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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途: Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性 好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来 说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻 温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数 (TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的 TCR 在温度变化时 会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜 电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低 TCR(≤25ppm/℃)要求。 技术原理与工艺流程简介: 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度 系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为 兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻 靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜 稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。 C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量 的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。 技术指标如下: 温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后 ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 应用领域: 集成电路、电子元器件 合作方式及条件:具体面议 2 半导体微环激光器 3 基光电集成电路 4 无线网络与应用:协作无线网络 5 移动通信—LTE 技术
天津大学 2021-04-11
支持大数据理解的头戴式无障碍呈现技术装备与云服务平台
一、项目简介 当前虚实融合技术面临的重大挑战可以归结为以下两个关键科学问题:(1)非配合虚实环境的无缝融合与交互自然呈现。(2)云环境下虚实融合环境的语义理解、统一表达与应用软件快速定制。为解决上述两个关键科学问题和技术瓶颈,本项目重点研究了自然虚实融合呈现的硬软件技术和装置,构建虚实融合应用流程框架和规范,创新云软件定制和服务模式,实现应用示范。充分利用移动、穿戴式设备的多传感器优势以及云端结合方式进行三维结构的重建、语义标注、识别理解与信息关联。 二、前期研究基础 目前已发表论文10篇,包括4篇期刊论文等(包括TIP、TMM等权威期刊论文)。申请专利3 项。 三、应用技术成果 1)基于搜索的图像深度估计,相对误差低于传统方法,对训练集的需求小于基于深度学习的方法。 Make3D数据集的深度估计结果2)基于双模深度玻尔兹曼机(DBM)的三维场景物体检测框架,给出了RGBD训练数据不足的难题,流程如下 3)基于序列约束的哈希算法在不同比特率情况下均取得了很好的效果。 在LabelMe和Tiny100K上使用不同哈希比特率的效果
厦门大学 2021-04-11
一种基于VR技术的非机动车道路段服务水平测算方法
本发明属于交通运输领域,涉及一种基于VR技术的非机动车道路段服务水平测算方法,包括以下步骤:A、筛选典型路段;B、录制典型路段视频;C、处理路段视频和采集道路交通状况数据信息;D、进行非机动车道满意度调查实验;E、建立非机动车道服务水平模型。
北京交通大学 2021-04-10
基于拉曼光谱技术的等鞭金藻中胡萝卜素分布的检测方法
本发明公开了一种基于拉曼光谱技术的等鞭金藻中胡萝卜素分布的检测方法,采用拉曼光谱仪,获取活体等鞭金藻藻液样本的拉曼光谱原始信息;以色素中的胡萝卜素为例,结合曼光谱仪获取胡萝卜素标准品的谱线;将获得的等鞭金藻藻液样本的原始拉曼数据进行预处理,结合胡萝卜素的标准品谱线,指认等鞭金藻藻液样本的拉曼谱峰对应的谱峰位置;选取一定区域的藻液样本进行面扫描,将胡萝卜素对应的特征谱峰处的拉曼强度值进行积分,即可得到等鞭金藻藻液中胡萝卜素分布的化学图像。本发明解决了现有检测方法需要对样本进行染色或复杂的化学处理,操作相对繁琐、耗时、耗力的问题。
浙江大学 2021-04-11
福建省科学技术厅关于发布2023年“揭榜挂帅”项目榜单的通知
为落实试点“揭榜挂帅”机制等省委、省政府工作部署,以问题为导向,以需求为牵引,结合福建省“十四五”科技发展和创新驱动专项规划,根据《福建省科学技术厅关于印发〈进一步建立健全省级科技计划项目“揭榜挂帅”“赛马”攻关机制的若干措施(试行)〉的通知》(闽科规〔2022〕7号)要求,凝练形成了2023年度“揭榜挂帅”项目榜单,现予以发榜。
福建省科学技术厅 2023-04-19
关于组织开展山东省技术转移先进县(市、区)绩效评价工作的通知
评价坚持“科学、规范、公平、公正”原则,根据各县(市、区)技术转移体系建设情况,科学制定评价指标,以实际数据为主要评价依据,定性定量评价相结合,进行全面、客观的综合评价。
山东省科学技术厅 2022-04-12
【光明日报】第二届科创中国·高等学校技术交易大会召开
日前,第二届科创中国·高等学校技术交易大会在重庆召开。中国高等教育学会副会长、中国工程院院士周玉在致辞中指出,高校是落实教育优先发展、科技自强自立、人才引领驱动一体推进的重要载体与平台,在“双一流”建设大背景下应瞄准国家和区域经济社会发展需求,广泛促进高校科技成果走向市场,助力科技自立自强和区域高质量质量发展。
云上高博会 2023-04-18
湖北省科技厅关于公布2023年乡村振兴实用技术大赛结果的通知
为深入贯彻中央及省委、省政府关于全面推进乡村振兴和实施强县工程的决策部署,省科技厅组织了以“科技引领乡村振兴”为主题的2023年乡村振兴实用技术大赛。经过专家评审、分区初赛、网络投票和现场决赛,“楚宝黑头羊高效繁育技术”等5项技术荣获大赛一等奖,“农村有机废弃物高效厌氧处理技术”等10项技术获二等奖,“秸秆再利用生产育秧盘技术”等25项技术获三等奖,“农村免水防冻微生物厕卫改造技术”等60项技术获优秀奖,宜昌市科学技术局等10个单位被评为优秀组织奖,具体名单见附件。
湖北省科学技术厅 2023-07-12
关于公布2022年度湖南省科学技术奖提名单位(专家)的通知
根据《湖南省科学技术奖励办法》(以下称《办法》)第十七条的有关规定,现公布具备2022年度湖南省科学技术奖提名资格的提名单位、提名专家名单(排序不分先后)。请各提名单位、提名专家按照《办法》要求做好今年的提名工作。
湖南省科学技术厅门户网站 2023-07-31
一种基于单分子器件平台的单分子电学检测新方法和新技术
利用硅基单分子器件研究了分子马达水解的动力学过程,发现了无标记的电学检测方法观察到的分子马达的转动速度要比荧光标记的方法快一个数量级(ACS Nano 2018, 11, 12789)以苯环为骨架、芴基为核心的共轭分子,并在末端修饰上氨基,通过稳定的酰胺键将带有羰基官能团的功能分子连接在石墨烯电极之间,通过使用自主搭建的高速电学测试平台对化学反应进行了实时监测。大的共轭结构以及酰胺共价键的强耦合保证了分子具有良好的导电性;在化学反应进行的过程中,分子结构的变化将导致分子轨道发生改变,从而影响导电通道,影响器件的电导特性。
北京大学 2021-04-11
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