MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机 真空腔室：直径450✕H400mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，前开门结构； 真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）； 极限真空：优于5✕10-5Pa（经烘烤除气后）； 真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min； 升降基片台：2～6英寸基片台，靶基距60～120mm连续在线自动可调，旋转0～20r/min可调，可加热至500℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能； 磁控靶：直径3英寸2～4只（可升级成直径4英寸靶2～3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材； 溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选； 质量流量计：2～3路工艺气体，可根据工艺要求增加； 膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪； 控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。

本项目将提供一款高品质的非晶 ZnTiSnO 微型半导体气体传感器，为一种具有纳米材料特征的薄膜型气体传感器，用于可燃性气体（特别是乙醇）的检测。该半导体气体传感器具有下述优点：灵敏度高、选择性好、响应快、稳定性好、抗干扰性强、可室温工作、易于微型化、与微电子系统兼容，而且制作工艺简单、组装成本低、价格低廉。 （1）半导体气体传感器件的核心材料为气敏层，即非晶ZnTiSnO 薄膜，该材料质量如何直接决定了器件的性能。通过前期预研究，我们设计并合成了具有表面微纳结构的绒面 a-ZnTiSnO 薄膜，如何进一步优化工艺参数，更加提升 a-ZnTiSnO 薄膜高质量，实现精确可控生长，依然是本项目拟解决的关键技术。 （2）气体传感器的实用性在于器件参数的确立，因而，通过系统研究，建立非晶 ZnTiSnO 气体传感器各气敏性能与气体参数之间的定量关系曲线，特别是室温工作条件下的定量关系，是本项目拟解决的关键技术。 （3）为使气体传感器获得广泛应用，器件良好的稳定性至关重要。通过工艺优化、器件设计和封装保护等措施，实现非晶ZnTiSnO 气体传感器的高稳定性和抗干扰性，使器件具有长的使用寿命，也是本项目拟解决的关键技术。制备出高质量非晶 ZnTiSnO 薄膜，具有均匀且均一的表面微纳结构，绒度大于35%；薄膜与衬底附着力大于 21N。非晶 ZnTiSnO气体传感器性能指标：气敏层尺寸 10~300μm，易于集成化；对可燃性气体有高选择性，其中对乙醇的敏感度最高；室温工作条件下，对 100ppm 乙醇的响应度不低于 30；响应时间小于 1.8s，恢复时间小于 1.5s；稳定性好，有效使用寿命不低于3 年。 理论与实验相结合，揭示出 a-ZnTiSnO 气体传感器室温气敏性能和稳定性机理，建立理论模型，阐明器件的耐候性规律。研制出具有实用价值的高品质 a-ZnTiSnO 半导体气体传感器，建立一套非晶 ZnTiSnO 材料生长和器件制备的完整工艺，关键技术拥有自主知识产权。 应用范围：  纳米氧化铜产品广泛应用于各类抗菌、抗紫外线、空气净化产品中，如抗菌保鲜膜、抗菌塑料、抗菌纤维、抗菌整理液、抗菌陶瓷、抗菌地板、抗菌纺织品、防嗮化妆品、室内甲醛治理等产品中。 纳米CuO应用前景 催化剂：主要用于国防领域，作为复合固体推进剂的重要成分，用来调节推进剂燃耗性能。 传感器：纳米氧化铜对外界环境的温度，光，湿气等十分敏感，并且可以提高传感器的响应速度，灵敏度和选择性。 在超导，陶瓷，电极活性材料等领域作为一种重要的无机材料有广泛的应用。 用作玻璃，瓷器的着色剂，光学玻璃磨光剂，有机合成的催化剂，油类的脱硫剂，氢化剂。 用于制造人造宝石及其它铜氧化物，用于人造丝的制造，以及气体分析和测定有机化合物等。 用于饲料中，提高铜的表观消化率。 用于抗菌剂，纳米氧化铜具有清洁，高效，能耗低，污染小，被广泛用于医药，纺织等领域。 用于粒子助力制冷器节能，提高热传递效率。 降低冷冻机油的粘度。 提高烟气脱硝性能。 应用范围： 橡胶工业中硫化活性剂，石油化工行业催化及添加剂，是汽车轮胎、飞机轮胎、工业电缆行业材料以及氧化锌陶瓷； 涂料油漆、透明橡胶、乳胶和塑料行业用，可增加产品强度和致密性、粘合性、光洁度； 抗菌抑菌和除臭材料、医药卫生用杀菌材料、玻璃陶瓷杀菌自洁材料、医药行业杀菌敷料； 电子工业和仪表工业、制造电器件、无线电、无线荧光灯、图像记录仪、变阻仪、荧光体； 军事工业：红外吸收材料。   五、纳米氧化锌分散液 项目 Item 标准 Standard 氧化锌(W/%) ZnO 4% 外观 Exterior 乳白略显黄色易流动液体 Milky white slightly yellow liquid PH 7.2   分散液氧化锌含量可以根据需要在30%以下定制

