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晶圆级二维半导体单晶薄膜外延生长的研究
主流硅基芯片CMOS(互补金属氧化物半导体)技术正面临短沟道效应等物理规律和制造成本的限制,需要开发基于新材料和新原理的晶体管技术来延续摩尔定律。高迁移率二维半导体因其超薄的平面结构和独特的电子学性质,有望成为“后摩尔时代”高性能电子器件和数字集成电路的理想沟道材料,进一步缩小晶体管的尺寸和提高其性能。为满足集成电路加工工艺和器件成品率对沟道材料的苛刻要求,二维半导体单晶薄膜的大面积制备尤为关键与重要。然而,现有二维半导体材料体系(过渡金属硫族化合物、黑磷等)薄膜制备仍未满足现实要求,因此亟需实现晶圆级二维半导体单晶薄膜制备技术的突破。 该研究瞄准二维半导体材料的晶圆级单晶制备,率先实现了同时具有高电子迁移率、合适带隙、环境稳定的二维半导体(硒氧化铋,Bi2O2Se)单晶晶圆的外延生长。他们基于自主设计搭建的双温区化学气相沉积系统,在商用的钙钛矿单晶基底【SrTiO3,LaAlO3,或(La, Sr)(Al,Ta)O3】上,利用Bi2O2Se与钙钛矿完美的晶格匹配性及较强的界面相互作用,促使Bi2O2Se晶核同一取向外延并融合生成晶圆级单晶薄膜。Bi2O2Se单晶薄膜在晶圆尺寸上表现出优异的材料和电学均匀性,可被用于批量构筑高性能场效应晶体管。基于晶圆级二维Bi2O2Se单晶薄膜的标准顶栅型场效应晶体管展现了高的室温表观迁移率(>150 cm2/V s)、大的电流开关比(>105)和较高的开态电流(45μA/μm)。相关成果发表在Nano Letters (Wafer-Scale Growth of Single-Crystal 2D Semiconductor on Perovskite Oxides for High-Performance Transistors. Nano Lett. 2019, 19, 2148)。
北京大学 2021-04-11
石彬
石彬,男,汉族,1982年7出生,山东东营人,毕业于中国石油大学(华东)电气工程及其自动化专业,2012年6月获项目管理领域硕士学位,专利代理人、技术经纪人、创业咨询师,中国地球物理学会国家级高级研修项目计划特聘讲师,现任学校技术转移中心主任,中国高等教育学会科技服务专家指导委员会委员。 长期致力于高校科技成果转化及技术转移、知识产权保护、产学研对接、技术创新等工作,主要研究方向为科技成果转化、知识产权运用与保护等。先后主讲《大学生创新与创业》、《大学生职业生涯规划》、《专利知识论述》、《专利撰写实务》等课程。
石彬 2023-03-31
单晶机器人
该研究在微纳尺度下对单晶智能材料(二氧化钒)进行相畴结构的工程化有序调控,是目前为止最为简化的驱动器件结构设计。这一成果也使得高性能、高稳定性的微纳单晶机器人成为可能。
南方科技大学 2021-04-14
石丽洁
石丽洁 所在学科:凝聚态物理 职称:副教授 科研方向: 二维材料电子性质调控 稀磁半导体和半金属的铁磁性产生机制的研究; 半导体掺杂机制的研究; 稀磁半导体光学性质的研究
石丽洁 2021-12-31
大尺寸蓝宝石单晶
蓝宝石单晶作为一种优良的透波材料,在紫外、可见光、红外波段、微波都具有良好的透波率,可以满足多模式复合制导(如电视等)的要求;同时蓝宝石单晶具有优良的机械性能、化学稳定性和耐高温性能高,强度高、硬度大、可在2000℃的恶劣环境下工作。由于蓝宝石电绝缘、透明、易导热、硬度高,在民用领域得到广泛应用,作为集成电路的衬底材料,替代了高价氮化硅衬底而被广泛用于超高速微电子电路;是发光二极管(LED)衬底的首选材料,采用蓝宝石衬底材料制成的发光二极管,其光源无灯丝、工作电压低,使用寿命可达5万到10万小时,
哈尔滨工业大学 2021-04-14
华石1号杨、华石2号杨
中试阶段/n该项目“华石1号杨” 与“华石2号杨”均为高大乔木,干形通直圆满,尖削度小,分枝粗度中等,枝成层性明显,侧枝较细,分枝匀称。在湖北省一般3月下旬萌芽,4月上旬展叶,落叶期为11月中旬至下旬。9年生“华石1号杨”的平均树高24.55 m~26.93 m,胸径26.63 cm~27.98 cm,单株材积0.5024m3~0.6142 m3,冠幅6.0 m×6.8 m,枝下高7.10 m,具有优良的速生性、抗逆性和适应性强等特点。胸径年均生长量3.0 cm~4.0 cm,树高年均生长量3.0
华中农业大学 2021-01-12
单晶LaB6空心阴极
北京工业大学 2021-04-14
超大尺寸单晶铜箔库制备
在超大尺寸单晶金属箔库的制备领域再次取得重要进展,研究团队创造性提出晶体表界面调控的“变异和遗传”生长机制,在国际上首次实现种类最全、尺寸最大的高指数晶面单晶铜箔库的制造。 发现氧化物衬底释放的游离氧可以把石墨烯单晶畴的生长速率提高150倍(Nature Nanotech
南方科技大学 2021-04-14
FEP薄膜
产品详细介绍
南京瑞尼克科技开发有限公司 2021-08-23
殡化铅单晶体生长技术
项目简介: 殡化铅 ( PbI2) 是制作室温半导体核辐射探测器的材料之一。山于提纯困难、化学配比难于控制等原因,使得该材料没有得到应用。我们研究出了一种生长碟化铅等静压的新方法,以 分析纯的殡化铅多晶为原料, 可生长出接近理想化学配比、直径 15mm、长度 300
西华大学 2021-04-14
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