HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业，HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格： 型号：BD/HMDS-6090   内形尺寸：450×450×450     型号：BD/HMDS-6210   内形尺寸：560×640×600   二、 技术参数： 1、控温范围：RT+10～250℃  2、温度分辨率：0.1℃     3、温度波动度：±1℃ 4、达到真空度：小于133Pa 5、真空度：100Pa～100000Pa 6、定时范围：1～9999min 7、工作室材料：316L 8、样品架：2块、3块 9、真空泵：4L/S 10、电源电压：220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率：3000W、4500W 三、产品特点： 1、外壳采用冷轧钢板制造，表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程： 1、首先确定烘箱工作温度； 2、预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充入氮气，充到达到某低真空度后，再次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。 五、控制系统： 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏，三菱PLC控制器； 2、富士微电脑双数显温度PID控制器，控温精确可靠； 六、保护系统： 1、漏电保护； 2、超温保护； 3、缺液保护；              七、设备使用条件： 1、环境温度：5℃～＋28℃（24小时内平均温度≤28℃） 2、环境湿度：≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺： 保修十二个月，免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。

鉴于电厂贮灰坝坝体安全的重要性，对贮灰坝进行自动监测是现代管理的需要，同时与当代高新科技发展相适应，建立先进的计算机监测系统。 本系统的主要作用在于：1、建立电厂贮灰坝坝体渗流、变形（长期）自动监测系统；2、实现电厂、电管局的远距离监控；3、实现对监测坝体稳定的实时分析和安全预警。 系统监测内容：1、贮灰坝浸润线的位置；2、贮灰坝运行期的沉降和水平变位。 系统运行方式：1、现场监测人员的手动巡检；2、电厂监控（拨号或光纤上网）。 监测仪器与设备：监测系统采用的监测仪器以稳定、可靠和耐久为原则，对埋设在坝体内部的监测仪器渗压计和多点变位计，全部选用美国GEOKON（基康）公司产品。 数据采集系统有三个模块：数据采集模块、数据库模块、图形显示模块。数据采集模块可以实时采集数据并可按给定的时间间隔采集数据，数据库模块将采集的数据存储起来，图形显示模块进行形象的显示同时进行安全诊断等。 监测系统组成：监测系统主要由监测仪器系统、数据采集系统、数据管理系统、安全预警系统四部分组成。

飞控计算机自动验收测试系统 一、主要功能和应用领域 本系统将传统飞控计算机ITF设备及DIF设备集成化，设计实现了一款小型化、通用化和自动化的飞控计算机自动验收测试系统（自动ATP系统）。其主要应用于无人机飞控计算机入场验收测试。 飞控计算机自动验收测试系统具有以下功能： ？ 阻抗测试功能：具备阻抗测试功能，能通过本硬件平台，自动测试飞控计算机每个航插中各个通道两两之间的电阻阻值，并自动显示及输出测试结果； ？ 模拟量输入信号测试功能：能够输出待测飞控计算机所需模拟量输入信号，通过串口监控飞控计算机工作状态，输出模拟量输入信号测试结果； ？ 模拟量输出信号测试功能：通过串口控制飞控计算机工作，使之产生特定模拟量输出信号，同时设备采集其模拟量输出信号，并与设定值比对，得到测试结果并自动显示及输出； ？ 离散量输入信号测试功能：能够输出待测飞控计算机所需离散量输入信号，通过串口监控飞控计算机工作状态，输出离散量输入信号测试结果； ？ 离散量输出信号测试功能：通过串口控制飞控计算机工作，使之产生特定离散量输出信号，同时设备采集其离散量输出信号，并与设定值比对，得到测试结果并自动显示及输出； ？ 串口信号测试功能：通过测试设备，控制对应串口收发，并监控飞控计算机串口工作状态，得到测试结果并自动显示及输出； 二、特色及先进性 1、小型化 本设备结构从空间上大致分为两部分，分居上下两层，下层选用占用空间较小的PXI 3U十三槽标准模块，上层为与PXI模块空间大致相等的仿PXI的非标准信号调理模块。在每一模块每一板卡每一单元电路的设计中，需选用占用较小空间、较小封装的元器件。为了节约空间，自动验收测试系统硬件平台阻抗测试待测航插只选用一块，测试时只需更换特定待测航插即可完成阻抗测试，既节约了空间又实现了自动化的阻抗测试功能。

