已有样品/n针对产业界对MEMS 代工的迫切需求，微电子所科研人员以高精度三轴加速度计开发为牵引展开攻关，致力于在现有8 英寸硅工艺线上实现与CMOS 工艺兼容的通用MEMS 加工平台技术，成功开发出大深宽比MEMS 结构刻蚀、MEMS 与ASIC 晶圆堆叠、TSV 电学连接及晶圆级盖帽键合封装等关键工艺技术的量产，最终实现了TSV的ASIC 晶圆、MEMS 结构晶圆及盖帽晶圆的三层键合工艺，并顺利交付首款三轴加速度计产品。

本发明公开了一种高效高精度复合增材制造方法及装置，采用 激光束与电子束复合实现。在高能束与金属粉末作用的过程中，激光 束扫描熔化表面轮廓的金属粉末，保证零件表面具有较好的表面质量； 电子束高速熔化内部粉末成形零件内腔，以达到最快的成形效率。装 置包括下部包括铺粉辊、工作台、送粉缸和工作缸；上部包括电子束 发生装置、激光束发生装置、底板、二根导轨、二根横梁、同步带轮 和伺服电机。电子束发生装置、激光束发生装置分别作为一

本发明公开了一种高精度的刀具偏离量在线测量装置，包括固 定安装于机床的主轴头上的装夹机构，所述装夹机构上安装有激光位 移测量装置，所述激光位移测量装置上连接有用于接收和处理其发出的信号的数据采集处理装置，所述激光位移测量装置包括两个以上的 激光测量头，激光测量头均安装在装夹机构上，每个激光测量头上均 设有激光发射器和激光接收器。采用激光位移测量装置测量切削过程 中刀具偏离量，信号采集频率高，测量精度高；采用至少两个激光测 量头，可以同时测刀具的 X 轴方向和 Y 轴方向上的偏离量，并通过建 立几何关系方程进行误差补偿，外部干扰影响小，测量精度高。

大屏幕高分辨率彩色显示器，具有背光调节功能、使用数字/字母、符号按键操作 8档量程自动变频、自动转换，一键标定，自动校准电极常数 多参数测量，电导率、电阻率、TDS、盐度、电导灰分、温度 参比温度、温度系数、TDS系数、电导池常数可调 具有电极、方法、样品管理、操作人员及权限管理功能 电极管理功能：电极ID管理、记录电极常数、校准信息 用户管理功能：用户ID和密码管理，支持1000个用户登陆密码  方法管理功能：支持操作人员对不同测量需求建立单独的方法 校准管理功能：内置10种电导率标准溶液，1种自定义溶液，有欧美和中国标准溶液可选择  安全管理功能：断电保护功能，支持用户权限管理  界面管理功能：记录关机前测量模式，再次开机则自动进入关机前的模式测量界面 测量模式：不补偿、线性补偿、非线性测量 读数方式：实时测量、自动测量、定时测量 非线性温度补偿测量实验室纯水模式，特别适合电厂、微电子和制药等行业的使用，实验室I、II、III级用水模式、制药用纯水模式、制药用注射用水模式、电子级EW-I EW-II  EW-III 用水模式，均带报警提示功能 具有强大的数据管理功能，时钟和日期双显示，符合GLP标准，可追溯完整的信息 数据查阅：按样品名称查阅存贮数据 数据统计：仪器内置软件协议，将存储的数据直接传输电脑的office Excel、office Word或记事本等软件文本中，方便用户对测量数据进行归档统计、分析、比较等操作 支持测量方法的查阅、创建、拷贝、编辑、删除，1000套测量方法，3种数据输出报告格式：简单格式、普通格式、GLP格式

本实用新型公开了一种大功率脉冲沿时间可调节交直流电源，包括：整流电源模块、稳态直流电源模块、脉冲沿调节模块和换向模块。针对脉冲稳态过程，本实用新型采用所述整流电源模块和所述稳态直流电源模块向负载输出直流电能；而针对脉冲上升沿和下降沿的瞬态过程，本实用新型采用所述脉冲沿调节模块控制电源和负载之间的电能交换，从而调节脉冲跳变沿的时间；所述换向模块再将所述稳态直流电源模块和所述脉冲沿调节模块有机的结合在一起，通过控制系统实时控制电源向磁铁或线圈负载输出脉冲交流或直流电能。本实用新型相对于现有大功率脉冲或方波电源主电路拓扑和控制系统异常复杂等问题，具有主电路拓扑和控制系统简单，系统总成本低以及可靠性高等显著优点。

