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一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法,属于微机电系统的封装方法,解决现有封装方法存在的问题,使得微型真空腔长时间保持真空,满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括:刻蚀步骤:在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑,再环绕凹坑刻蚀环形凹槽;吸气剂淀积步骤:在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜;键合步骤:在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题,可以长时间保持微型腔体内的真空度,极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学 2021-04-14
5、高压真空开关用铜铬合金触头材料
本项目采用真空熔铸方法,解决了 Cu-Cr 合金铸造产生的成分偏析及组织不 均匀问题,得到的显微组织细化、成分均匀化,尤其是合金中 Cr 粒子的细化问 题,大幅度提高耐电压强度,同时又能保持铜的高导电性,触头的小型化才有实 现的可能。本方法还能回收利用生产废料,因此生产工艺更为环保。而且生产成 本大大降低,性能还有所提高。本项目制备的触头材料,性能与国内外同类产品 相比,在导电性,均匀性,组织细化等多方面全面领先。
上海理工大学 2021-01-12
BEX-8510 理想真空二极管综合实验装置
实验原理   金属中存在大量的自由电子,但电子在金属内部所具有的能量低于在外部所具有的能量,因而电子逸出金属时需要给电子提供一定的能量,这份能量称为电子逸出功。研究电子逸出是一项很有意义的工作,很多电子器件都与电子发射有关,因此研究这种材料的物理性质,对提高材料的性能是十分重要的。另外本实验还可以利用磁控法测量电子荷质比,研究真空中电子能量遵从费米-狄拉克分布。   仪器概述 本实验装置的核心部件是一只理想(真空)二极管和套在理想二极管外的通电螺线管线圈。本实验通过测量金属钨的电子逸出功,将钨丝作为“理想”二极管阴极材料,阳极做成与阴极共轴的圆柱,把阴极发射面限制在温度均匀的一定长度内而又可以近似的把电极看成是无限长的无边缘效应的理想状态。金属电子逸出功(功函数)的测定实验,综合性地应用了里查逊直线测定法、外延测量法、补偿测量法和磁控法等基本方法。在数据处理方面有比较好的技巧性训练。因此,这是一个比较有意义的实验。   仪器特点 独立的理想真空二极管座:理想真空二极管插在独立的管座之上,并且配有透明的亚克力保护罩,既可以直观的观察真空二极管的工作状态,还可以有效地保护玻璃器件。独立的管座上刻有清晰的实验原理图,可以使得学生更好的理解整个实验原理。   精确的阳极电流测量模块:阳极电流测量模块采用微安级电流放大器,采用四位半数显表,测量范围可达0.1uA~20mA,可以准确、精细、稳定地测量到微弱的阳极电流。 稳定的阳极电压输出模块:阳极电压输出采用线性电源,输出幅度达到0~160.0V,可以稳定、高效地提供真空二极管的阳极电压。 便捷的数据采集接口:每个实验电源都配置模拟数据采集接口,可以连接电压传感器和PASCO数据采集软件,可以实时地采集大量的数据来分析测试结果,方便、快捷、高效地完成实验内容。   实验内容及典型数据 实验一:金属电子逸出功的测定 表1:在不同阳极电压和灯丝温度下的阳极电流及其对数值,作 lgIa~√Ua 图,得到不同温度下的截距 lgI 填入表2。     表2: 在不同温度T时所算得的 lg( I / T2) 和 1/T 的值 根据表2作 lg( I / T2) ~1/T 图,求直线斜率 m 直线斜率:m = -22802 逸出电势: φ = 4.53 (V) 逸出功(功函数)eφ = 4.53 eV 与逸出功(功函数)公认值 eφ=4.54eV 相比的相对误差:Er = 0.33%   实验二:电子在径向电场和轴向磁场中的运动(磁控法测量电子荷质比)   实验三:费米-狄拉克分布的研究     实验四:理想真空二极管的伏安特性   部件清单 金属电子逸出功实验仪   BEM-5715    可调直流 (恒压恒流) 电源I,12V/1A   BEM-5055    理想真空二极管盒   BEM-5716    螺线管线圈   BC-105236    连接导线,2mm护套香蕉插头,红   BC-105238   【2】 连接导线,2mm护套香蕉插头,黑   BC-105239   【2】 连接导线,4mm香蕉插头,红   BC-105084    连接导线,4mm香蕉插头,黑   BC-105083    连接导线,4mm护套香蕉插头1m, 红   BC-105074    连接导线,4mm护套香蕉插头1m, 黑   BC-105073    电源线   BC-105075    用户手册   CD-M-BEX-8510B  
