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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
怀进鹏：胸怀国之大者 建设教育强国 推动教育事业发生格局性变化
5月6日，教育部党组书记、部长怀进鹏在《学习时报》撰文《胸怀国之大者 建设教育强国 推动教育事业发生格局性变化》。文章指出，十年来，教育服务科技与经济社会发展能力显著增强。全国60%以上的基础研究、80%以上的国家自然科学基金项目由高校承担。高校参与破解了一大批关键核心技术“卡脖子”问题，成为国家自主创新生力军。高层次人才的培养输送、高水平科研成果源源不断的产出，为经济高质量发展提供了强大智力支撑，为民族复兴注入了强劲动力。
学习时报
2022-05-06
合肥工业大学国际学生管理信息系统采购项目竞争性磋商
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合肥工业大学
2022-05-27
西北农林科技大学智慧数字农业实验室采购项目竞争性磋商公告
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西北农林科技大学
2022-05-27
华中科技大学真空物理系统（定制）采购项目竞争性磋商公告
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华中科技大学
2022-05-27
一种用于调控细胞核膜通透性的纳米试剂及其制备方法和应用
本发明公开了一种用于调控细胞核膜通透性的纳米试剂及其制备方法和应用。所述纳米试剂由多面体低聚倍半硅氧烷为核心，接枝一定数量的聚乙二醇分子以及光敏剂孟加拉玫瑰红构成。该试剂可以通过疏水自组装形成纳米颗粒，实现大量且快速的细胞内吞，光促溶酶体逃逸以及细胞核膜通透性调节，从而促进细胞核对小分子药物及纳米颗粒的摄取。该试剂安全性良好，结构稳定，普适性好，有望成为一种普适性的的细胞核药物递送平台。
东南大学
2021-04-11
西南大学气相色谱三重四极杆质谱联用仪竞争性磋商
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西南大学
2022-06-23
哈尔滨工程大学跨介质高速入水发射器等设备采购项目竞争性磋商公告
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哈尔滨工程大学
2022-06-08
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哈尔滨工程大学
2022-06-08
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哈尔滨工程大学
2022-06-08