本发明公开了一种纳米级尺寸结构测量方法及装置，可以同时测量纳米级尺寸结构宽度、深度、侧墙角等参数。本发明方法步骤如下：将白光光束经滤光、起偏后垂直投射到包含纳米级尺寸结构的样件表面；采集样件表面反射信号，计算得到纳米级尺寸结构显微成像图；将测量离焦扫描成像分布图与理论离焦扫描成像分布图进行匹配，提取得到待测纳米级尺寸结构的几何参数值。本发明所提供的纳米级尺寸结构测量装置，能为纳米制造技术如传统光刻和纳米压印等基于图形转移的批量化制造技术中所涉及的各种典型纳米级尺寸结构，如孤立线条阵列结构、密集型线条

成果简介：机械式气动换向阀的过渡机能表征了在换向过程中各通口连通和切断的情况。是换向阀的一项重要指标。通过使用高性能的步进电机推动阀 芯移动实现阀的换向，换向过程中利用两个高精度的压力传感器实时检测两 个通孔的压力，同时，采用高分辨率的光栅尺记录下各个通口压力突变点时的阀芯位移， 将两个位移数值相减即得到机械式气动换向阀的过渡机能。 项目来源：横向项目   技术领域：先进制造技术 应用范围：气动产品的制造和检测

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产品详细介绍概述CLY-45型磁场线性霍尔传感器采用：高档豪华金属机箱、名牌镀金接插件、硅霍薄型探头等优质元器件，通过优化设计，抛弃了传统的琴键开关，而选用轻触薄膜开关，设计更专业，品质更高、操作更方便。CLY-45型磁场线性霍尔传感器具有：结构合理、整机性能稳定、性价比高、操作方便、外型美观等特点，是实验室、生产线上磁性测量的首选仪器。CLY-45型磁场线性霍尔传感器是一种高精度的磁性测量仪器，仪器带模拟端口输出，具有峰值测量、量程宽等特点，可作为二次仪表使用。CLY-45型磁场线性霍尔传感器主要用于测量磁场强度，如磁体表面磁场、永磁电机磁场、电磁铁产生的磁场、喇叭漏磁场等，以及一些特殊测量磁场的场合，如电磁铁磁场、磁体表面场的最大值等。CLY-45型磁场线性霍尔传感器能测0—2T范围内的直流（恒磁）及低频交变磁场的磁场强度。CLY-45 输出线性电压值的线性霍尔传感器的测量磁场大小在±1T, 线性电压（正比于磁场）输出。可测量磁场-2T---2T，线性电压输出，精度1%。测量磁场时带有正负指示方向，输出为带有信号为正负信号，表示磁场的正反向，供电电源AC220V,50Hz，三位半数字LED 显示。量程两档： -200 ～ 200mT,-2 ～ 2T ，线性电压输出-5-5V，最大分辨率0.1mV ，测量DC 磁场。分辨率高、性能稳定、可靠美观。 是测量磁场，测量磁体表面磁场、永磁电机磁瓦 、电磁铁磁场等的理想仪器。 订制配套霍尔传感器尺寸30CM及可夹持部分尺寸15CM，订制非磁性可调节探头支架。技术指标：型号CLY-45型磁场线性霍尔传感器供电电源AC 220V，50Hz显示方式三位半数字显示读数单位mT，T量程0～200mT，0～2T最大分辨率0.1mTDC-AC-FLUX测AC/DC磁场测量范围0～2T精度（直流）1%AC响应频率200HzAC测量值平均值特点采用豪华机箱，薄膜按键、性能稳定，设计更合理，测量精度高，操作简便。用途测量磁场，如脉冲磁场、测量磁体表面磁场、永磁电机磁瓦 、电磁铁磁场、喇叭漏磁、充磁机磁场等，适用场合广泛。

本发明公开了一种高精度的刀具偏离量在线测量装置，包括固 定安装于机床的主轴头上的装夹机构，所述装夹机构上安装有激光位 移测量装置，所述激光位移测量装置上连接有用于接收和处理其发出的信号的数据采集处理装置，所述激光位移测量装置包括两个以上的 激光测量头，激光测量头均安装在装夹机构上，每个激光测量头上均 设有激光发射器和激光接收器。采用激光位移测量装置测量切削过程 中刀具偏离量，信号采集频率高，测量精度高；采用至少两个激光测 量头，可以同时测刀具的 X 轴方向和 Y 轴方向上的偏离量，并通过建 立几何关系方程进行误差补偿，外部干扰影响小，测量精度高。

针对金属矿山应力测量和声波探测中存在的关键技术问题开展研发，主要技术内容如下：（1）在工程实际中应用了岩石声发射测量地应力波形识别新技术；（2）研发出光弹性应力监测图像识别技术及数据分析方法及设备；（3）研发出岩体结构稳定性的声波探测技术。为我国金属矿山普遍存在的采矿回收率低、地压控制难度大等相关技术难题的解决，提供了有力的技术手段。该成果获江西省科技进步二等奖 1 项，已在国内 4 家矿山企业应用，实现产值 5.45 亿元。 