上海科铭仪器有限公司 2021-12-17
在钛金属表面制备高质量镍基合金涂层的激光熔覆方法
一种在钛金属表面制备高质量镍基合金涂层的激光熔覆方法,其特征是它由混合粉压实片预制和激光熔覆处理二个步骤组成。所述的混合粉压实片预制是指将镍基自熔性合金粉末、氧化镧粉末先用球磨机混合均匀,然后烘干,最后在压力机上压制成片。所述的激光熔覆处理是指将压制片放置在经清洁处理的钛合金表面,然后进行激光熔覆加工。本发明通过添加氧化镧(La2O3),提高了镍基涂层粉末对激光热的吸收性能,提高了涂层与基体的界面融合性能。产品性能、指标本发明熔覆工艺性能优良,涂层组织致密,界面结合好,
江苏大学 2021-04-14
一种激光重熔扫描碳化物弥散增强铝合金的快速制造方法
本发明公开了一种激光重熔扫描碳化物弥散增强铝合金的快速 制造方法,包括以下步骤:(1)在计算机上建立零件三维模型,然后将 所述零件三维模型转成 STL 格式并导入到激光选区熔化成形设备中; (2)将铝合金粉末和碳化物粉末混合,然后采用球磨机进行球磨混合均 匀;(3)将球磨后的混合粉末转移到激光选区熔化成形设备里,在惰性 气体保护下,根据三维模型数据对混合粉末进行成形;(4)采用线切割 工艺将成形的零件从所述基板上分离
华中科技大学 2021-04-14
一种适用于复杂零件的固熔复合增材成形方法
本发明公开了一种适用于复杂零件的固熔复合增材成形方法, 该方法包括以下步骤:建立金属零件 CAD 几何模型,然后提取 STL 模型,利用分层切片软件以分层厚度为单位对 STL 模型进行合理分层 并提取各层的轮廓信息,由计算机根据这些轮廓信息生成控制指令; 通过切割装置用该层对应的数控指令沿该层的轮廓轨迹切割该层板 料;按照各层的排列次序通过焊料依次将各层板料进行粘合,以此完 成整个零件的粘合处理;粘合处理后的整个零件进行加热,以实现固 熔复合熔接成形,以此方式,完成复杂零件的增材成形。本发明与现 有
华中科技大学 2021-04-14
基于多苯醚结构的膨胀成炭阻燃耐熔滴共聚酯及其制备方法
本发明公开的基于多苯醚结构的膨胀成炭阻燃耐熔滴共聚酯是在Ⅰ、Ⅱ表示的合成聚酯结构单元的基础上,引入了由Ⅲ表示的结构单元经无规共聚所组成,所制备的膨胀成炭阻燃耐熔滴共聚酯的特性粘数[η]为0.43-0.95dL/g,极限氧指数为25.5-34.5%;垂直燃烧等级V-2~V-0级;锥形量热测试中峰值热释放速率p-HRR为198-658kW/m2。本发明还公开了其制备方法。由于本发明引入的含多苯醚结构的单体能在高温下发生重排反应,形成多芳香环或多芳香含氧杂环的稳定结构,因而具有极高的膨胀成炭速率和质量,赋予了共聚酯优异的阻燃性与耐熔滴性能。本发明共聚酯的制备有着成熟的工艺、简单方便的操作,易于工业化生产。
四川大学 2017-12-28
一种高效利用返回渣的电渣重熔精炼渣的使用方法
(专利号:ZL 201510033260.3) 简介:本发明公开了一种高效利用返回渣的电渣重熔精炼渣的使用方法,属于电渣重熔精炼渣技术领域。本发明电渣重熔精炼渣由如下质量百分比的组分组成:电渣重熔返回渣50~80%,萤石16~35%,氧化铝粉4~10%,石灰0~5%。其制备方法为:将以上成分组成的新渣系混匀后在化渣炉内预熔,然后将液态熔渣采用风淬的方法破碎。其使用方法为:将利用返回渣制备的电渣重熔精炼渣进行烘烤,然后采用焦炭作为引弧剂,在
安徽工业大学 2021-01-12
一种聚四氟乙烯防熔滴母粒及其制备方法
本发明涉及一种聚四氟乙烯防熔滴母粒及其制备方法。本发明提供了一种聚四氟乙烯防熔滴母粒,所述聚四氟乙烯防熔滴母粒以其重量计由80 97%的热塑性树脂和20 3%的粒径在1μm  120nm之间的聚四氟乙烯超细粉组成。本发明还提供了制备所述聚四氟乙烯防熔滴母粒的方法,其包括将粒径为1 20μm的聚四氟乙烯粉末进行辐照,并采用挤出机将辐照后的聚四氟乙烯粉末和干燥后的热塑性树脂进行熔融共混、造粒、干燥,从而制得本发明的聚四氟乙烯防熔滴母粒。本发明的防熔滴母粒用于通过纤维纺丝而制备防熔滴聚酯、聚酰胺热塑性纤维,具有分散性好、易纺丝等优点,克服了现有热塑性纤维及其阻燃纤维熔融滴落的问题,简单易行、应用前景广阔。
青岛大学 2021-04-13
在钛金属表面制备高质量镍基合金涂层的激光熔覆方法
项目简介 一种在钛金属表面制备高质量镍基合金涂层的激光熔覆方法,其特征是它由混合粉 压实片预制和激光熔覆处理二个步骤组成。所述的混合粉压实片预制是指将镍基自熔性 合金粉末、氧化镧粉末先用球磨机混合均匀,然后烘干,最后在压力机上压制成片。所 述的激光熔覆处理是指将压制片放置在经清洁处理的钛合金表面,然后进行激光熔覆加 工。本发明通过添加氧化镧(La2O3),提高了镍基涂层粉末对激光热的吸收性能,提高 了涂层与基体的界面融合性能。 产品性能、指标 本发明熔覆工艺
江苏大学 2021-04-14
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