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AIChE再度报道华东理工大学原子层沉积ALD多尺度模拟研究进展
近日,我校化工学院功能膜与电子化学品团队青年教师庄黎伟博士,与美国约翰霍普金斯大学、北卡罗来纳州立大学等单位合作,开发了一套原子层沉积(ALD)技术在多孔材料纳米孔道内进行薄膜沉积的数值模型,可用于预测2-5纳米孔道内前驱体扩散、吸附、脱附、沉积反应以及孔道收缩直至堵塞的动态过程。
华东理工大学 2022-09-28
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