本系统是一种新型的移动抽排控制系统，以对现行的煤矿井下抽排系统进行优化并实现智能化控制。该系统设计了一特殊装置,即把泵的输出分解为有效流量和无效流量,实现了抽排流量的自由调节,保证了泵启动时和运行过程中出口处的瓦斯浓度为最佳值,并可及时调度瓦斯的排放路径。

该技术利用催化燃烧和气固换热的原理，将通风瓦斯催化燃烧并将其热能进行梯级利用，不仅对保障我国的能源安全以及环境保护起到不可忽视的作用，同时还能带动我国相关产业技术的发展，具有重大的战略意义。该技术可以广泛适用于包括煤矿通风瓦斯，天然气、沼气、石油油层气、高炉煤气以及钢铁和石化生产中的可燃废气在内的超低浓度可燃气体，具有广泛的实用性和广阔的市场应用前景。

本实用新型公开了一种采煤工作面瓦斯治理装置，包括钻管、瓦斯处理装置、支撑调节装置、密封装置以及安装板，所述钻管一端安装瓦斯处理装置，所述瓦斯处理装置下端安装有支撑调节装置，所述密封装置一端固定在远离瓦斯处理装置的钻管另一端，另一端固定在支撑调节装置的一侧，所述支撑调节装置固定在安装板上。本实用新型的优点在于，该装置减小了瓦斯发生爆炸的可能，提高了采煤工作的安全性和瓦斯的利用率，还可以实现不高度和不同位置的采煤工作面的瓦斯抽采，操作方便。

本实用新型二级动摆混沌激振器涉及一种具有特殊惯性激振能力的激振器，尤其是一种具有二级动摆 的混沌激振器，属于振动利用工程技术领域。包括激振器座组件和二级动摆组件；激振器座组件包括激振 器座、端盖和激振器轴，激振器轴装在激振器座上，激振器座两端装有端盖；二级动摆组件在激振器轴左、 右两端呈对称分布，二级动摆组件包括定摆、一级动摆、二级动摆、二级摆轴、轴承一和轴承二，二级动 摆组件安装于激振器轴轴端，定摆通过平键固结于激振器轴；一级动摆与定摆之间装有轴套，一级动摆通 过轴承一与激振器轴相铰接，一级动摆下部装有二级摆轴；二级动摆通过轴承二与二级摆轴相铰接。在激振器座两端分别固结有摆块罩。

