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沟道的刻蚀方法、半导体器件及其制备方法与电子设备
本发明提供了一种沟道的刻蚀方法,提供一待刻蚀对象,对所述待刻蚀对象一次刻蚀后,交替进行表面处理‑二次刻蚀,直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层;其中,一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层;表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层;所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层,以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤,既实现了对沟道层的保护,又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中,减少沟道层的损失量。
复旦大学 2021-01-12
北京师范大学珠海校区材料磁性综合测量仪等设备采购项目竞争性磋商
北京师范大学珠海校区材料磁性综合测量仪等设备采购项目竞争性磋商
北京师范大学 2022-05-27
一种用于呼吸内镜下测量肺内呼气末二氧化碳的装置
本实用新型提供一种用于呼吸内镜下测量肺内呼气末二氧化碳的装置,由三通管和测量导管组成,其中三通管的A端口为二氧化碳模块螺旋接口、B端口为侧口用于连接注射器、C端口固接金属管,测量导管的尾端套在金属管外,测量导管的头端设至至少2个侧孔E。测量导管选用软质空心管。本实用新型实现了通过软质或硬质支气管镜测量肺内各部位呼气末二氧化碳的需求,操作简单易行,不仅可以帮助进一步深入了解呼气末二氧化碳在呼吸生理及病理生理中的作用,更可用于监测支气管镜下介入诊疗患者呼吸频率和呼气末二氧化碳浓度,早期发现呼吸抑制及二氧化碳潴留等情况,提高患者安全。
浙江大学 2021-04-13
超高压同塔四回交流/双回双极直流线路零序参数测量法
本发明涉及一种超高压同塔四回交流/双回双极直流线路零序参数测量法,通过建立基于分布参数的 超高压同塔四回/双回双极输电线路模型,利用全球卫星定位系统技术(GPS),同时测量四回/四极输电 线路首末两端的零序电压和零序电流,实现对零序电压和零序电流的同步采样;再通过本专利给出的测 量与计算方法得到超高压同塔四回/双回双极输电线路的零序电阻、零序电感、零序电容参数。本发明方 法基于分布参数模型和传输线方程,极大提高了测量精度,可满足实际工程测量的需要。
武汉大学 2021-04-14
建筑工程结构裂纹状态监测方法及应用该方法的检测系统
本发明涉及一种园林滤池污水处理设施构建方法,主要结构包括池体、浅水槽、深水槽。池体内自下而上包括填料层、隔离层、透水砖步道层和树木层,并布有穿孔透气竖管。依据污水水质、水量和处理工艺要求,利用浅水槽、深水槽设计特点形成上向或下向流式的潜流流态。树木为耐水湿乡土园林乔、灌木,其根系位于填料层。本发明利用土地规划的绿地,结合园林树木的净化作用而构建,不另占或少占用土地,受气候影响小,持续性效果好,无二次污染,易维护且费用低。能广泛应用于村镇、小区、企事业单位、单体建筑的生活污水,以及畜禽养殖场等废水的分散达标处理,减轻市政污水处理压力,实现污水处理与资源化利用、环境美化和木材生产为一体的功能目标。
天津城建大学 2021-04-11
一种用于 wav 格式音频信息的嵌入方法和提取方法
本发明公开了一种用于 wav 音频信息的嵌入方法,包括步骤:wav 格式音频、该用户需要嵌入 wav 格式音频中的消息、第一算法参数和第二算法参数的输入;将需要嵌入 wav 格式音频中的消息进行格式化处理,以生成包含段头标识符、校验和、需要嵌入 wav 格式音频中的消息、段尾标识符的协议段;随机偏移数、第一算法参数和第二算法参数分别加密为 16 位、16 位、32 位的二进制比特串,并设置已嵌入比特数为 0,选择将 wav 格式音频的第(64+随机偏移数)帧的第一个采样点设置为采样点i0,将每连续的
华中科技大学 2021-04-14
一种双加工点共轨运动控制方法、加工方法及其装置
本发明公开了一种双加工点共轨运动控制方法、加工方法及其装置,用于在数控机床加工轮廓轨迹时实现主加工点和副加工点同时位于该轮廓轨迹上,包括 S1 根据主加工点的坐标、行进方向以及与副加工点的距离,计算副加工点在轮廓轨迹上的位置以及弦线的方向;S2 计算弦线在下一时刻的方向;S3 计算该弦线旋转的角度;S4 计算弦线旋转需要加工点在工件坐标系下分别在 X 轴和 Y 轴方向的补偿量;S5 结合工件坐标系和机床坐标系的换算关系,获得主加工点和副加工点的绝对坐标,实现双加工点共轨控制。本发明方法填补了实际加工
华中科技大学 2021-04-14
一种重力梯度仪自标定方法及离心梯度补偿方法
本发明公开一种重力梯度仪自标定方法及离心梯度补偿方法,其中重力梯度仪自标定方法通过改变重力梯度仪的水平倾斜角或惯性稳定平台的旋转角速度改变重力梯度仪敏感的离心梯度,记录不同离心梯度激励下重力梯度仪的输出及检测的离心梯度数据完成重力梯度仪标度系数、零偏的标定;根据标定模型及重力梯度仪的输出得到含有离心梯度的重力梯度数据,将其减去检测的离心梯度,实现离心梯度补偿。本发明提供的标定方法可由计算机自动运行,实现自标定,该方法仅依靠重力梯度仪本身,不需要依赖外部检测质量即可完成标定,该标定方法,方便、简洁、容易实施。
东南大学 2021-04-11
海带打结机及打结方法
海带作为一种重要的美食,在国内外具有极大的市场需求。海带的打结对于海产品产业经济的发展具有重要的意义。目前人工徒手完成,打结效率低,用工成本高。针对以上难题,设计海带打结机及打结方法。 该项目独创由步进电机带动圆盘式上料装置上料技术,三对打结指模拟手工打结技术,快速方便的独特切割技术,电-气控制相结合技术等技术解决了当前海带打结机打结效率低等难题。
青岛农业大学 2021-05-07
纳米孔靶向测序检测方法
介武汉大学联合团队创新性开发了纳米孔靶向测序检测方法,能大幅提升病毒阳性检出率,并能实现当天同时检测新冠和其他10大类、40种常见呼吸道病毒并监测病毒突变。既往新冠病毒诊断依赖于qPCR核酸检测,但是该方法显示出较高的假阴性率和低敏感性,阳性检出率仅为30%至50%,从而导致临床高度疑似新冠感染患者或低病毒潜伏的“假痊愈患者”检测“假阴性”现象频发。此外,qPCR核酸检测无法同时检测其他秋冬季高发、症状与新冠相似的其他呼吸道病毒,给疫情防控和患者分流管理带来极大挑战。
武汉大学 2021-04-10
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