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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
整体铸造合金钢滚式破碎机齿辊和大型刮板输送机的刮板链轮
用合金钢整体铸造破碎机齿辊和大型刮板输送机的刮板，链轮,是破碎机的重要部件。 目前公知的破碎机齿辊，一般都是分体组合方式。这种方式的破碎齿、齿板、齿套、用螺栓固定，存在容易掉齿、断齿的缺陷。 为了克服现有技术的不足之处，本发明提供一种高强度、耐冲击、耐磨损可加工成型的整体铸造破碎机齿辊技术，并又可运用于大型刮板输送机的刮板链轮上。本发明的技术方案是：自主研发的一种材料，控制成分的合理配比，并添加稀有元素，提高了材料的综合性能，效果明显。整体铸造的齿辊和大型刮板链轮，一个最大的难点是齿根部位要有极大的抗断、和耐磨损的能力。而通常的铸造工艺，很难克服这一矛盾，本技术采用了网格式内冷铁，材料易取，制作简单，经试验是有效的。热处理淬火工艺，本发明采用的是铸件的加热按整体淬火的通常工艺，而冷却采用连续冷却齿部，达到齿端最硬耐磨损，从齿根往里硬度逐渐降低，达到既可加工又提高了韧性。本发明与现有技术相比其有益效果是：综合性能好： 经试验比较：其高强度耐磨损优于世界第一的ＭＭＤ公司。大型链轮的使用寿命，超过进口产品，曾对单边达600mm的石料破碎，在同一台设备中进口的Ｍ13钢齿环整体折断，而本发明的齿辊能抗断整体铸造的破碎机齿辊和大型刮板链轮的生产制造工艺简而易行，尤其是大型链轮，生产所需的超大型锻压设备和昂贵的链窝加工设备都被本发明的成型铸造工艺所取代，因而大幅度的降低了生产成本，同时也降低了在使用中的维修成本。由于本技术生产的产品具有高强度、耐磨损、又可加工的特点，使设备性能有了明显的提高。具有广泛的应用范围：如水泥毛料、矿石等硬物料的破碎设备，装配产业中的耐磨损、不断裂的大型零件都可被应用，故本发明有很大的推广应用价值。
清华大学
2021-04-13
北京化工大学计算机软件及管理平台采购竞争性磋商
北京化工大学计算机软件及管理平台采购竞争性磋商
北京化工大学
2022-05-27
中国地质大学（北京）人工智能实验实践创新教学平台竞争性磋商
中国地质大学（北京）人工智能实验实践创新教学平台竞争性磋商
中国地质大学（北京）
2022-05-27
中南民族大学广播系统采购项目（第二次）竞争性磋商公告
中南民族大学广播系统采购项目（第二次）竞争性磋商
中南民族大学
2022-05-31
东北大学智能制造综合实验平台建设竞争性磋商（二次公告）
东北大学智能制造综合实验平台建设竞争性磋商
东北大学
2022-05-27
金属氧化物半导体基等离激元学研究取得突破性进展
在传统贵金属（金、银等）之外发掘出具有高性能等离激元效应的非金属新材料，是当前等离激元学基础研究及应用研发的一个热点与难点。金属氧化物半导体材料具有丰富可调的光、电、热、磁等性质，对其采取氢化处理可有效修饰其电子结构，从而获得丰富可调的等离激元效应；此处的一个关键性挑战在于如何显著提高金属氧化物半导体材料内禀的低自由载流子浓度。基于该研究团队新近发展的、理论模拟计算指导下的电子-质子协同掺氢策略，在本工作中研究人员采用简便易行的金属-酸溶液原位联合处理方法实现了金属氧化物MoO3半导体材料在温和条件下的可控加氢（即实现了“本征半导体→准金属”的可控相变），从而突破性地大幅提升了该材料中的自由载流子浓度。研究表明，氢化后的MoO3材料中自由电子浓度与贵金属相当（譬如H1.68MoO3：~1021cm-3；Au/Ag：~1022cm-3），这使得该材料的等离激元共振响应从近红外区移至可见光区，且兼具强增益及可调性。