设计实现了一款小型化、通用化和自本系统将传统飞控计算机ITF设备及DIF设备集成化，设动化的飞控计算机自动验收测试系统(自动ATP系统)o其主要应用于无人机飞控计算机入场验飞控计算机自动验收测试系统具有以下功能:●阻抗测试功能:具备阻抗测试功能，能通过本硬件平台，自动测试飞控计算机每个航插中各个通道两两之间的电阻阻值，并自动显示及输出测试结果;模拟量输入信号测试功能:能够输出待测飞控计算机所需模拟量输入信号，通过串口监控飞控计算机工作状态，输出模拟量输入信号测试结果;●模拟量输出信号测试功能:通过串口控制飞控计算机工作，使之产生特定模拟量输出信号，同时设备采集其模拟量输出信号，并与设定值比对，得到测试结果并自动显示及输出;●离散量输入信号测试功能:能够输出待测飞控计算机所需离散量输入信号，通过串口监控飞控计算机工作状态,输出离散量输入信号测试结果;●离散量输出信号测试功能:通过串口控制飞控计算机工作，使之产生特定离散量输出信号，同时设备采集其离散量输出信号,并与设定值比对,得到测试结果并自动显示及输出;●串口信号测试功能:通过测试设备，控制对应串口收发，并监控?飞控计算机串口工作状态，

设计实现了一款小型化、通用化和自本系统将传统飞控计算机ITF设备及DIF设备集成化，设动化的飞控计算机自动验收测试系统(自动ATP系统)o其主要应用于无人机飞控计算机入场验飞控计算机自动验收测试系统具有以下功能:●阻抗测试功能:具备阻抗测试功能，能通过本硬件平台，自动测试飞控计算机每个航插中各个通道两两之间的电阻阻值，并自动显示及输出测试结果;模拟量输入信号测试功能:能够输出待测飞控计算机所需模拟量输入信号，通过串口监控飞控计算机工作状态，输出模拟量输入信号测试结果;●模拟量输出信号测试功能:通过串口控制飞控计算机工作，使之产生特定模拟量输出信号，同时设备采集其模拟量输出信号，并与设定值比对，得到测试结果并自动显示及输出;●离散量输入信号测试功能:能够输出待测飞控计算机所需离散量输入信号，通过串口监控飞控计算机工作状态,输出离散量输入信号测试结果;●离散量输出信号测试功能:通过串口控制飞控计算机工作，使之产生特定离散量输出信号，同时设备采集其离散量输出信号,并与设定值比对,得到测试结果并自动显示及输出;●串口信号测试功能:通过测试设备，控制对应串口收发，并监控。

MBIT(维护性自检测)设备，是对飞机飞行控制系统各个部件进行功能和性能测试、故障检测、提供维护检测信息，并对在测试进行日常维护和部件更换，确保飞行控制系统的稳定性和安全性。其主要功能是对飞行计算机测试、导航传感器状态监控与标定、作动器的测试、交联系统、的测试，发动机性能测试和下载飞中，飞前自检测故障等。主要应用在无人机飞行控制系统中，由维护人员在地面通过此设备对'飞机部件进行检测。

MBIT(维护性自检测)设备，是对飞机飞行控制系统各个部件进行功能和性能测试、故障检测、提供维护检测信息，并对在测试进行日常维护和部件更换，确保飞行控制系统的稳定性和安全性。其主要功能是对飞行计算机测试、导航传感器状态监控与标定、作动器的测试、交联系统、的测试，发动机性能测试和下载飞中，飞前自检测故障等。主要应用在无人机飞行控制系统中，由维护人员在地面通过此设备对'飞机部件进行检测。

