MS-246小型多靶磁控溅射镀膜机 真空腔室：1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构；真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）；极限真空：优于8✕10-5Pa（设备空载抽真空24h）；真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min；升降基片台：尺寸直径100mm，高度60～120mm可调，旋转0～20r/min可调，可加热至300℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能；磁控靶：直径2英寸2只（可升级成3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材；溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选；质量流量计：10sccm、50sccm质量流量控制器各1套；膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪；控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空；整机尺寸：L60cm✕W60cm✕H96cm机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口。

EV-246小型电阻蒸发镀膜机真空腔室：1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构；真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）；极限真空：优于8✕10-5Pa（设备空载抽真空24h）；真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min；基片台：可拆卸式，尺寸60✕60mm，旋转0～20r/min可调，可加热至300℃（可选水冷功能）；蒸发源及电源：水冷铜电极3组，逆变式蒸发电源，功率2KW，配源间防污隔板；膜厚监控仪：采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空；整机尺寸：L60cm✕W60cm✕H96cm机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口。

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       上海颀高仪器有限公司始创于1986年，是由原上海石油仪器厂和武汉理工大学资深技术专家组成，是以研制、生产、销售石油化工及煤化工领域分析仪器的专业生产厂商。产品适用于石油、电力、化工、科研、质检及大专院校等相关行业领域。本公司研制生产的常规化工分析及专用实验室仪器十三个系列，共260余种。同时每年还应对市场及用户的各种个性需求，单独开发和定制生产非标类特殊用途的仪器约20余种。上海颀高是国内同行业中产品门类最全、配套能力最强、发展速度最快的企业之一。公司坚定严格按照国标行标的试验方法规定，绝不靠偷工减料来降低成本，保证仪器部件尺寸精度以及材料性能，真正让用户实验数据满足重复性和精密度的要求。近年来我司产品精细独特的设计，节能可靠的系统，均被工矿企业、铁路部队、科研院校和质监部门广泛采用，受到用户一致好评。公司内部已实施CRM、ERP项目管理，为产品品质及企业的长远发展提供了强有力的保障。面对未来，颀高人坚守“严谨、求实、高效、创新、合作、发展”的企业精神，精益求精，以一流的产品、优质的服务满足客户需求，为促进提高民族分析仪器工业的振兴发展作出贡献。 　  多年来，公司非常注重新技术、新工艺、新器件、新材料的应用，不断提升公司仪器的自动化、智能化水平。据不完全统计，目前公司仪器中使用单片机技术或笔记本电脑进行控制测量、分析计算的仪器，已经达到近100种。仪器的技术含量和技术档次得到极大的提高，深受国内外用户的欢迎。多年的研发和实践，让上海颀高仪器更加精致稳定，更加符合国标及行标的试验要求。公司秉承“以人为本，科技创新”的理念，将销售收入的10%～15%用于研发，致力于将产品升级换代至世界一流水准。依靠“高、精、尖“的科技人才队伍及运用行业领先的开发手段，使得颀高产品质量更有保障，品种不断更新，始终处于行业领先地位。        未来的一年，我们仍将兢兢业业，乐于研发，不断提升，生产出质量更好、性能更完备的油品仪器，来满足市场和答谢各位朋友的关心与支持。同时继续秉承“质量优、服务好、价格适中”的宗旨，竭诚向各位新老用户提供质量优异的石油化工及煤化工分析仪器和良好的售后服务。欢迎各界人士惠顾考察与指导！

