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一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺
本发明公开了一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺,包括步骤:(1)在单晶硅片上旋涂光刻胶并通过光学光刻或电子束光刻得到光刻胶图形 ;( 2 ) 镀 上 银 膜 或 金 膜 ;( 3 ) 在 电 场 之 中 , 采 用 HF 、H<sub>2</sub>O<sub>2</sub>和去离子水的混合溶液作为刻蚀剂进行金属催化刻蚀;(4)去除光刻胶;(5)去除单晶硅片上残留的金属膜并进行清洗处理。本发明通过在刻蚀过程中控制电场强度,由此形成从数十纳米至数
华中科技大学 2021-04-14
按需调控的量子光源
提出一种基于超构表面透镜双焦点辐射的量子点单光子源结构,该结构对位于双焦点上的量子点和其镜像的辐射光子能实现方向可控的准直出射,并能同时实现左右旋偏振态的按需调控。为提高光子的收集效率,在结构背部设置有一面反射镜,反射光子可以等效为量子点镜像发射的光子。实验制备该量子光源的最大挑战在于如何精确地把量子点和其镜像集成在超构表面透镜的双焦点上。王雪华教授团队通过发展超构表面制备技术和前期研究“三高”量子纠缠光子源【Nature Nanotechnology 14,586(2019)】所发展的定位精度达10纳米的荧光成像精确定位技术,实现了量子点和其镜像与超构表面透镜双焦点的精确重合,演示了到目前为此所报道的最小发散角(3.17度)的准直出射,并实现了左、右旋偏振态分离可调且偏振度达88%的按需调控单光子源。该研究工作提供了基于超构表面调控量子光源的新方案,为推进量子光源性能的按需调控和实用化向前迈出了非常重要的一步。
中山大学 2021-04-13
温室环境智能调控系统
本系统采用层次化、模块化设计,整个系统由数据采集控制模块、数据传输系统,用户界面和自动反馈系统组成。数据采集控制模块以单片机为核心,传感器采集光照强度、 CO2 浓度、土壤湿度等参数,也可以接收指令实现对风扇、水泵、加热板、 LED灯等控制器件的控制。传输数据时, 485 总线与 Zigbee 无线模块连接,每个数据采集控制模块, 通过无线传输将数据上传至服务器,服务器建立数据库,从而建立专家系统和溯源系统。用户界面分为 PC 终端和移动终端,可以在电脑上和安卓平台的移动设备上实时观测环境参数,并下
扬州大学 2021-04-14
温室环境智能调控系统
本系统采用层次化、模块化设计,整个系统由数据采集控制模块、数据传输系统,用户界面和自动反馈系统组成。数据采集控制模块以单片机为核心,传感器采集光照强度、CO2浓度、土壤湿度等参数,也可以接收指令实现对风扇、水泵、加热板、LED灯等控制器件的控制。传输数据时,485总线与Zigbee无线模块连接,每个数据采集控制模块,通过无线传输将数据上传至服务器,服务器建立数据库,从而建立专家系统和溯源系统。用户界面分为PC终端和移动终端,可以在电脑上和安卓平台的移动设备上实时观测环境参数,并下达指令做出调节。自
扬州大学 2021-04-14
根际调控肥料研发
一、成果简介 本研究研制的根际调控肥料为一类新型复合肥料,通过控制不同养分组分的比例和添加微量元素、植物生长调节剂等,使其具备能够促进根系生长,增强根系活力,促进根系吸收,提高光合效率,活根,状根,增强作物抗病能力,抑制病菌滋生等作用。本根际调剂肥养分全面、均衡,生产工艺先进,施用方式简单,收益显著,环境友好。广泛适用于作物耕种,园艺,草坪种植,土壤原位改良等方面 二、技术指标 (1)本产
中国农业大学 2021-04-14
作物连作障碍调控剂
项目的背景及目的 连作障碍是指同一块地连续栽培同一种植物,第二季以后作物生长发育状况极度不良,产量降低和品质变劣,病虫害发生频繁。农民为了防治蔬菜连作障碍,往往过量投入肥料和化学农药,直接导致农作物农药残留超标,食品安全难以保障。农作物食用安全问题已经各级政府和广大消费者等各方面的强烈关注。 从生物防治的角度可对作物连作障碍进行有效防治,根据作物生长的特性和作物连作障碍的发生机制,有针对性地对添加一些天然活性物质和营养物质,可显著地对作
南开大学 2021-04-14
网络化机器人群编队的分布式协调控制
研制了网络化移动机器人群编队的分布式协调控制系统,系统地开展了关于多机器人编队寻迹控制方法、无线网络下多机器人通信环境的建模和协议设计两个方面的研究;研制了基于OPNET的多机器人编队控制仿真平台和具有非完整约束的多移动机器人实物演示系统。
东南大学 2025-02-08
面向大型燃煤机组全工况灵活智能运行的协调控制策略
高效利用大型燃煤火电机组的灵活深度调峰优越性促进更大规模可再生能源电力消纳对构建我国新型电力系统具有重要积极影响。准确掌握燃煤机组频繁变化的调峰过程动态特性是设计高性能协调控制方案的前提条件。因此,本成果推出面向燃煤机组实际发电过程的智能抗扰控制关键技术及其控制器参数在线优化机制。 创新点 随着频繁大范围调峰已成为大型火电机组的常态化运行趋势,本成果设计了一种兼顾机组发电成本及碳排放量的全工况智能抗扰控制策略。通过有机融合误差自抗扰控制器与快速鸽群优化器,机组实现了对电网负荷指令的迅速响应。
华北电力大学 2025-03-26
基于深度学习的光伏并网系统电能质量预测及调控策略研究
本成果围绕光伏并网系统电能质量展开。基于深度学习算法,研究谐波等电能质量指标变化规律,运用特征提取技术处理时序数据,实现电能质量预测。研发基于态势感知的电能质量调控装置,总谐波补偿率不小于 90%,补偿次数 2 - 50 次。成果形式包括研究报告、调控装置示范应用,申请发明专利 3 项,发表论文 3 篇。应用场景涵盖光伏电站、配电网等,可提升电网可靠性与经济性,减少设备损耗、优化调控策略、降低弃光率,为新能源消纳提供支撑。
沈阳农业大学 2025-05-21
LiNbO3集成光波导电场传感器
主要应用领域:国防以及电力部门 特点: ? 体积小 ? 抗电磁干扰 (一)ns级电磁脉冲场测量系统 主要技术指标:能够对上升时间、半宽均为ns量级的电磁脉冲(如核电磁脉冲)进行时域波形测量;线性测量范围从100 V/m到超过100 kV/m,带宽范围从100 kHz到1 GHz。 (二)μs级电磁脉冲场测量系统 主要技术指标:能够对上升时间、半宽均为μs量级的电磁脉冲(如雷电电磁脉冲)进行时域波形测量;线性测量范围从100 kV/m到1000 kV/m。 (三)连续波电场测量系统 主要要技术指标:带宽范围从100 kHz到18 GHz,灵敏度达20 mV/m。
电子科技大学 2021-04-10
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