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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途: Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低 TCR(≤25ppm/℃)要求。 技术原理与工艺流程简介: 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下:温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 应用领域: 集成电路、电子元器件 合作方式及条件:具体面议
天津大学 2021-04-11
微生物转化生产洛伐他汀中间体 R-J6 的关键技术
他汀类药物(statins)是一类羟甲基戊二酰辅酶 A (HMG-CoA)还原酶选择性抑制剂,能够降低血浆胆固醇和脂蛋白水平,是防治冠心病、脑中风、高血脂、动脉粥样硬化的首选用药。目前,工业化生产他汀类药物侧链关键中间体主要途径为化学合成法,此法反应步聚复杂,条件不易控制,所需手性试剂价格昂贵,污染严重,收率低。而酶法催化生产他汀类药物侧链关键中间体具有工艺简单、周期短、耗能低、专一性强、收率高、提取方便等优点,因而受到越来越多的关注。采用酶法合成瑞舒伐他汀钙侧链关键中间体,体现降耗环保的时代需求;采用非水相体系进行酶催化反应,解决了底物难溶的瓶颈问题。 
江南大学 2021-04-11
百万千瓦等级汽轮机长叶片关键制造技术研发及产业化
1、主要技术内容、获奖情况 通过本项目的实施,掌握了百万等级超长叶片小余量数值模拟锻造及工艺优化技术、大型疏水槽空心叶片自动化焊接及变形控制技术、末级动叶片多阶静频测量及调频控制技术、末级动叶片进汽边防水蚀控制技术(硬化层深度可控的激光硬化技术和激光熔覆技术)、大型末级动叶精密机械加工控制技术、叶片产业化数字制造技术等关键技术,开发了满足重大工程需求的百万千瓦等级汽轮机系列长叶片,打破了国外大公司在该领域长期技术垄断,掌握了核心技术,提升高端长叶片品质,降低了百万等级机组制造成本,优化了产品工艺,加快实现百万千瓦等级机组的自主化和国际化进程,为推动我国电站装备制造行业及电力能源产业结构调整奠定了坚实的基础。 获奖情况:2015 年中国机械工业科技技术奖一等奖 2、成果的技术指标、创新性与先进性 (1)在国内采用超长叶片小余量数值模拟锻造及工艺优化技术,首次实现了世界最长的百万等级核电汽轮机 75 英寸(1905mm)叶片和百万超超临界汽轮机 60 英寸(1524mm)钛合金叶片研制。 (2)在国内采用激光硬化和激光熔覆技术,分别首次实现了国内最长的百万千瓦超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)末级动叶片和百万千瓦超超临界汽轮机 48 英寸(1220mm)末级动叶片进汽边防水蚀处理。 (3)在国内采用多阶静频测量及调频控制技术,使静频一次合格率提高到了 90%,首次实现了百万千瓦超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)叶片 1~6 阶静频测量及调频(柔性自由叶片)。 (4)在国内首次对 1 米以上超大空心叶片采用自动化焊接技术,研制成功了国内最长的百万千瓦超超临界汽轮机 41 英寸(1050mm)末级空心静叶片和百万千瓦核电汽轮机 51 英寸(1292mm)末级空心静叶片。 (5)通过采用信息化与工艺技术的集成,加快了在产业化中产品开发效率和质量,首次实现了产品开发过程中的锻造工艺的自动化设计、叶片型面数据的自动化测量分析、产品质量数据的自动化收集与分析。 3、技术成熟度 百万千瓦等级汽轮机长叶片关键制造技术已成熟应用于百万等级核电汽轮机 57 英寸(1448mm)末级动叶片、CAP1000 核电汽轮机 67 英寸(1710mm)末级动叶片、CAP1400 核电 71(1800mm)、72(1828mm)、75(1905mm)英寸末级动叶片、百万超超临界汽轮机 60 英寸(1524mm)钛合金叶片、百万千瓦超超临界汽轮机 48 英寸(1220mm)末级动叶片、百万超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)柔性自由末级动叶片和 41 英寸(1050mm)末级空心静叶、CPR1000 核电汽轮机 51英寸(1292mm)空心静叶片等一系列具有国际先进水平的长叶片研制中,并实现了产业化。 4、应用情况 江南大学和无锡透平叶片有限公司联合研制生产的百万千瓦等级汽轮机长叶片已批量经交付给东方汽轮机厂、上海汽轮机厂、哈尔滨汽轮机厂、日本三菱日立、德国西门子等公司,百万等级核电叶片已通过用户和中广核的共同鉴定,无锡透平叶片有限公司因此列入中广核国内唯一的核电叶片供货商名单。目前产品已经分别成功运用在国内岭澳核电站二期、红沿河一期、北仓港电厂、华能玉环电厂等,经用户使用后反映良好。
江南大学 2021-04-13
浙江省科学技术厅关于公开 征求《关于建设高标准中国浙江网上技术市场 加快构建市场化科技成果转化机制的意见(征求意见稿)》意见的通知
为深入贯彻党的二十大精神,充分发挥科技成果需求侧的激励导向作用,推动科技成果价值早发现、早实现,提高科技成果转化和产业化水平,我厅研究起草了《关于建设高标准中国浙江网上技术市场 加快构建市场化科技成果转化机制的意见(征求意见稿)》,现公开征求意见,如有修改意见建议,请于8月23日前反馈我厅。
浙江省科学技术厅 2023-08-14
2022年度国家自然科学基金委员会与韩国国家研究基金会合作交流与双边研讨会项目指南
根据国家自然科学基金委员会(NSFC)与韩国国家研究基金会(NRF)的合作协议,双方共同资助中韩两国科研人员在科学研究基础上开展的合作交流与双边研讨会项目。
国家自然科学基金委员会 2021-12-22
西安交大全球健康研究院与合作者最新研究显示:我国成人糖尿病患病率仍在上升 亟需加大防控力度
如果未来可防可控的危险因素不能得到有效控制,超重肥胖率上升不能放缓,糖尿病疾病负担仍将加重,将影响“健康中国2030行动目标”的实现。
西安交通大学 2021-12-30
东南大学生物科学与医学工程学院磁共振造影剂弛豫率分析仪采购公开招标公告
东南大学生物科学与医学工程学院磁共振造影剂弛豫率分析仪采购招标项目的潜在投标人应在东南大学采购中心网(https://dnzb.seu.edu.cn/)获取招标文件,并于2022年07月05日14点30分(北京时间)前递交投标文件。
东南大学 2022-06-14
北京外国语大学《新世纪东方区域文学年谱整理与研究2000-2020》丛书采购项目(第二次)竞争性磋商公告
北京外国语大学《新世纪东方区域文学年谱整理与研究2000-2020》丛书采购项目(第二次)竞争性磋商
北京外国语大学 2022-06-14
【第57届高博会系列报道之八】第六届中国高等教育智慧教学与课堂教学改革论坛在西安举办
来自全国数百所高校近700名教师参与本次论坛。
中国高等教育学会 2022-08-08
南京大学地理与海洋科学学院在晚新生代草原生态系统演化研究中取得新进展
这项研究首先建立了全球现代禾本科物种与气候对应关系数据集~1200万条,发现~10°C等温线是北美、东亚地区早熟禾亚科和黍亚科/虎尾草亚科分布的分界线,~400 mm等降水量线是北美、南非地区黍亚科和虎尾草亚科的分界线;同时发现各个大陆禾本科物种分布特征、气候适应区间有所不同,可能原因是区域气候,地形和本地物种等非生物和生物因素造成的。
南京大学 2022-06-14
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