面结构光三维测量技术是近几年飞速发展的光学三维测量技术，是基于条纹投影的物体三维面形重建技术。它利用物体面形对标准正弦条纹图的相位调制并对图像进行相位解调实现物体三维检测。该系统包括高质量面结构光投影模块、低失真图像采集模块及快速的数据处理算法。该测量系统中，标定准确的相位与空间三维坐标的关系是该三维测量技术至关重要的步骤。由于面结构光三维测量技术具有速度快、非接触、精度高等优点逐步受到人们的重视，它被认为是目前最有前途、最有发展潜力的三维测量技术。 一、主要功能和应用领域 该面结构光三维测量系统结合特定的标定技术，确定各个系统参数，建立相位与空间三维坐标的数学关系，改善系统的精确度及灵和性。该测量系统适用于工业制造、产品检测、模具设计、逆向工程、生物医学、文物保护、机器视觉等领域，具有广阔的应用前景。 二、特色及先进性 1、系统结构任意摆放 该任意摆放面结构光三维测量系统的组成部件在空间位置相对任意，易于在实地测量中使用。它在几何结构、光路等方面没有严格的平行性、垂直性要求，仅需要图像采集系统的视场被投影系统的视场所覆盖。 2、标定技术经济实惠且使用灵活 系统标定的过程中，仅需一种打印的棋盘格作为标定板，相比于制作困难且成本高昂3D标准件，该技术成本低，具有极高的实用性。同时，标定板的位置可以随机、任意放于测量视场中的任何一个空间位置，相比于现行的标定技术，具有极大的灵活性。 3、高分辨率 基于任意摆放面结构光三维测量系统，避免现行测量方法中因系统设置不准而造成的测量误差；考虑镜头引起的畸变现象，对每个像素点标定，降低畸变对测量结果的不良影响；采用最小二乘拟合算法，对多组数据拟合，保证相位与空间三维坐标关系的准确性。 4、测量系统技术指标 物体面形三维测量对测量仪器的分辨率、稳定性有较高要求，且部分算法复杂，所设计的系统采用联机方式。系统主要技术指标：测量范围：200mm×300mm×200mm，且连续可调；横向分辨率：可达0.06mm(主要受相机分辨率的限制，本系统采用AVT-GT1660C相机)；纵向分辨率：可达0.02mm 四、能为产业解决的关键问题和实施后可取得的效果 1、基于任意摆放面结构光三维测量系统，解决传统系统设置难度大、对测量环境稳定要求高的困难。 2、标定技术可适用于任何面结构光三维测量系统，解决了现行标定技术使用范围较窄的问题。 3、该测量系统和标定技术具有高分辨率且经济实用，极大提高面结构光三维测量技术测量精度，拓展了面结构光三维测量技术的应用领域。

本发明公开了一种基于Ｔｉｋｈｏｎｏｖ正则化的亚像素位移测量方法。在数字图像相关法中，计算散斑图的亚像素位移时需要获得散斑图的灰度梯度，传统的计算方法是通过有限差分法对散斑图的灰度求导；然而数值求导具有很强的不稳定性，对图像噪声十分敏感，微小的测量误差将导致计算所得灰度梯度严重偏离真实灰度梯度。针对这一问题，本文提出了一种基于Ｔｉｋｈｏｎｏｖ正则化的亚像素位移测量方法，利用光滑三次样条函数拟合散斑图的灰度，三次样条的导数即为散斑图的灰度梯度，进而利用亚像素位移测量方法获得结构的亚像素位移，克服了传统测量方法抗噪声能力差的问题，可以有效提高测量精度。

本发明公开了一种非接触式金属互连线电迁移测量方法，具体为：使用平行光照射标定用金属互联线，同时采用四探针检测标定用金属互联线的电阻；建立四探针检测到的标定用金属互联线的电阻与标定用金属互联线的表面反射光强的对应关系；使用平行光照射待测金属互联线；实时检测待测金属互联线表面反射光的强度；依据建立的电阻与反射光强的对应关系获取待测金属互联线在某反射光强下对应的电阻值。本发明还提供了测量装置，主要包括四探针、平行光光源、光学显微镜和计算机。本发明不接触试样的情况下对试样上的较大范围金属互连线电迁移同时进行实时检测，与普通的四探针检测方法相比，检测范围更大，时间更快、成本更低。

该面结构光三维测量系统结合特定的标定技术，确定各个系统参数，建立相位与空间三维坐标的数学关系，改善系统的精确度及灵和性。该测量系统适用于工业制造、产品检测、模具设计、逆向工程、生物医学、文物保护、机器视觉等领域，具有广阔的应用前景。