1 成果简介近几年来，城市的采暖设施基本上向着集中式供暖发展，但对于城市中少部分以及农村大部分无法实现集中式供暖的家庭来说， 如何实现更方便高效的远距离供暖传输是急切需要解决的问题。节能减排已经成为全社会共同关注的问题，在工业生产中会产生巨大的低品味余热，大多数都被浪费了，如何能够方便高效利用这部分低品味热量，将热高效传输到远距离的地方进行使用，也是急切需要解决的问题。 本技术成果以内部有相变工质的热管为换热元件的热管换热循环控制系统，具有传输距离远，传热效率高、热管表面温度均匀（与热源温度相等）、自动循环控制方便等优点，可实现固体与固体或固体与流体间的传热、冷热流体不混合和控制露点腐蚀等，在国内的一些行业，如动力、化工、建材、冶金等工业中有应用价值。本技术成果申报发明专利和实用新型专利。 系统样机如下图：图 1 高效分离式热管采热供暖系统样机图 2 本技术与普通热水供暖循环换热量对比 图 2 是本技术与普通热水供暖循环换热量对比，普通热水循环供暖过程，热水系统与热源必须有换热温差，所以热水温度比热源温度低很多，流动到冷源释放过程中，因换热温差较小，所以最终换热量较低。本技术热管循环供暖系统的内部传热工质与热源没有温差，工质传递到冷源释放热过程中，其换热温差较大，系统换热量大。传输过程距离远，应用前景广阔。2 应用范围此系统可将低品位气体、液体等中低温热源（ 40~300℃），进行高效远距离传输热量，传输热量的品味不降低，换热量大。适用于动力、化工、建材、冶金、电厂等有余热同时需要加热，但余热和需要加热的地方分离较远的场合，也适用于农村独立进行采热供暖。3 效益分析此技术可充分利用低品位热源进行远距离传输热量，换热量比普通水循环换热量高20~50%，系统初投资低，预计此系统一年半即可收回成本。此技术可以更有效地利用余热，经济效益会根据具体情况更为节能。

本产品广泛应用于煤层气开发以及大、中、小各类瓦斯抽放矿井。对管道瓦斯抽放参数、环境参数、抽放泵工况参数、供水参数、供电参数、瓦斯储气罐参数、供气参数等的集中、连续进行实时采集、分析预处理、实时显示、统计储存及超限声光报警，对机电设备、阀门等实现就地控制。

我方与合作方联合开发了一套拥有独立知识产权的眼动识别软件以及与配合使用的外接眼动仪智能硬件。 该套设备可以自动跟踪并分析患者眼睑的肌肉动作，精确抓取不完全瞬目、眨眼过快、眨眼过慢、用眼过度等用眼习惯数据，以自主研发硬件进行智能提示，帮助视频终端引起的干眼症及眼疲劳症患者制定正确用眼习惯计划，有效辅助治疗视频终端相关性干眼及视疲劳。

我方与合作方联合开发了一套拥有独立知识产权的眼动识别软件以及与配合使用的外接眼动仪智能硬件。 该套设备可以自动跟踪并分析患者眼睑的肌肉动作，精确抓取不完全瞬目、眨眼过快、眨眼过慢、用眼过度等用眼习惯数据，以自主研发硬件进行智能提示，帮助视频终端引起的干眼症及眼疲劳症患者制定正确用眼习惯计划，有效辅助治疗视频终端相关性干眼及视疲劳。应用范围:全国人口中 60%-80%的人，都有不同程度的干眼症。2015 年即有数据公布， 全国 2000 万干眼患者。并且，每年还在以平均每年 40%左右的速度增长。2016 年仅天津医科大学眼科医院一家机构，共接诊干眼症患者 4 万余人。现阶段缺乏有效的干眼病因诊断及治疗，故急需快速诊疗，操作简单的诊疗仪器，引导患者进行工作环境下或家庭康复训练及理疗，减少干眼发病率及就诊率。本产品是基于以上需求开发的，临床应用前景广阔。效益分析:本成果对应领域为所有电子视频终端用户，尤其是已经引起干眼的用户。 目前该治疗领域的治疗方式及局限性如下： 1、滴眼液：辅助缓解干眼。不能从病因上根除治疗。 2、专业睑板腺按摩：须在院治疗，治疗环境受限。不方便患者连续治疗。 3、国外干眼症治疗仪：体积大、平均售价 12 万美金/台。单次治疗费用2000 元。限制了仪器的普及使用。 本项目的创新优势： 1、研究表明 90%以上的由于视频终端所引起的干眼症可以通过恢复正确的用眼习惯、眨眼频次、完全闭合性眨眼动作，从消除病因上根治干眼症的。本成果依据以上研究结果，引导视频终端干眼患者在家进行眼部康复训练及物理理疗。 2、本产品售价低廉，可采用出售或租售给患者的模式，短期辅助诊疗，长期预防治疗。 3、本产品体积较小，且随意摆放至视线内任意台面，即可开机使用。治疗场景不受约束，可随时随地进行眼部训练及辅助治疗。 4、本产品不直接接触人体，治疗过程无痛苦。