真空涂层技术起步时间不长，国际上在上世纪六十年代才出现将 CVD（化学气相沉积）技术应用于硬质合金刀具上。由于该技术需在高温下进行（工艺温度 高于 1000ºC），涂层种类单一，局限性很大，起初并未得到推广。到了上世纪七十年代末，开始出现 PVD（物理气相沉积）技术，之后在短短的二、三十年间 PVD 涂层技术得到迅猛发展，究其原因： （1）其在真空密封的腔体内成膜，几乎无任何环境污染问题，有利于环保； （2）其能得到光亮、华贵的表面，在颜色上，成熟的有七彩色、银色、透明色、金黄色、黑色、以及由金黄色到黑色之间的任何一种颜色，能够满足装饰性的各种需要； （3）可以轻松得到其他方法难以获得的高硬度、高耐磨性的陶瓷涂层、复合涂层，应用在工装、模具上面，可以使寿命成倍提高，较好地实现了低成本、高收益的效果； （4）此外，PVD 涂层技术具有低温、高能两个特点，几乎可以在任何基材上成膜，因此，应用范围十分广阔，其发展神速也就不足为奇。真空涂层技术发展到了今天还出现了 PCVD（物理化学气相沉积）、MT-CVD（中温化学气相沉积）等新技术，各种涂层设备、各种涂层工艺层出不穷。

本技术的真空、反重力充型特点，能够平稳地将液态金属充入到铸型中，使毛坯中含有极少的气体和气孔；本技术的压力下凝固补缩特点,能够对补缩通道施加大的补缩压力，减少或消除凝固收缩形成的缩松和缩孔缺陷。采用本技术生产的毛坯中材料的孔隙率可以小于0.05%,获得高质量、优质毛坯。 本技术直接对坩埚内和真孔罩内部的压力进行调压，设备结构简单，密封性好，调压空间小，增强了控制系统的快速性与及时性，降低能耗；炉体具备倾翻机构，坩埚与调压管路间采用软管连接简化机构，便于倾倒剩余液体，操作简单，降低成本。另外，本技术通过对成型过程中铸型内液态金属液面位置和温度的检测，可根据所获得的信号设置坩埚内的压力控制，实现真空调压铸造工艺的精确控制。 主要应用范围： 本技术适合于各种壁厚的铝合金及其复合材料的毛坯生产。 技术经济分析： 本技术为铝合金及其复合材料的液态反重力成型制造技术，该技术可以在真空条件下将液态金属平稳地充入到铸型（金属、石墨、树脂砂、水玻璃砂等铸型），在压力下完成凝固，实现凝固补缩。该技术能够达到的真空度低于－0.1MPa，可以实现的补缩压力为0.2MPa。本技术采用计算机实现真空、充型过程和凝固补缩过程的精确控制。 目前，本技术已经成功用于我国高速客车铝基复合材料制动盘的制造生产，获得了优质的制动盘质量，取得了好的社会经济效益，正在进一步推广应用到高强度铝合金轴箱的成型制造过程。

真空镀膜技术广泛用于航空、航天、工业、农业等各行各业，本单位长期从事镀膜技术的研究和开发，先后研制出两台镀膜机，达到国内领先水平，同时开展真空技术及器件、蒸铝技术、滤光片技术、各种保护膜的研究和开发，有多名长期从事相关技术研究的教授和专家，理论基础扎实及实践能力强。 

