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一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法,属于微机电系统的封装方法,解决现有封装方法存在的问题,使得微型真空腔长时间保持真空,满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括:刻蚀步骤:在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑,再环绕凹坑刻蚀环形凹槽;吸气剂淀积步骤:在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜;键合步骤:在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题,可以长时间保持微型腔体内的真空度,极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学 2021-04-14
5、高压真空开关用铜铬合金触头材料
本项目采用真空熔铸方法,解决了 Cu-Cr 合金铸造产生的成分偏析及组织不 均匀问题,得到的显微组织细化、成分均匀化,尤其是合金中 Cr 粒子的细化问 题,大幅度提高耐电压强度,同时又能保持铜的高导电性,触头的小型化才有实 现的可能。本方法还能回收利用生产废料,因此生产工艺更为环保。而且生产成 本大大降低,性能还有所提高。本项目制备的触头材料,性能与国内外同类产品 相比,在导电性,均匀性,组织细化等多方面全面领先。
上海理工大学 2021-01-12
BEX-8510 理想真空二极管综合实验装置
实验原理   金属中存在大量的自由电子,但电子在金属内部所具有的能量低于在外部所具有的能量,因而电子逸出金属时需要给电子提供一定的能量,这份能量称为电子逸出功。研究电子逸出是一项很有意义的工作,很多电子器件都与电子发射有关,因此研究这种材料的物理性质,对提高材料的性能是十分重要的。另外本实验还可以利用磁控法测量电子荷质比,研究真空中电子能量遵从费米-狄拉克分布。   仪器概述 本实验装置的核心部件是一只理想(真空)二极管和套在理想二极管外的通电螺线管线圈。本实验通过测量金属钨的电子逸出功,将钨丝作为“理想”二极管阴极材料,阳极做成与阴极共轴的圆柱,把阴极发射面限制在温度均匀的一定长度内而又可以近似的把电极看成是无限长的无边缘效应的理想状态。金属电子逸出功(功函数)的测定实验,综合性地应用了里查逊直线测定法、外延测量法、补偿测量法和磁控法等基本方法。在数据处理方面有比较好的技巧性训练。因此,这是一个比较有意义的实验。   仪器特点 独立的理想真空二极管座:理想真空二极管插在独立的管座之上,并且配有透明的亚克力保护罩,既可以直观的观察真空二极管的工作状态,还可以有效地保护玻璃器件。独立的管座上刻有清晰的实验原理图,可以使得学生更好的理解整个实验原理。   精确的阳极电流测量模块:阳极电流测量模块采用微安级电流放大器,采用四位半数显表,测量范围可达0.1uA~20mA,可以准确、精细、稳定地测量到微弱的阳极电流。 稳定的阳极电压输出模块:阳极电压输出采用线性电源,输出幅度达到0~160.0V,可以稳定、高效地提供真空二极管的阳极电压。 便捷的数据采集接口:每个实验电源都配置模拟数据采集接口,可以连接电压传感器和PASCO数据采集软件,可以实时地采集大量的数据来分析测试结果,方便、快捷、高效地完成实验内容。   实验内容及典型数据 实验一:金属电子逸出功的测定 表1:在不同阳极电压和灯丝温度下的阳极电流及其对数值,作 lgIa~√Ua 图,得到不同温度下的截距 lgI 填入表2。     