结合第一性原理模拟计算和以超快光谱为主的多种物性表征，研究人员进一步揭示出该协同掺氢所导致的准金属能带结构及相应的等离激元动力学性质。作为效果验证，研究人员在一系列表面增强拉曼光谱（SERS）实验中证实该材料表面等离激元局域强场可使吸附的罗丹明6G染料分子的SERS增强因子高达1.1×107（相较于一般半导体的104⁓5和贵金属的107⁓8），检测灵敏限低至纳摩量级（1×10-9mol L-1）。 这项工作创新性地发展出一种调控非金属半导体材料系统中自由载流子浓度的一般性策略，不仅低成本地实现了具有强且可调的等离激元效应的准金属相材料，而且显著地拓宽了半导体材料物化性质的可变范围，为新型金属氧化物功能材料的设计提供了崭新的思路和指导。
中国科学技术大学
2021-02-01
金属氧化物半导体基等离激元学研究取得突破性进展
项目成果/简介:在传统贵金属（金、银等）之外发掘出具有高性能等离激元效应的非金属新材料，是当前等离激元学基础研究及应用研发的一个热点与难点。金属氧化物半导体材料具有丰富可调的光、电、热、磁等性质，对其采取氢化处理可有效修饰其电子结构，从而获得丰富可调的等离激元效应；此处的一个关键性挑战在于如何显著提高金属氧化物半导体材料内禀的低自由载流子浓度。基于该研究团队新近发展的、理论模拟计算指导下的电子-质子协同掺氢策略，在本工作中研究人员采用简便易行的金属-酸溶液原位联合处理方法实现了金属氧化物MoO3半导体材料在温和条件下的可控加氢（即实现了“本征半导体→准金属”的可控相变），从而突破性地大幅提升了该材料中的自由载流子浓度。研究表明，氢化后的MoO3材料中自由电子浓度与贵金属相当（譬如H1.68MoO3：~1021cm-3；Au/Ag：~1022cm-3），这使得该材料的等离激元共振响应从近红外区移至可见光区，且兼具强增益及可调性。结合第一性原理模拟计算和以超快光谱为主的多种物性表征，研究人员进一步揭示出该协同掺氢所导致的准金属能带结构及相应的等离激元动力学性质。作为效果验证，研究人员在一系列表面增强拉曼光谱（SERS）实验中证实该材料表面等离激元局域强场可使吸附的罗丹明6G染料分子的SERS增强因子高达1.1×107（相较于一般半导体的104⁓5和贵金属的107⁓8），检测灵敏限低至纳摩量级（1×10-9mol L-1）。 这项工作创新性地发展出一种调控非金属半导体材料系统中自由载流子浓度的一般性策略，不仅低成本地实现了具有强且可调的等离激元效应的准金属相材料，而且显著地拓宽了半导体材料物化性质的可变范围，为新型金属氧化物功能材料的设计提供了崭新的思路和指导。
中国科学技术大学
2021-04-11
一种两亲性环糊精聚合物及制备方法和用途
本发明提供一种可生物降解两亲性环糊精聚合物及其合成方法和用途。合成步骤为：1)β-CD的C-6位羟基经活化得到相应的氨基化β-CD；2)采用开环聚合方法，以辛酸亚锡作为催化剂，Z为引发剂，合成含端羟基的Y-Z聚合物；3)Y-Z聚合物的端羟基经酸酐活化转化为端羧基；4)含端羧基的Y-Z聚合物链与氨基化β-CD在偶联剂作用下偶联，得到最终可生物降解两亲性环糊精聚合物。本发明方法设计合理，合成的环糊精聚合物可将疏水性药物载入其疏水核中，通过调节疏水性Y链段的性质提高和控制药物装量，因此在药物的控制释放和靶向药物传递等领域具有很好的应用前景。
浙江大学
2021-04-11
国产200MW汽轮发电机组运行稳定可行性
该项目成果在徐州电厂四台200MW机组上的工程化实施，将该电厂申请报废的200MW机组变为稳定、可靠运行考核等级优秀机组，徐州电厂获直接经济效益3.00亿元，增加工业产值24.19亿元。
东南大学
2021-04-10