产品详细介绍 小型真空碳管炉  产品编号：52310445116  ◎产品说明  设备技术：  本电炉为周期作业式，广泛用于功能陶瓷、光学材料、碳复合材料、硬质合金、粉末治金等高温下进行烧结处理，也可在充气保护下成型烧结。  技术参数：  1、型号：ZT-18-22  2、额定功率：18KW  3、额定温度：2200℃  仪表控温精度：正负1℃  5、控温方式：钨铼热电偶+红外衣  工作区尺寸：直径80x100mm  7、冷态极限真空度：5x10-3 Pa  8、压升率：2Pa/h  9、电源电压：380V 50Hz 单相  10、充气压力：<0.03Mpa（可充氮气、氩气）  11、发热元件：石墨管（高纯石墨）  结构与说明：  1、炉体：采用双层水夹层结构，"内层为不锈钢（1Gr18N9Ti）抛光。上、下法兰组焊筒形结构，法兰平面开设封闭槽。采用“0”圈真空密封，并设有水冷装置（防止因温度过高“0”圈老化）。开设有抽气、热电偶、红外仪等。  2、炉盖：采用双层水夹层封头结构，设有观察窗，屏蔽锁紧、开启装置，并通水冷。  3、炉底：采用双层水夹层封头结构，设有电极引出装置，支撑平台等，并设有水冷装置。  4、炉架：山型钢及钢板组焊成箱式结构，炉体安装放在箱体内，美观大方。  5、真空系统：又一台K-100扩散泵配冷阱，一台2XZ-8D直联泵、手动高真空蝶阀、真空压力表（Pa）、充气阀、放气阀和真空管路等组成，扩散泵采用金属波纹软管快速接头联接（减缓震动），真空度的测量采用数显复合真空计。  6、控制系统PLC控制：控制系统是由我公司自行开发人机对话操软件，画面显示友好，操作简单，要以炉内工况进行实时监测，软件彩色模拟屏显示，加热升温显示及真空阀门的控制都集成到电脑上操作，现场也可以手动操作，需要电脑操作时，直联由232接口连接到笔记本电脑上启动软件，可检测到各种状态，也可通过485通讯连接到办公室操作，本设备可采纳温度、真空度曲线和烧结时间，方便用户根据历史曲线分析烧结工艺。控温方式为1300℃以下热电偶升温。1000℃-2200℃红外仪表自动控制。压力控制可采用手动及自动方式。控制系统上设有过流、超温及断水等分类报警功能。  7、气路系统：整个系统中设有1个j进气口、1个放气口、可冲气氛。  8、电气控制：采用各种管道阀等相关装置组成，具有断水声光报警自动切断电源能。  9、变压器及连接电缆：采用与之相匹配的变压器及连接电缆。  10、发热元件及隔热屏：发热元件采用高纯石墨加工成圆筒形结构，隔热屏采用石墨复合材料、碳毡、石墨毡，保温性能好、加热均匀、辐射面大、耐冲击性好，可快速加热和冷却。保温层和发热分体，易维护和取装，保温套外用不锈钢框架支撑，固定。 

一、产品描述   真空炉产品主要针对实验室的日常应用开发，优质的炉膛材料和稳定的温度控制系统，可保证实验数据的可靠性；产品采用高纯氧化铝材料作为炉膛材料，选用质优的硅钼棒发热元件作为发热体，温度控制器采用微电脑PID控制模块，可实现精确的控温和恒温要求。可应用于金属材料、石墨材料、锂电材料、晶体材料等新材料领域；双炉门结构设计，内炉门隔热，外炉门法兰密封，优质的炉膛材料和稳定的温度控制系统可保证长期的可靠性。 二、产品特点 1、 炉膛材料选用进口轻质高纯氧化铝陶瓷材料，硬度高、高温不掉粉，高温烧结无挥发，环保安全，符合国际行业标准 2、 发热体采用优质硅钼棒，可承受负荷大，稳定且使用寿命长；硅钼棒均匀的排列在炉膛两侧，温场均匀性好 3、 升温速度快，温度均匀性好，80分钟可升到1600℃，较行业内同规格电炉烧结效率提高3倍以上，安全高效 4、 控温精度高，冲温小，具有温度补偿和温度校正功能，控温精度为±1℃ 5、 采用智能PID控温仪表，具有程序功能，可设定升温曲线，可编30个程序段 6、 一体式结构，双层外壳，水冷结构，出色的外观设计，美观、大方 7、 电子元器件均采用德力西产品，带有漏电保护功能，安全可靠 8、 本机对工作过程中的超温会发出报警信号，并自动完成保护动作 9、当仪表程序设定完成后，只要按下运行按钮，接下来的工作会自动完成 10、可选配大屏幕无纸记录仪或者RS232通讯接口，实现对升温曲线的实时记录，并带有存储卡可对实验数据进行分析和打印