表2: 在不同温度T时所算得的 lg( I / T2) 和 1/T 的值 根据表2作 lg( I / T2) ~1/T 图,求直线斜率 m 直线斜率:m = -22802 逸出电势: φ = 4.53 (V) 逸出功(功函数)eφ = 4.53 eV 与逸出功(功函数)公认值 eφ=4.54eV 相比的相对误差:Er = 0.33%   实验二:电子在径向电场和轴向磁场中的运动(磁控法测量电子荷质比)   实验三:费米-狄拉克分布的研究     实验四:理想真空二极管的伏安特性   部件清单 金属电子逸出功实验仪   BEM-5715    可调直流 (恒压恒流) 电源I,12V/1A   BEM-5055    理想真空二极管盒   BEM-5716    螺线管线圈   BC-105236    连接导线,2mm护套香蕉插头,红   BC-105238   【2】 连接导线,2mm护套香蕉插头,黑   BC-105239   【2】 连接导线,4mm香蕉插头,红   BC-105084    连接导线,4mm香蕉插头,黑   BC-105083    连接导线,4mm护套香蕉插头1m, 红   BC-105074    连接导线,4mm护套香蕉插头1m, 黑   BC-105073    电源线   BC-105075    用户手册   CD-M-BEX-8510B  
上海科铭仪器有限公司 2021-12-17
镍基高温合金组织结构超声智能评价方法
航空发动机机匣是一种复杂薄壁零件,其加工变形问题是我国航空发动机制造的关键技术瓶颈。机匣毛坯组织结构的均匀性是影响机匣加工变形的主要原因之一。镍基高温合金具有优异的高温强度,良好的抗氧化和抗热腐蚀性能,是航空发动机机匣的主要原料。镍基高温合金铸、锻件组织结构的无损检测与定量评价是实现组织结构均匀性检测与评价的基础,有助于准确判断毛坯制造质量,表征制造工艺改进的有效性,降低机匣加工变形概率。 超声检测具有穿透能力强,灵敏度和分辨率高、可定位和定量检测等优点,在航空发动机大规格高温合金构件制造质量检测领域得到了广泛应用。超声检测信号特征值与材料组织结构变化、二次相或沉淀物的形成相关,具备有效评价镍基高温合金的组织结构的能力。现有镍基高温合金铸、锻件组织结构的超声检测以噪声波高为主要判据,指标简单、阈值设置严格、误判率高,无法适应不断改进的制造工艺。 组织结构超声定量评价技术的核心是确定微观组织特征参数与超声检测特征参数之间的定量关系模型,其本质是以模型待定系数为决策变量,以评价准确性为目标函数的优化问题。超声波在镍基高温合金中传播时,受到晶界、相界、孪晶等复杂组织结构的综合作用,若采用声速、衰减系数、非线性系数等单一超声检测参数对组织结构进行建模与评价,会因信息量的缺失而导致评价误差大;若增加检测参数规模,则会导致所对应优化问题的困难性大幅增加。 本研究以镍基高温合金组织结构定量评价为主要研究对象,围绕如何利用协同进化算法求解定量评价的大规模优化问题、以及如何同时利用多种微观组织特征参数对镍基高温合金进行综合表征展开研究。科研成果为航空发动机机匣镍基高温合金毛坯制造质量检测、评价、性能预测提供技术支持,为制造工艺改进提供数据支持,也可进一步推广至其它高温合金、钛合金等材料中。
南昌航空大学 2021-05-04
高温含尘废气治理技术及其装备的研发
本项目以高温含尘废气治理为目标,开展以高性能大规格壁流式蜂窝陶瓷为核心过滤元件的高温除尘装置的研究开发,得到了“十二五”国家科技支撑计划的支持。课题研究开发出室温至800℃平均热膨胀系数为≤1.6×10-6℃-1的超低热膨胀系数堇青石及堇青石基复合陶瓷材料;研究开发了具有自主知识产权的大规格高性能壁流式蜂窝陶瓷及其制备技术,形成了产业化中试技术,建立了中试生产线;计研发制造出以大规格壁流式蜂窝陶瓷为核心过滤元件的高温含尘烟气净化装备,烟气处理量为≥10000 m3/h,过滤后烟气粉尘浓度为≤15 mg/m3;申请发明专利7项、实用新型专利2项,发表学术论文5篇;制定大规格壁流式蜂窝陶瓷企业标准1项。课题研究成果能够很好的解决当前高温含尘废气排放超标与高温废气余热利用的关键技术难题。该课题已于2014年4月29日通过了中国轻工业联合会组织的验收,相关技术与性能指标达到国际同类产品先进水平。
景德镇陶瓷大学 2021-05-04
生物质低温气化高温熔融制取可燃气技术
目前国内外现有工业规模的生物质气化技术,普遍存在生物质气化效率低、燃气中焦油含量高等问题。燃气中焦油含既造成能源浪费,又易造成堵塞,加快设备损耗,气化岛整体使用寿命不长。己建成的工程利用率不高,大部分已停用,一定程度上影响了生物质气化集中供应,不利于进一步产业化。 为了解决目前存在的诸多问题,东南大学针对我国国情和农作物废弃物的特点,采用流化床低温气化+高温熔融气化制取焦油含量极低的中热值可燃气,目前已建成该工艺的日处理秸秆量7吨的成套示范工程,已稳定连续运行2000小时以上,获得了热值7MJ/Nm3的可燃气,可燃气中焦油含量小于1mg/Nm3,远小于人工煤气国家标准(GB/T 13612-2006)中焦油含量要求,生物质中碳元素转化率96.5%,能量综合利用效率90.7%,单位MJ的可燃气成本低于天然气。 本技术可广泛用于煤炉改造、粮食烘干,也可为居民提供可燃气,对加快和谐社会及新农村建设的步伐具有重要意义。 本技术已申请国家发明专利7件(授权5件),发表学术论文24篇,获国家科技支撑计划、江苏省重点研发项目支持。
