抗矩阵表征的电网节点电压方程以及故障 点边界条件方程获得当前迭代计算时各节点的各序电压值，并计算实 际节点的电压值；S6 获得当前迭代计算的节点实际电
华中科技大学
2021-04-14
火电机组热能流失智能巡测系统
热力系统热能流失是高温、高压蒸汽未经做功或放热直接漏入低压系统的现象，故发生热能损失必然会使蒸汽品位下降，最终在热力循环终端回收工质的同时徒增冷源损失。大型火电机组在生产环节中的热能流失是普遍存在却又无法从根本上杜绝的问题。 本项成果利用蒸汽品位下降时温度、压力随动的特点，建立一个涵盖整个热力系统的热能流失监控系统，对相关参数进行连续监视，使系统具有判断发生热能流失的能力。尤其是对于复杂管系的判断，这不仅能有效提高机组的循环热效率，更能减少因管阀吹损导致的设备损坏。 应用本智能巡测系统后，可实现： ⑴ 可建立覆盖全系统的能量流失自动监测系统，连续监控、精准定位； ⑵ 减少阀门内漏引起的热力系统管阀吹损，提高相关设备的可靠性； ⑶ 为机组运行期间及时调整运行方式提供方向，为机组检修期间的消缺堵漏工作提供依据。 本智能巡测系统已在二台1000MW超超临界机组上安装运行，从目前的巡测情况看，巡测结果完全正确。
东南大学
2021-04-11