成果简介： 飞控计算机自动验收测试系统 一、主要功能和应用领域 本系统将传统飞控计算机ITF设备及DIF设备集成化，设计实现了一款小型化、通用化和自动化的飞控计算机自动验收测试系统（自动ATP系统）。其主要应用于无人机飞控计算机入场验收测试。 飞控计算机自动验收测试系统具有以下功能： 阻抗测试功能：具备阻抗测试功能，能通过本硬件平台，自动测试飞控计算机每个航插中各个通道两两之间的电阻阻值，并自动显示及输出测试结果； 模拟量输入信号测试功能：能够输出待测飞控计算机所需模拟量输入信号，通过串口监控飞控计算机工作状态，输出模拟量输入信号测试结果； 模拟量输出信号测试功能：通过串口控制飞控计算机工作，使之产生特定模拟量输出信号，同时设备采集其模拟量输出信号，并与设定值比对，得到测试结果并自动显示及输出； 离散量输入信号测试功能：能够输出待测飞控计算机所需离散量输入信号，通过串口监控飞控计算机工作状态，输出离散量输入信号测试结果； 离散量输出信号测试功能：通过串口控制飞控计算机工作，使之产生特定离散量输出信号，同时设备采集其离散量输出信号，并与设定值比对，得到测试结果并自动显示及输出； 串口信号测试功能：通过测试设备，控制对应串口收发，并监控飞控计算机串口工作状态，得到测试结果并自动显示及输出； 二、特色及先进性 1、小型化 本设备结构从空间上大致分为两部分，分居上下两层，下层选用占用空间较小的PXI 3U十三槽标准模块，上层为与PXI模块空间大致相等的仿PXI的非标准信号调理模块。在每一模块每一板卡每一单元电路的设计中，需选用占用较小空间、较小封装的元器件。为了节约空间，自动验收测试系统硬件平台阻抗测试待测航插只选用一块，测试时只需更换特定待测航插即可完成阻抗测试，既节约了空间又实现了自动化的阻抗测试功能。 2、通用化 当飞控计算机型号变更时，测试人员只需更换调理背板，根据新需求完成信号分类，即可实现设备模块化要求。若飞控计算机有新的待测信号特性，则只需更换对应信号调理板卡即可实现。 3、自动化 本设备能自动地完成阻抗测试及综合测试，测试人员只需进行简单的操作即可完成所有飞控计算机入场验收测试。测试结果自动生成。 三、技术指标 1、本设备的关键技术指标如表1所示。 表1 测试类型 指标名称 指标量值 模拟量输入测试 采样速率 250kHz 测试误差 <0.5% 模拟量输出测试 建立时间 <30ms 测试误差 <0.5% 离散量输入输出测试 高电平最小值 2.0V 低电平最大值 0.8V 串口测试 波特率 115.2K 阻抗测试 测试误差 <0.5% 系统可靠性 MTBF ≥10000h 2、其它指标 温度：工作温度为-40℃～+55℃，贮存温度为-43℃～+70℃。 防水：防溅水。 防振：PXI 机箱带包装箱振动，为承受工业和野外环境而设计的，模块也都具有牢固的接插端，通过后期的加固处理，可以抵抗撞击与振动。 安全性：符合GB 4793.1-2007的要求。 成本约束：尽量采用成本低、技术成熟的构件，提高军事经济效益。 四、能为产业解决的关键问题和实施后取得的效果 传统的飞控计算机自动验收测试系统设备体积庞大不易移动，待测飞控计算机型号变更则需要更换整套设备，测试操作极为复杂。本系统将传统设备小型化、模块化、自动化，大大提高了无人机飞控计算机的入场测试效率、准确度及通用性。系统设备如图2所示。