东南大学 2021-04-11
生物质低温气化高温熔融制取可燃气技术
成果介绍目前国内外现有工业规模的生物质气化技术,普遍存在生物质气化效率低、燃气中焦油含量高等问题。燃气中焦油含既造成能源浪费,又易造成堵塞,加快设备损耗,气化岛整体使用寿命不长。己建成的工程利用率不高,大部分已停用,一定程度上影响了生物质气化集中供应,不利于进一步产业化。 为了解决目前存在的诸多问题,东南大学针对我国国情和农作物废弃物的特点,采用流化床低温气化+高温熔融气化制取焦油含量极低的中热值可燃气,目前已建成该工艺的日处理秸秆量7吨的成套示范工程,已稳定连续运行2000小时以上,获得了热值7MJ/Nm3的可燃气,可燃气中焦油含量小于1mg/Nm3,远小于人工煤气国家标准(GB/T 13612-2006)中焦油含量要求,生物质中碳元素转化率96.5[[[[[%]]]]],能量综合利用效率90.7%,单位MJ的可燃气成本低于天然气。市场前景本技术可广泛用于煤炉改造、粮食烘干,也可为居民提供可燃气,对加快和谐社会及新农村建设的步伐具有重要意义。本技术已申请国家发明专利7件(授权5件),发表学术论文24篇,获国家科技支撑计划、江苏省重点研发项目支持。
东南大学 2021-04-11
耐磨损、耐高温TiC强化钢铁基材料
 在冶金、机械、汽车和石油化工等行业中,许多设备和零部件都需要好的耐磨性能,如高速线材轧机的辊环和导向轮,化纤行业中的刀具,汽车及船舶汽缸套,各种阀门及矿山机械、农业机械、工程机械和运输机械中执行机构零件。    由于目前用于这些零部件的许多耐磨材料难以满足这些设备零部件的使用要求,有时甚至因为某些零部件的故障而导致整个系统的非计划停工,给企业的正常生产带来严重影响,并造成重大经济损失。基于上述技术需要,本实验室开发出多种性能好、成本低的耐磨损材料。这些材料的基体成分选择余地大,可替代高合金钢、耐磨铜合金等耐磨材料,用于冶金、机械、汽车和石油化工等工业产品和设备上的磨损件,以提高零件的使用寿命并降低其成本。    本项目获得过3项国家863自主,目前已完成全部生产性试验和用户中试。
东南大学 2021-04-10
超硬耐高温抗氧化纳米多层膜材料
"表面涂层技术是改善材料性能的有效技术之一,在现代工业中发挥着越来越重要的作用。将涂层与基体材料的优良性能相结合可以有效降低材料的磨损,提高材料的强度,提高材料的高温抗氧化性等性能。随着现代工业技术的发展,传统TiN、CrN等单一涂层材料难易满足其需要,通过复合单层材料而成的纳米多层膜涂层拥有单层材料无法比拟的综合性能而越来越被重视,成为了一种具有广阔应用前景的材料,具有重大的应用和经济价值。 技术特点:该项目制备出了异结构TiAlSiN/Si3N4、CrAlSiN/Si3N4纳米多层膜及同结构TiCrAlN/TiAlN纳米多层膜,其硬度可超过36 Gpa,抗氧化温度超过了800℃;可以根据实际性能需求选择单层材料制备具有特殊性能的纳米多层膜涂层材料。 "
厦门大学 2021-04-10
传动轴橡胶护套高速、高温试验台
 该设备主要用于传动轴橡胶护套在高温、高速工况下,橡胶护套的膨胀量检测。设备主要由温度测量控制系统、转速测量控制系统,高速高精度机器视觉尺寸检测系统、机械台架及计算机测控操作系统等组成。该设备通过计算机操作界面可实现试验工况的设定,以满足不同传动轴橡胶护套的试验规范和标准,整个试验过程由计算机控制自动完成,并打印输出相应的试验报告。 设备技术参数1、 转速控制:0~3000rpm                转速控制精度:读数的0.5%或±2rpm2、 温度控制:0~120℃ (升温60℃的加热时间小于12分钟) 温度控制精度:±3℃3、 测量工件尺寸:φ130mm ,max 4.轮廓测量精度:±0.1mm
上海理工大学 2021-04-11
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