产品详细介绍 IPMP36-6L性能参数除非特殊说明，电源的性能参数都是在以下条件下进行测试。负载为纯电阻电源输出接口的负极与机壳相连至少热机30分钟以上所有参数只是作为使用电源时候的参考值，并不作为电源性能的保证。型号 IPMP36-6L输入 电压 220 VAC±10﹪,50/60 Hz,1 Ф输出 电压 额定电压 36 V 最大电压 37.08V  变化范围 0～36 V 分辨率 1 mV   编程准确度注释1-4 ≦(0.05﹪ + 5digits)   电流 额定电流 6 A 最大电流 6.18 A   变化范围 0～6 A 分辨率 0.1 mA   编程准确度注释1-4 ≦(0.5﹪ + 5digits)  额定电压特性 纹波（5Hz～1MHz,RMS) 0.5 mVrms  电源效应注释1-3 0.005﹪+  1 mV  负载效应注释1-3 0.005﹪+  2 mV  瞬态响应时间注释5 50 μs 温度系数 50 ppm/℃额定电流特性 纹波（5Hz～1MHz,RMS) 3 mArms  电源效应 3 mA  负载效应 3 mA  温度系数 300 ppm/℃保护电路 内部过温保护电路检测温度 95℃ 过压保护（OVP） 3.6～39.6V  过流保护（OCP） 0.6～6.6A   OVP/OCP触发脉冲宽度（标准值） 50ms输入保险丝 10A输出保险丝（安装于电源内部） 10A 恒压指示 CV，绿色LED灯指示恒流指示 CC，红色LED灯指示工作环境温度和湿度 0～40 ℃ / 10﹪～90﹪ RH储藏温度和湿度 -10～60 ℃ / 低于90﹪ RH冷却系统 风扇强制制冷输出极性 正极或者负极都可以接地绝缘电压 ±500 V控制接口 RS485/RS232（二选一）外部存储器接口 USB2.0 HOST(可选）读出准确度注释1-4 电压：≦(0.05﹪ + 5digits)，环境25 ℃ ± 5 ℃电流：≦(0.5﹪ + 5digits)，环境25 ℃ ± 5 ℃【注释1】由于设置值不同会有所不同。【注释2】﹪表示额定输出的百分比。【注释3】使用远端感应模式，测量点在电源面板的S端子【注释4】digits 表示最小分辨率【注释5】指当输出电流变化范围在5﹪到100﹪，输出电压恢复到额定值的±(0.05﹪ + 10 mV)的时间。机箱尺寸：4路输出机箱尺寸：宽427  高174（含垫脚） 纵深667 mm2路输出机箱尺寸：宽213  高174（含垫脚） 纵深667 mm多路程控电源，多路电源，程控电源，精密电镀电源，多通道电源，多通道程控电源  ，程控直流电源

本发明提供了一种针对复杂结构的瞬态能量响应高精度预示方法，考虑子系统间能量传递的时变项（ｉｍｇ　ｆｉｌｅ＝＇ＤＤＡ０００１４３８１９６０５０００００１１．ＴＩＦ＇　ｗｉ＝＇３３０＇　ｈｅ＝＇１１０＇　ｉｍｇ－ｃｏｎｔｅｎｔ＝＇ｄｒａｗｉｎｇ＇　ｉｍｇ－ｆｏｒｍａｔ＝＇ＴＩＦ＇　ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ＝＇ｐｏｒｔｒａｉｔ＇　ｉｎｌｉｎｅ＝＇ｎｏ＇／）结合复杂结构的损耗因子矩阵η，建立结构各子系统的瞬态功率平衡方程，给定初始边界参数，采用四阶?五阶Ｒｕｎｇｅ?Ｋｕｔｔａ算法计算得到结构各子系统的瞬态能量响应；相比于传统方法仅考虑能量的时变项，本发明通过考虑了复杂结构各子系统间能量传递的时变项，建立了更为完整的复杂结构各子系统瞬态能量平衡方程，显著提高了目前瞬态统计能量分析方法在瞬态能量响应预示中的预示精度，拓展了目前瞬态统计能量分析方法的研究范围，可以解决不同耦合强度结构的瞬态能量响应分析，同时结合商业统计能量分析软件，可以解决复杂结构的瞬态能量响应预示问题。　１　

自主导航技术是移动机器人实现自主化的最为核心的关键技术。在现有的智能工厂环境中，工业AGV等多采用色带、磁钉、磁条、二维码、有反射板激光等自主导航技术，这类方法共同缺点就是需要对使用环境进行大量改造，系统的建设周期较长、维护成本高且难以满足智能工厂对柔性和灵活制造的要求。因此，目前AGV的导航模式逐渐从传统的导航方式转向了基于自然环境和SLAM技术的完全自主导航方式。但是，目前常规的基于激光传感器的定位技术只能达到2-5cm的精度，并且对于环境要求较高，无法满足工业环境高精度、强鲁棒性的要求。针对上述难题，研发了利用激光、视觉、惯性传感器等多模态传感器，在动态、视觉退化、非结构化等自然环境中实现了高精度、高可靠性和高实时性的2D/3D自主定位与导航技术。